تجهیزات صنعتی نیمه هادی MDLB-MC200 Photomask پاک کننده , چین تجهیزات صنعتی نیمه هادی MDLB-MC200 Photomask پاک کننده تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه

MDLB-MC200

پاک کننده فتوماسک

واحد نظافت:

محفظه تمیز کردن با مواد مقاوم در برابر خوردگی پردازش می شود که سطح صافی دارند و به راحتی تمیز می شوند. یک درگاه تخلیه زباله در پایین حفره داخلی وجود دارد که از جاذبه استفاده می کند تا مایع زباله را به خط لوله تخلیه زباله کارخانه تخلیه کند. یک پورت مکش در داخل حفره وجود دارد که می تواند به موقع جو را از حفره خارج کند. مجهز به 3 بازوی چرخان اتوماتیک، می تواند به تمیز کردن خودکار دست یابد.

جدول پارامترهای پیکربندی:

شماره	پروژه	مشخصات	سخنان
1	بررسی اجمالی تجهیزات	نام دستگاه: Photomask Cleaner
		مدل تجهیزات: MDLB-MC200
		ابعاد کلی (تقریبا): 1300mm (W) * 1000mm (D) * 1950mm (H)
		وزن دستگاه (تقریبا): 300 کیلوگرم
		ارتفاع میز عملیاتی: 900 ± 50 میلی متر
		مشخصات اندازه بستر: مناسب برای صفحات ماسک مربعی 2/4/5/6/8 اینچ
		جریان فرآیند: قرار دادن دستی ویفر → تمیز کردن (برس، محلول تمیزکننده → آب پرفشار → آب مگاسونیک → آب دیونیزه → خشک کردن گاز نیتروژن) → حذف دستی ویفر
		نوع تجهیزات: نیمه اتوماتیک، بارگیری و تخلیه دستی
2	ساخت تجهیزات	پوسته: فولاد ضد زنگ، صاف، مقاوم در برابر خوردگی، تمیز کردن آسان
		محفظه تمیز کردن: PP، صاف، مقاوم در برابر خوردگی، تمیز کردن آسان
		خط لوله: از خط لوله تطبیق PU/PFA استفاده می شود
		نور کار: نور زرد ضد خوردگی
		سبک باز کردن درب: دو درب با عملکرد هشدار باز شدن درب
		صفحه نمایش لمسی: صفحه نمایش لمسی تمام رنگی 10 اینچی * 1
		FFU: کلاس 100
		پشتیبانی پایین ضد نشت: در دسترس است
3	سروو موتور با دقت بالا	تعداد: 1
		سرعت: -3000 تا 3000 دور در دقیقه	بار خالی
		حداکثر شتاب چرخش اسپیندل: 3000rpm/S	بار خالی
		دقت سرعت: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		وضوح سرعت: 1rpm
4	بازوی چرخشی اتوماتیک	تعداد: 3
4	بازوی چرخشی اتوماتیک	سرعت بازوی چرخشی: 1 ~ 30 درجه در ثانیه
5	واحد تمیز کردن	بازوی چرخشی تمیزکننده: 1 کانال آب دیونیزه، 1 کانال گاز نیتروژن بازوی مگاسونیک: 1 مگاسونیک، 1 آب فشار قوی بازوی برس: 1 برس، 1 آب، 1 محلول تمیز کننده
		روش تمیز کردن: تمیز کردن خودکار
		عملکرد مکش آب دیونیزه: موجود است
		بک واش (آب دیونیزه): 1 مسیر
		روش تامین: محلول تمیز کننده: پمپ دیافراگمی آب دیونیزه: مستقیماً توسط کارخانه تامین می شود
		مخزن فشار با تشخیص سطح مایع
6	برس برس	تعداد: 1 عدد (با عملکرد خود تمیز شونده)
		سرعت: تا 1000 دور در دقیقه، سرعت قابل تنظیم
		قابلیت تنظیم ارتفاع به صورت دستی
7	سینی بارگیری کنید	تعداد: 5
		جنس: PPS + فولاد ضد زنگ
		اندازه: مناسب برای صفحات ماسک مربع 2/4/5/6/8 اینچ
		روش تثبیت بستر: روش تثبیت پنجه
8	سیستم کنترل	سیستم کنترل: با استفاده از کنترل PLC
		برنامه: 100 گروه، هر گروه شامل 100 مرحله، با حداکثر زمان تک مرحله 3000.0 ثانیه وضوح: 0.1S
		برنامه را می توان ذخیره، فراخوانی، اصلاح و حذف کرد
		تنظیم مجوزهای رمزگذاری: به ترتیب برای اپراتورهای دستگاه، تکنسین ها، مدیران و سازندگان
		نوع برج سیگنال: قرمز، زرد، سبز 3 رنگ