RTP پردازش حرارتی سریع نیمه اتوماتیک برای صفحه نیمه هادی SlC LED MEMS , China RTP پردازش حرارتی سریع نیمه اتوماتیک برای صفحه نیمه هادی SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

توضیحات محصول

پردازش حرارتی سریع

ارائه تجهیزات قابل اعتماد RTP برای نیمه هادی های مرکب، SlC، LED و MEMS

ویژگی

* گرم کردن با لامپ جیوه فروسرخ و سرد کردن با استفاده از سیستم سردکننده هوا؛
* کنترل دما به روش PlD برای توان لامپ، که می‌تواند صعود دما را دقیق کنترل کند و تکرارپذیری خوب و یکنواختی دما را تضمین کند؛
* ورود مواد روی سطح WAFER قرار داده شده است تا از تولید نقطه سرد در فرآیند آنالنگ کردن جلوگیری شود و یکنواختی دمایی محصول را تضمین کند؛
* روش‌های پردازش هوا و خلاء قابل انتخاب هستند، همراه با پیش‌پردازش و پاکسازی بدن دستگاه؛
* دو مجموعه گاز فرآیندی استاندارد است و می‌تواند تا 6 مجموعه گاز فرآیندی گسترش یابد؛
* بزرگترین اندازه نمونه سیلیکون تک بلوری قابل اندازه‌گیری 12 اینچ (300x300MM) است؛
* سه اقدام امنیتی شامل محافظت از باز کردن در دمای امن، اجازه باز کردن کنترلر دما و محافظت از توقف اضطراری دستگاه به طور کامل اجرا شده است تا از امنیت ابزار تضمین شود؛

گزارش تست

همپوشانی منحنی‌های درجه 20

۲۰ منحنی برای کنترل دمای ۸۵۰ ℃

تطابق منحنی‌های دما میانگین ۲۰ تا

کنترل دما در ۱۲۵۰ ℃

فرآیند کنترل دما RTP در ۱۰۰۰ ℃

فرآیند ۹۶۰ ℃، کنترل شده توسط پیرومتر فروسرخ

داده‌های فرآیند LED

RTD Wafer یک حسگر دما است که با استفاده از تکنیک‌های پردازش خاص، حسگرهای دما (RTDs) را در مکان‌های مشخص روی سطح یک وفر نصب می‌کند و امکان اندازه‌گیری واقعی دما روی سطح وفر را فراهم می‌کند.

اندازه‌گیری دما واقعی در مکان‌های مشخص روی وفر و همچنین توزیع دما کلی وفر از طریق RTD Wafer قابل دسترسی است؛ این ابزار همچنین می‌تواند برای نظارت پیوسته بر تغییرات موقت دما روی وفرها در طول فرآیند معالجه حرارتی استفاده شود.