주로 소형 및 중형 통합 회로, 반도체 구성 요소, 광전자 장치, 표면 음파 장치, 박막 회로 및 전력 전자 장치의 개발 및 생산에 사용됩니다. 이 기계는 양쪽 면 접촉 노광 기계이며, 특별히 설계된 재인쇄 메커니즘이 있어 기판의-wedge 오차를 제거하고 기판 상하부의 상하 마스크 판 사이의 좋은 접촉을 보장하여 기판 상하부의 노광 품질을 보장합니다.
مشخصات
پارامترهای فنی اصلی
1.설비에 필요한 에너지: 메인프레임 전원: 220V, 50HZ, 전력 소비≤1.5KW; 2.전원이 220V인 진공 펌프가 장착됨; 3.크기와 무게: 크기:1200(길이)×720(폭)×1500(높이). 무게 ≤170kg; 4.기계 본체를 전용 작업대에 놓으세요; 5.노광 유형: 접촉식, 플레이트 정렬, 양면 노광; 6.노광 영역:φ100mm; 7.불균일한 노광: ≤±3%; 8.노광 강도: ≥5mw/ cm2; 9. قدرت تفکیک پرتو: 2μm; 10. حالت نوردهی: نوردهی همزمان دوطرفه; 11. محدوده هم‌مرکزسازی: X: ±5mm Y:±5mm; 12. دقت فرز کاری: 2μm; 13. محدوده چرخش: تنظیم چرخش جهت Q ≤±5°; 14. سیستم دید: سیستم CCD با دو میدان دید، لنز ابجکتیو 1.6X~10X، سیستم پردازش تصویر کامپیوتری، نمایشگر LCD 19"; 15. اندازه ماسک: قادر به جذب شوکی خلاء
بسته‌بندی و ارسال
مشخصات شرکت
ما ۱۶ سال سابقه فروش تجهیزات داریم. می‌توانیم راه‌حل حرفه‌ای خط تولید بسته‌بندی اولیه و نهایی نیمه‌رسانا از چین را برای شما ارائه دهیم.
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