دستگاه تمیز کننده پلاسما پاک کننده پلاسما مایکروویو نسل جدید تجهیزات محلول بسته بندی نیمه هادی، چین دستگاه تمیز کننده پلاسما پاک کننده پلاسما مایکروویو نسل جدید تجهیزات محلول بسته بندی نیمه هادی تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه

توضیحات محصول

پاک کننده پلاسما مایکروویو

SPV-100MWR یک سیستم تمیز کننده پلاسما مایکروویو ولتاژ پایین برای نیمه هادی ها است. با استفاده از مایکروویو با فرکانس 2.45 گیگاهرتز بر روی پنجره روی دیواره حفره خلاء، تعداد زیادی پلاسمای پیوسته تولید می شود و تراشه با ورود به حفره تمیز می شود.

نسل جدید مایکروویو پلاسما پاک کننده پلاسما دستگاه تمیز کننده پلاسما نیمه هادی تولید تجهیزات محلول بسته بندی

تامین کننده تجهیزات محلول بسته بندی نیمه هادی دستگاه پلاسما پاک کننده پلاسما مایکروویو نسل جدید

اپلیکیشن‌ها

نسل جدید مایکروویو پلاسما پاک کننده پلاسما دستگاه تمیز کننده پلاسما نیمه هادی محلول های بسته بندی کارخانه تجهیزات

مشخصات

میزبان پلاسمای خلاء
اندازه تجهیزات	1230X1800X1100mm (عرض x ارتفاع x عمق)
وزن	450kg
قدرت تقاضا	AC380V، 50/60Hz، 5 سیم، 30A
مشخصات ژنراتور پلاسما
منبع تغذیه مایکروویو	قدرت	0 ~~ 1250W
		فرکانس	2.45GHz
سیستم خلاء
ماده	آلیاژ آلومینیوم (محفظه فولاد ضد زنگ قابل تنظیم)
ضخامت	25mm
ابعاد داخلی حفره	480mmX470mmX480mm
فضای کاری	6 بخش مجله
ECR	مجله Slotted جلوه پردازش ECR را افزایش می دهد
قابلیت پلاسما
توانایی پردازش	زمین 35um برآمدگی 40 میکرومتری حداکثر اندازه قالب 15X15mm