آیتم |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
اندازه محصول |
≤۶ اینچ |
≤۸ اینچ |
≤۸ اینچ |
||
منبع قدرت RF |
۰-۳۰۰وات/۵۰۰وات/۱۰۰۰وات قابل تنظیم، جفت‌سازی خودکار |
||||
唧筒 مولکولی |
-/620(L/s)/1300(L/s)/سفارشی |
آنتی سپتیک 620(L/s)/1300(L/s)/سفارشی |
|||
唧筒 پیش خط |
唧筒 مکانیکی / جیم دی |
پمپ خشک |
|||
فشار فرآیند |
فشار غیرقابل کنترل / 0-1Torr فشار قابل کنترل |
||||
نوع گاز |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/سفارشی (تا 9 کانال، بدون گاز های خوردگی و سمی) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(تا 9 کانال) |
|||
دامنه گاز |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/سفارشی |
||||
بارگذاری قفل |
بله/خیر |
بله |
|||
کنترل دمای نمونه |
10°C~دمای اتاق/-30°C~100°C/سفارشی |
-30°C~100°C/سفارشی |
|||
سرمازدایی هلیوم معکوس |
بله/خیر |
بله |
|||
پوشش فضای فرآیند |
بله/خیر |
بله |
|||
کنترل دمای دیواره فضا |
خیر/دمای اتاق~60/120°C |
دماي اتاق-60/120°C |
|||
سیستم کنترل |
خودکار/سفارشي |
||||
ماده‌ی خوردگی |
مبتنی بر سیلیکون: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: سیتران مواد مغناطیسی/ مواد آلیاژی ماده فلزی: نیکل/ کروم/ آلومنیوم/ طلا. ماده عضوی: PR/PMMA/HDMS/فیلم عضوی. |
مبتنی بر سیلیکون: Si/SiO2/SiNx. III-V(یادداشت 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: سیتران II-VI (یادداشت 3): CdTe. مواد مغناطیسی/ مواد آلیاژی ماده فلزی: Ni/Cr/Al/Au. ماده آلی: PR/PMMA/HDMS /فیلم آلی. |
|||
مناسب برای دستگاه‌های میکروویو، دستگاه‌های توانی، و غیره.
ماشین برش یون فعال میندر-های تکنولوژی پیشرفته (RIE) یک قطعه فناوری جدید است که می تواند با دقت شگفت انگیز انواع مختلف مواد را برش و تحلیل کند. این ماشین برای استفاده در صنایع مختلفی طراحی شده است که در آنها نیازمند ساخت یا برش میکرو است. از مواد با کیفیت بالا ساخته شده است که آن را مقاوم، قابل اتکا و قادر به تولید نتایج عالی می کند.
دارای ژنراتور پلاسما RF است که تاثیرگذار است. سیستم RIE از جفت شدن الکتریکی نوع استقرایی برای تولید پلاسما از بنزین تغذیه می‌استفاده می‌کند. این روش پلاسما با چگالی بالا ایجاد می‌کند که نرخ فروخورد را در محصول افزایش می‌دهد. فرآیند فروخورد ماشین RIE موثر، دقیق و بسیار قابل کنترل است که امکان دستیابی به عمق خاصی را فراهم می‌کند. این ویژگی آن را به یک گزینه مناسب برای کارهای تحقیقاتی یا صنعتی تبدیل می‌کند.
ماشین شامل برد گسترده ای است، از جمله میکروالکترونیک، ساخت MEMS و ساخت مواد نیمه هادی. این ماشین نقش مهمی در فرآیند خراش و میکروماشین کردن مواد نیمه هادی مانند سیلیکون، آرسنید گالیوم و ژرمنیوم در صنعت نیمه هادی ایفا می کند. دستگاه Minder-High-tech RIE علاوه بر این، در صنعت MEMS برای ساخت مواد نرم و سخت مانند پلیامید، دی‌اکسید سیلیکون و نیترید سیلیکون نیز استفاده شده است. علاوه بر این، این دستگاه برای تحلیل شکست در صنایع مرتبط با خدمات و محصولات الکترونیکی نیز در دسترس است.
ویژگی‌هایی شامل می‌شود که انواع مختلفی دارند و از آن استفاده کردن را ساده می‌کند. این نرم‌افزار، دوست‌داشتنی برای کاربران است و به عملیات کامل کنترل بر روی پارامترهای استخراجی که در دستگاه استفاده می‌شود، اجازه می‌دهد. تنظیمات دستگاه در حافظه داخلی آن ذخیره می‌شود و بیش از ۱۰۰ مجموعه تنظیم را می‌توان ذخیره کرد. این دستگاه صفحه لمسی دارد که به کاربر اجازه می‌دهد پارامترهایی مانند جریان گاز، تراکم قدرت و فشار را تنظیم کند. همچنین، دستگاه استخراج Minder-High-tech نیز ویژگی کنترل دما دارد که مطمئن می‌شود مواد به درستی در دما استخراج شوند و آسیب به آنها وقوع نپذیرد.
به شکل کامل مناسب برای شرکت‌هایی است که نیاز به یک دستگاه قابل اعتماد و کارآمد دارند که نتایج دقیق و دقیق ارائه دهد. این دستگاه با فناوری برتر طراحی شده است و سطح زیادی دارد. چندوجهی بودن آن و ویژگی‌های دوست‌داشتنی آن، آن را به یک انتخاب بسیار خوب برای کاربردهای تحقیقاتی و صنعتی در بخش‌های مختلف تبدیل کرده است.
این دستگاه همچنین سیستمی کارآمد برای تحلیل خطا دارد که به آن امکان می‌دهد هر مشکل مکانیکی را به زودترین وقت شناسایی و اصلاح کند. این سیستم تضمین می‌کند که دستگاه RIE در طول چرخه عمر خود کیفیت بالا و قابلیت اعتماد داشته باشد. برای هر صنعتی که نیاز به فرآوری دقیق و کارآمد دارد، دستگاه RIE میندر-های تکنولوژی بالا راه‌حل مناسبی است.
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
