پارامتر فنی | حالت اندازه گیری | PSI/VSI/عمق میدان فوق العاده/میدان روشن |
میدان دید واحد اندازه گیری (عدسی شیئی 20×) | 500*350μm (دوخت خودکار) | |
تنظیم زاویه | ± 12 درجه دستی | |
تنظیم محور Z | 20 میلی متر برقی + 50 میلی متر دستی (مکانیسم تنظیم درشت و ریز) | |
محدوده اسکن طولی | 0-10mm | |
وضوح طولی | <0.2nm | |
تکرارپذیری اندازه گیری زبری طولی | 0.01 نانومتر (حالت PSI) | |
خطای نشانگر ارتفاع پله اندازه گیری | <0.75٪ (حالت VSI) | |
وضوح جانبی: @550nm | 0.69μm (عدسی شیئی 20×) | |
بازتاب نمونه قابل اندازه گیری | ٪ 0.1 100٪ | |
زمان اندازه گیری | <5 ثانیه (حالت PSI) | |
تابع تجزیه و تحلیل | تابع تجزیه و تحلیل | اندازه گیری ارتفاع سه بعدی، تحلیل زبری سه بعدی، اندازه گیری ابعاد دو بعدی |
خروجی داده سه بعدی | داده های ابر نقطه سه بعدی، داده های تصویر در مقیاس خاکستری، گزارش سفارشی |
بزرگنمایی عینی | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
روزنە عددی | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
وضوح اپتیکال @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
عمق فوکوس (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
فاصله کار (میلی متر) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
حق چاپ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. تمامی حقوق محفوظ است