صنعت نیمه هادی نوع نوار کاست دسته ای پاک کننده پلاسما PR ماشین خارج از خط Photoresist Residual Removal , China صنعت نیمه هادی نوع نوار کاست دسته ای حذف کننده PR پلاسما دستگاه خاموش کننده Photoresist Residual Removal تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه

توضیحات محصول

نوع کاست بچ پلاسما Photoresist Remover

DESCUM
تمیز کردن ویفر
حذف فوتوریست باقیمانده پس از فرآیند مرطوب
حذف بقایای سطحی
پس از نوردهی و توسعه، فوتوریست باقیمانده را بردارید

صنعت نیمه هادی نوع کاست دسته ای حذف کننده روابط عمومی پلاسما دستگاه آفلاین Photoresist جزئیات حذف باقیمانده

روند

صنعت نیمه هادی نوع کاست دسته ای پاک کننده پلاسما PR دستگاه آفلاین تامین کننده Photoresist Residual Removal

صنعت نیمه هادی نوع کاست دسته ای حذف کننده روابط عمومی پلاسما دستگاه خارج از خط تولید Photoresist Residual Removal

صنعت نیمه هادی نوع کاست دسته ای حذف کننده روابط عمومی پلاسما دستگاه آفلاین Photoresist Residual Removal factory

مزیت:

مزیت اصلی

سرعت صمغ زدایی بالا: پلاسمای با چگالی بالا، سرعت صمغ زدایی سریع
پایداری: پس از درمان پلاسما، تکرارپذیری بالا
پلاسما از راه دور: پلاسما از راه دور، آسیب کم یون به ویفر
نرم افزار ویژه: تحقیق و توسعه مستقل نرم افزار، انیمیشن فرآیند بصری، داده ها و سوابق دقیق
یکنواختی: پلاسما می تواند فشار و دما را از طریق شیر پروانه ای کنترل کند
ضریب ایمنی: پلاسمای کم آسیب به تخلیه محصول را کاهش می دهد.
خدمات پس از فروش: پاسخ سریع و موجودی کافی
کنترل گرد و غبار: نیازهای مشتری را برآورده کنید.
فناوری اصلی: با نزدیک به 40٪ از اعضای تیم تحقیق و توسعه

پلت فرم کاست (MD-ST 6100/620)

1. 4 حامل ویفر
2. سازگاری بالا: انعطاف پذیری انتخاب اندازه ویفر هزینه و کارایی راه حل بالایی را به همراه دارد
3. محفظه انتقال خلاء با ثبات بالا:
طراحی انتقال خلاء بالغ و پایدار سالهاست که به طور کامل در بازار اعمال می شود و توسط مشتریان به خوبی شناخته می شود.
طراحی صفحه گردان، فضای جمع و جور، به طور قابل توجهی خطر ابتلا به PARTICAL را کاهش می دهد
4. رابط عملیات نرم افزار انسانی:
رابط عملیاتی نرم افزار انسانی بصری، نظارت بر زمان واقعی وضعیت ماشین در حال اجرا.
هشدار جامع و عملکردهای ضد احمق برای جلوگیری از عملکرد نادرست.
عملکرد قدرتمند صادرات داده، سوابق پارامترهای مختلف فرآیند و صادرات سوابق تولید محصول.

ربات

1. یک بار انتخاب ویفر دوگانه و طراحی مکان بهره وری بالایی را به ارمغان می آورد
2. بهبود بهره وری فضا.

صفحه گرمایش

1. صفحه ویفر کنترل دما با دقت بالا
صفحه گرمایش ویفر از دمای اتاق تا 250 درجه سانتیگراد، دقت کنترل دما 1± درجه سانتیگراد
صفحه گرمایش ویفر توسط ابزارهای حرفه ای و یکنواختی کالیبره شده است. در دمای 3± درجه سانتیگراد، از یکنواختی حذف چسب اطمینان حاصل کنید
2. پردازش دو ویفر تک محفظه
طراحی ویفر دوگانه تک محفظه؛
طراحی تخلیه توان مستقل برای هر ویفر، اطمینان از اینکه هر ویفر. اثر حذف PR گرد.
با فرض اطمینان از کارایی UPH، هزینه محصول را کاهش دهید. سازگاری قوی
3. ظرفیت تولید: محفظه واکنش طراحی دو قطعه، راندمان تولید بالا.

مشخصات

منبع پلاسما	RF	مایکروویو
قدرت	1000w	1250w
دامنه قابل اجرا	4 تا 8	4 تا 8
تعداد تکه های پردازشی	4-6 اینچ = 50 قطعه / 8 اینچ = 25 قطعه	4-6 اینچ = 50 قطعه / 8 اینچ = 25 قطعه
ابعاد ظاهر	1000x850x1700mm	1000x850x1700mm
کنترل سیستم	PC	PC
سطح اتوماسیون	دستی	دستی

قابلیت سخت افزار
زمان کار / زمان در دسترس	≧ 95٪
میانگین زمان تمیز کردن (MTTC)	≦6 ساعت
میانگین زمان تعمیر (MTTR)	≦4 ساعت
میانگین زمان بین خرابی ها (MTBF)	≧350 ساعت
میانگین زمان بین دستیار (MTBA)	≧24 ساعت
میانگین ویفر بین شکسته (MWBB)	≦ 1 در 10,000 ویفر
کنترل صفحه گرمایش	50-250 °