پارامتر فنی |
حالت اندازهگیری |
PSI/VSI/عمق میدان بسیار زیاد/میدان روشن |
میدان دید اندازهگیری تکی (عدسة 20×) |
500*350μm (جفتبندی خودکار) |
|
تنظیم زاویه |
±12° دستی |
|
تنظیم محور Z |
20mm الکتریکی + 50mm دستی (مکانیسم تنظیم درشت و ریز) |
|
محدوده اسکن طولی |
0-10mm |
|
دقت طولی |
<0.2nm |
|
تکرارپذیری اندازهگیری روزنه طولی |
0.01nm (حالت PSI) |
|
خطای نشانگر ارتفاع پله اندازهگیری |
<0.75% (حالت VSI) |
|
دقت عرضی: @550nm |
0.69μm (عدسه ابجکتیو 20×) |
|
عکسالعمل نمونه قابل اندازهگیری |
0.1%-100% |
|
زمان اندازهگیری |
<5s (حالت PSI) |
|
تابع تحلیل |
تابع تحلیل |
اندازهگیری ارتفاع 3D، تحلیل خشکی 3D، اندازهگیری بعد 2D |
خروجی دادههای 3D |
دادههای ابر نقطهای 3D، دادههای تصویر سطحی، گزارش سفارشی |
بزرگنمایی عدسی |
2.5X |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
نورپردازی عددی |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
قرارداد نوری @550nm (میکرومتر) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
عمق کانونبندی (میکرومتر) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
فاصله کاری (میلیمتر) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved