ماشین حذف PLASMA PR صنعت نیمه رسانا حذف باقیمانده فتورزست , China ماشین حذف PLASMA PR صنعت نیمه رسانا حذف باقیمانده فتورزست Manufacturers, Suppliers, Factory

توضیحات محصول

حذف فتورزست پلاسما ICP

شویی
حذف پلیمر
حذف خشک لایه ماسک سخت
حذف فتورزست بعد از تزریق یون
حذف فتورزست در فرآیند BAW/SAW
تمیز کردن خشک لایه فیلم بازتاب گرافیکی ضد
پاکسازی باقیمانده‌های سطحی
پاکسازی سطح پس از برداشت
DESCUM

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

فرآیند

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

مزیت:

مزیت اصلی

نرخ بالا برای خالص کردن: پلاسمای چگالی بالا، نرخ سریع خالص کردن
ثبات: پس از تیمار پلاسما، تکرارپذیری بالا
پلاسما فاصله‌دار: پلاسما فاصله‌دار، آسیب یونی کم به وفر
نرم‌افزار ویژه: توسعه نرم‌افزار مستقل، انیمیشن فرآیند شهودی، داده‌ها و ثبت‌های جزئی
یکنواختی: پلاسما می‌تواند فشار و دما را از طریق کlep آبشاری کنترل کند
فاکتور امنیت: پلاسما کم آسیب به محصول کاهش می‌دهد.
خدمات پس از فروش: پاسخ سریع و موجودی کافی
کنترل گرد و غبار: پاسخگوی نیازهای مشتریان.
فناوری اصلی: با تقریباً ۴۰٪ از اعضای تیم تحقیق و توسعه

پلتفرم کسات (MD-ST 6100/620)

۱. چهار حامل وافر
۲. سازگاری بالا: انعطاف پذیری در انتخاب اندازه وافر، بهره وری هزینه و راه‌حل بالا می‌آورد
۳. اتاق انتقال خالی پایداری بالا:
طراحی انتقال خالی آشنا و پایدار که برای سال‌ها در بازار کاربرد داشته و توسط مشتریان شناخته شده است.
طراحی چرخ چرخیدنی، فضاي فشرده، کاهش قابل ملاحظه خطر PARTICAL
۴. رابط نرم‌افزاری عملیاتی انسان محور:
رابط نرم‌افزاری عملیاتی انسان محور و روشن، نظارت واقعی بر وضعیت عملکرد ماشین؛
alarms جامع و توابع ضد اشتباه برای جلوگیری از عملیات نادرست.
توابع قدرتمند صادر کردن داده، ثبت پارامترهای مختلف فرآیند، و صادر کردن ثبت تولید محصولات.

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal details

ربات

1. طراحی یکباره برای گرفتن و قرار دادن دو وافر که بهره‌وری بالا را فراهم می‌کند
2. بهبود کارایی فضایی.

پلیت گرم کننده

1. کنترل دما با دقت بالا بر روی صفحه وافر
صفحه گرم کننده وافر از دمای اتاق تا 250 درجه سانتیگراد، دقت کنترل دما ±1 درجه سانتیگراد
صفحه گرم کننده وافر توسط ابزارهای حرفه‌ای کالیبر شده است، و یکنواختی در حدود ±3 درجه سانتیگراد، که اطمینان از یکنواختی حذف چسب را تضمین می‌کند
2. پردازش دو وافر در یک حجره
طراحی دو وافر در یک حجره؛
طراحی برق مستقل برای هر وافر، که اطمینان از اثر حذف PR دوره در هر وافر را تأمین می‌کند;
با پیش‌نیاز حفظ کارایی UPH، هزینه محصول را کاهش دهید. سازگاری قوی
3. ظرفیت تولید: اتاق واکنش با طراحی دو قطعه‌ای، کارایی تولید بالا.

مشخصات

پلاسمای			RF	RF
قدرت	ICP	1000 وات	1000 وات
قدرت		BIAS	600w(اختیاری)	600w(اختیاری)
محدوده کاربرد			4~8 اینچ	4~8 اینچ
تعداد تکه‌های پردازش شده به صورت تکی			1	2
ابعاد ظاهری			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
کنترل سیستم			سیستم کنترل صنعتی	سیستم کنترل صنعتی
سطح خودکارسازی			خودکار	خودکار

توانایی سخت‌افزاری
مدت زمان فعال/مدت زمان قابل دسترس	≧95%
مدت زمان میانگین برای تمیز کردن (MTTC)	≦6 ساعت
مدت زمان میانگین تا اصلاح (MTTR)	≦4 ساعت
مدت زمان میانگین بین شکست‌ها (MTBF)	≧350 ساعت
مدت زمان میانگین بین کمک‌های فنی (MTBA)	≧24 ساعت
مدت میانگین صفحه‌های سیلیکون بین شکست (MWBB)	≦1 در 10,000 صفحه سیلیکون
کنترل صفحه گرمایی	50-250°