PECVD تجهیزات رسوب شیمیایی بخار افزایش یافته پلاسما / فرآیند PECVD با دمای بالا، چین PECVD تجهیزات رسوب شیمیایی بخار افزایش یافته پلاسما / فرآیند PECVD با دمای بالا تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه

توضیحات محصول

PECVD تجهیزات رسوب شیمیایی بخار افزایش یافته پلاسما

◆ کنترل کاملا اتوماتیک زمان فرآیند، دما، جریان گاز، عملکرد شیر و فشار محفظه واکنش توسط
کامپیوتر صنعتی
◆ سیستم کنترل فشار وارداتی و سیستم حلقه بسته با ثبات بالا به تصویب رسید.
◆ اتصالات و شیرهای لوله فولادی ضد زنگ مقاوم در برابر خوردگی وارداتی برای اطمینان از تنگی هوای مدار گاز استفاده می شود.
◆ دارای عملکرد هشدار عالی و دستگاه قفل ایمنی است.
◆ دارای هشدار دمای فوق العاده بالا و هشدار دمای پایین، هشدار MFC، هشدار فشار محفظه واکنش، زنگ هشدار RF، هشدار فشار هوای کم فشرده، هشدار فشار کم N2 و هشدار جریان آب خنک کننده کم است.
◆ PECVD موجود عملکرد رشد فیلم SiO2 را پس از ارتقا دارد که مشکل PID ماژول باتری را حل می کند. فیلم SiNxOy را می توان رشد داد (فرایند غیرفعال سازی برگشتی)، که می تواند تا حد زیادی راندمان تبدیل باتری را بهبود بخشد.

PECVD تجهیزات رسوب شیمیایی بخار افزایش یافته پلاسما / جزئیات فرآیند PECVD با دمای بالا

PECVD تجهیزات رسوب شیمیایی بخار افزایش یافته پلاسما / کارخانه فرآیند PECVD با دمای بالا

نوع

◆ مقدار بارگیری: 384 قطعه / قایق (125 * 125)؛ 336 قطعه / قایق (156 * 156)
◆ تمیزی جدول تصفیه: درجه 100 (گیاه درجه 10000)
◆ درجه اتوماسیون: کنترل خودکار دما و فرآیند.
◆ حالت ارسال و گرفتن تراشه: نوع فرود نرم، با ویژگی های پایدار و قابل اعتماد، بدون خزش، موقعیت یابی دقیق، ظرفیت باربری زیاد و عمر طولانی.

مشخصات

حداکثر بارگذاری در هر لوله	384 قطعه / قایق (125 * 125) 336 قطعه / قایق (156 * 156)
شاخص فرآیند	3 ± درصد در قرص، 3 ± درصد بین قرص ها، 3 ± درصد بین دسته ها
دمای کار	200 ~ 500 ℃
دقت و طول منطقه دما (آزمایش لوله بسته استاتیک)	1200mm±1℃
دقت جریان گاز	± 1 F FS
سفتی هوای سیستم مدار هوا	1×10-7Pa.m³/S
کنترل	سیستم تنظیم فشار اتوماتیک حلقه بسته کاملاً وارداتی، کنترل دقیق خلاء واکنش. قدرت فرکانس بالا 40 کیلوهرتز عرضه؛ فرود نرم قایق کرافت; کنترل کامل دیجیتال، حفاظت از کنترل فرآیند کامل و ایمن.
1 لوله، 2 لوله، 3 لوله و 4 لوله اختیاری است. دستکاری کننده بارگیری خودکار اختیاری است و عملکرد تجهیزات و عملکرد فرآیند را می توان با برترین تجهیزات مشابه دنیا مقایسه کرد.