پردازش حرارتی سریع
تجهیزات RTP برای نیمه هادیهای مرکب، SlC، LED و MEMS
* رشد اکسید، نیترید
* آلیاژ سریع تماس اهمیک
* بازگرم کردن آلیاژ سیلیسید
* بازگشت اکسیداسیون
* فرآیند آرسنید گالیوم
* سایر فرآیندهای گرم شدن سریع
RTP دو حجرهای کاملا خودکار
* سازگار با وفر 6 تا 8 اینچ
* دمای حداکثر میتواند به 1250 درجه سانتیگراد برسد
* تکرارپذیری پایدار دما
* طراحی دو حجرهای کاملا خودکار برای افزایش ظرفیت تولید
* یکنواختی میدان دما فوق العاده بالا
* برآورده کردن نیازهای فرآیند تولید انبوه SlC
RTP نیمه خودکار
* گرم کردن با لامپ جیوه فروسرخ و سرد کردن با استفاده از سیستم سردکننده هوا؛
* کنترل دما به روش PlD برای توان لامپ، که میتواند صعود دما را دقیق کنترل کند و تکرارپذیری خوب و یکنواختی دما را تضمین کند؛
* ورود مواد روی سطح WAFER قرار داده شده است تا از تولید نقطه سرد در فرآیند آنالنگ کردن جلوگیری شود و یکنواختی دمایی محصول را تضمین کند؛
* روشهای پردازش هوا و خلاء قابل انتخاب هستند، همراه با پیشپردازش و پاکسازی بدن دستگاه؛
* دو مجموعه گاز فرآیندی استاندارد است و میتواند تا 6 مجموعه گاز فرآیندی گسترش یابد؛
* بزرگترین اندازه نمونه سیلیکون تک بلوری قابل اندازهگیری 12 اینچ (300x300MM) است؛
* سه اقدام امنیتی شامل محافظت از باز کردن در دمای امن، اجازه باز کردن کنترلر دما و محافظت از توقف اضطراری دستگاه به طور کامل اجرا شده است تا از امنیت ابزار تضمین شود؛
میزبان RTP
* گرم کردن با لامپ جیوه فروسرخ و سرد کردن با استفاده از سیستم سردکننده هوا؛
* کنترل دما به روش PlD برای توان لامپ، که میتواند صعود دما را دقیق کنترل کند و تکرارپذیری خوب و یکنواختی دما را تضمین کند؛
* ورود مواد روی سطح WAFER قرار داده شده است تا از تولید نقطه سرد در فرآیند آنالنگ کردن جلوگیری شود و یکنواختی دمایی محصول را تضمین کند؛
* روشهای پردازش هوا و خلاء قابل انتخاب هستند، همراه با پیشپردازش و پاکسازی بدن دستگاه؛
* دو مجموعه گاز فرآیندی استاندارد است و میتواند تا 6 مجموعه گاز فرآیندی گسترش یابد؛
* بزرگترین اندازه نمونه سیلیکون تک بلوری قابل اندازهگیری 12 اینچ (300x300MM) است؛
* سه اقدام امنیتی شامل محافظت از باز کردن در دمای امن، اجازه باز کردن کنترلر دما و محافظت از توقف اضطراری دستگاه به طور کامل اجرا شده است تا از امنیت ابزار تضمین شود؛
ما ۱۶ سال سابقه در فروش تجهیزات داریم و میتوانیم راهحل کامل خط تولید بستهبندی IC را برای شما ارائه دهیم!
آیا دنبال تجهیزات RTP قابل اتکا برای فرآیندهای تولید نیمه رسانا سرامیک مرکب LED SlC و MEMS خود هستید؟ بیشتر جستجو نکنید نسبت به Minder-Hightech.
تواناییهای استثنایی برای پردازش سریع در حرارت ایجاد میکند که آن را برای ساخت عناصر اولیه، نیمه رساناها، دستگاههای MEMS SlC و LED مناسب میسازد. با فناوری Minder-Hightech در اختیار شما، میتوانید دقت دمایی، گرمایش ثابت و تراکم پایین مشکلات را در محصولات یا خدمات خود دستیابی کنید.
شامل یک رابط کاربری ساده است که استفاده از آن را برای رانندگانی از تمام سطوح توانایی آسان میکند. تواناییهای خودکار پیشرفته آن به شما اجازه میدهد فرآیندهای تولید خود را بهینه کنید، نیاز به حفاظت و عمل دستی را کاهش دهید و زمان و هزینه را صرفهجویی کنید.
اهمیت از طریق تیم ما از تجهیزات قابلیت اطمینان درک می شود. به همین دلیل، دستگاه های RTP ما با جنبه های کیفیت بالا توسعه یافته اند و برای تحمل استفاده گسترده طراحی شده اند و در روزمره عدم کارایی یا حتی ویژگی ها. تیم ما همچنین کمک منظم و خدمات نگهداری ارائه می دهد تا بدوام تجهیزات شما تضمین شود.
آیا شما در حوزه های تولید نیمه رسانا مركب، تولید LED یا حتی توسعه سیستم های MEMS فعال هستید، دستگاه های RTP Minder-Hightech به کارایی و دقت بی نظیری دست پیدا می کند. بنابراین، چرا زمان بگذارید؟ فرآیند تولید خود را به سطح بعدی برسانید با خرید دستگاه های RTP Minder-Hightech امروز.
اگر نیاز به تجهیزات RTP با کیفیت بالا برای افزایش کارایی و مؤثر بودن فرآیند تولید نیمه هادی مرکب SlC LED MEMS خود دارید، بر میندر-هایتک حساب کنید. فناوری پیشرفته ما، دستگاههای قابل اعتماد و پشتیبانی فوق العاده مشتریان، ما را به بهترین گزینه برای شرکتهای سراسر جهان تبدیل کرده است.
دوباره نگاهی طولانی به جلو نکنید تا فرآیند تولید خود را به سطح بعدی برسانید.
امروزه تجهیزات RTP خود را از میندر-هایتک خریداری کنید.