پروژه
|
محتوا
|
نوع محصول
|
ویفر 6،8،12 اینچی، بسته بندی 2.5D/3D
|
بازرسی دو بعدی
موارد |
اجسام خارجی، چسب باقیمانده، ذرات، خراش، ترک، آلودگی، انحراف CP، آثار بیش از حد سوزن و غیره.
|
مترولوژی دوبعدی
|
قطر برآمدگی، مختصات علامت سوزن، مترولوژی RDL و TSV و غیره.
|
پروژه بازرسی سه بعدی
|
ارتفاع برآمدگی، همسطح بودن برآمدگی
|
کاست و روش انتقال
|
8 "SMIF، 12" FOUP یا ترکیبی
|
لنز و وضوح
|
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
|
دقت
|
0.55um/pixel
|
اختیاری و سفارشی
|
OCR دو طرفه، ماژول 3D، پشتیبانی شده توسط E84
|
حق چاپ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. تمامی حقوق محفوظ است