PECVD تجهیزات رسوب شیمیایی بخار تحت تاثیر پلاسما / فرآیند PECVD دمای بالا , China PECVD تجهیزات رسوب شیمیایی بخار تحت تاثیر پلاسما / فرآیند PECVD دمای بالا Manufacturers, Suppliers, Factory

توضیحات محصول

تجهیزات رسوب شیمیایی بخار تحت تأثیر پلاسما PECVD

◆ کنترل خودکار کامل زمان فرآیند، دمای، جریان گاز، عملیات و溜 و فشار حجره واکنش توسط
کامپیوتر صنعتی.
◆ از سیستم کنترل فشار وارداتی و سیستم حلقه بسته استفاده شده است، که دارای پایداری بالا می‌باشد.
◆ از تجهیزات و صنابیر ضد خوردگی فولاد راست‌گیر وارداتی استفاده شده است تا جانبداری گاز را تضمین کند.
◆ دارای تابلو هشدار کامل و دستگاه قفل امنیتی است.
◆ شامل هشدار دما فوق العاده بالا و هشدار دما زیر حد، هشدار MFC، هشدار فشار واکنشگر، هشدار RF، هشدار فشار هوای فشرده پایین، هشدار فشار N2 پایین و هشدار جریان آب سردکننده پایین می‌باشد.
◆ PECVD موجود پس از ارتقاء، عملکرد رشد فیلم SiO2 را دارد که مشکل PID ماژول باتری را حل می‌کند. فیلم SiNxOy می‌تواند رشد یابد (فرآیند پس‌زمینه)، که می‌تواند کارایی تبدیل باتری را به طور قابل ملاحظه ای افزایش دهد.

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details

PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

TYPE

◆ ظرفیت بارگذاری: 384 قطعه/قایق (125 * 125)؛ 336 قطعه/قایق (156 * 156)
◆ سطح تمیزی جدول پاکسازی: درجه 100 (کارخانه درجه 10000)
◆ درجه خودکارسازی: کنترل خودکار دما و فرآیند.
◆ رژیم ارسال و گرفتن چیپ: نوع فرود نرم، با ویژگی‌های پایدار و قابل اتکا، بدون جابجایی غیر مجاز، موقعیت‌بندی دقیق، ظرفیت حمل زیاد و عمر کاربردی طولانی.

مشخصات

حداکثر بارگذاری در هر لوله	384 عدد/قایق (125125) 336 عدد/قایق (156156)
شاخص فرآیند	± 3% در قرص، ± 3% بین قراطیس‌ها، ± 3% بین دسته‌ها
دمای کاری	200~500℃
دقت و طول منطقه دما (آزمون لوله بسته شده استاتیکی)	1200mm±1℃
دقت جریان گاز	±1%FS
چگالی هوا در سیستم مدار هوایی	1×10-7Pa.m³/S
کنترل	سیستم تنظیم بسته شدن فشار خودکار کاملاً وارداتی، کنترل دقیق فشار خلاء واکنش؛ تأمین قدرت فرکانس بالا 40KHz؛ فرونشست نرم جعبه‌های فرآوری؛ کنترل کاملاً رقمی، حفاظت از فرآیند کنترل امن و کامل.
گزینه‌های یک لوله، دو لوله، سه لوله و چهار لوله موجود است؛ منیپیولیتور بارگذاری خودکار قابل انتخاب است و عملکرد دستگاه و عملکرد فرآیندی می‌تواند با بهترین دستگاه‌های مشابه جهان مقایسه شود.