آیتم |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
اندازه محصول |
≤۶ اینچ |
≤۸ اینچ |
≤۸ اینچ |
||
منبع قدرت RF |
0-300W/500W/1000W قابل تنظیم، جفت‌سازی خودکار |
||||
唧筒 مولکولی |
-/620(L/s)/1300(L/s)/سفارشی |
آنتی سپتیک 620(L/s)/1300(L/s)/سفارشی |
|||
唧筒 پیش خط |
唧筒 مکانیکی / جیم دی |
پمپ خشک |
|||
فشار فرآیند |
فشار غیرقابل کنترل / 0-1Torr فشار قابل کنترل |
||||
نوع گاز |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/سفارشی (تا 9 کانال، بدون گاز های خوردگی و سمی) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(تا 9 کانال) |
|||
دامنه گاز |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/سفارشی |
||||
بارگذاری قفل |
بله/خیر |
بله |
|||
کنترل دمای نمونه |
10°C~دمای اتاق/-30°C~100°C/سفارشی |
-30°C~100°C/سفارشی |
|||
سرمازدایی هلیوم معکوس |
بله/خیر |
بله |
|||
پوشش فضای فرآیند |
بله/خیر |
بله |
|||
کنترل دمای دیواره فضا |
خیر/دمای اتاق~60/120°C |
دماي اتاق-60/120°C |
|||
سیستم کنترل |
خودکار/سفارشي |
||||
ماده‌ی خوردگی |
مبتنی بر سیلیکون: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: سیتران مواد مغناطیسی/ مواد آلیاژی ماده‌ی فلزی: Ni/Cr/Al/Au..... ماده‌ی آلی: PR/PMMA/HDMS/آلی فیلم...... |
مبتنی بر سیلیکون: Si/SiO2/SiNx...... III-V(یادداشت 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: سیتران II-VI (یادداشت 3): CdTe...... مواد مغناطیسی/ مواد آلیاژی ماده فلزی: Ni/Cr/Al/Au...... ماده آلی: PR/PMMA/HDMS /فیلم آلی... |
|||
برای خوردگی مواد سخت به خوردگی، مانند برخی فلزات (مانند نیکل / کروم) و سرامیک‌ها، استفاده می‌شود. اچینگ الگوی مواد با بمباران فیزیکی انجام می‌شود. |
برای برش و حذف ترکیبات آلی مانند فتو رزیست (PR) / PMMA / HDMS / پلیمر استفاده می شود |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
