دستگاه پاک کننده پلاسما با مایکروویو خلاء محلول بسته بندی نیمه هادی پلاسما پاک کننده سطح مایکروویو پکیج IC TO، چین دستگاه تمیز کننده پلاسما مایکروویو خلاء پلاسما پاک کننده نیمه هادی محلول بسته بندی IC TO بسته بندی تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه

توضیحات محصول

محلول بسته بندی نیمه هادی پاک کننده پلاسما مایکروویو

SPV-100MWR یک سیستم تمیز کننده پلاسما مایکروویو ولتاژ پایین برای نیمه هادی ها است. با استفاده از مایکروویو با فرکانس 2.45 گیگاهرتز بر روی پنجره روی دیواره حفره خلاء، تعداد زیادی پلاسمای پیوسته تولید می شود و تراشه با ورود به حفره تمیز می شود.

دستگاه پاک کننده پلاسما مایکروویو خلاء محلول بسته بندی نیمه هادی درمان سطح پلاسما تامین کننده بسته بندی IC TO

پارامترهای فنی

میزبان پلاسمای خلاء
اندازه تجهیزات	1230X1800X1100mm (عرض x ارتفاع x عمق)
وزن	450kg
قدرت تقاضا	AC380V، 50/60Hz، 5 سیم، 30A
مشخصات ژنراتور پلاسما
منبع تغذیه مایکروویو	قدرت	0 ~~ 1250W
		فرکانس	2.45GHz
سیستم خلاء
ماده	آلیاژ آلومینیوم (محفظه فولاد ضد زنگ قابل تنظیم)
ضخامت	25mm
ابعاد داخلی حفره	480mmX470mmX480mm
فضای کاری	6 بخش مجله
ECR	مجله Slotted جلوه پردازش ECR را افزایش می دهد
قابلیت پلاسما
توانایی پردازش	زمین 35um برآمدگی 40 میکرومتری حداکثر اندازه قالب 15X15mm