راه‌حل برای حذف فتوorest از روی وافر半رسانده

چرا وفرهای نیمه‌رسانا نیاز به حذف فتوریزست دارند؟

در فرآیندهای تولید نیمه‌رسانا، مقدار زیادی از فتوریزست استفاده می‌شود تا با استفاده از حساسیت و توسعه ماسک و فتوریزست، گرافیک‌های صفحه مدار را به فتوریزست وفر منتقل کند و گرافیک‌های خاص فتوریزست را بر روی سطح وفر ایجاد کند. سپس، تحت محافظت فتوریزست، نقش‌برداری یا پیوند یونی روی فیلم پایینی یا زیربنای وفر انجام می‌شود و فتوریزست اصلی کاملاً حذف می‌شود.

حذف فتوریزست آخرین مرحله در فرآیند فتولیتوگرافی است. پس از تکمیل فرآیندهای گرافیکی مانند نقش‌برداری/پیوند یونی، فتوریزست باقی‌مانده بر روی سطح وفر وظایف منتقل کردن الگو و لایه محافظ را تکمیل کرده است و باید از طریق فرآیند حذف فتوریزست کاملاً حذف شود.

حذف فوتورزیست یک مرحله بسیار مهم در فرآیند میکرو ساخت است. آیا فوتورزیست به طور کامل حذف شده است و آیا آن عوارضی برای صفحه وافر ایجاد می‌کند، به طور مستقیم بر فرآیند تولید چیپ مدار مجتمع بعدی تأثیر خواهد گذاشت.

فرآیندهای حذف فوتورزیست نیمه هادی چیست؟

به جز تفاوت در محیط فوتورزیست، می‌تواند به دو دسته تقسیم شود: حذف با اکسیداسیون و حذف با محلول‌کننده.

مقایسه روش‌های مختلف حذف چسبناکی:

همانطور که از شکل فوق قابل مشاهده است، جدا کردن خشک مناسب برای بیشتر فرآیندهای جدا کردن است، با حذف کامل و سریع، که آن را بهترین روش بین فرآیندهای موجود جدا کردن می‌سازد. فناوری PLASMA مایکروویو نیز نوعی از جداسازی خشک است.

دستگاه چسب فتوریزست مایکروویو PLASMA ما، مجهز به فناوری نخستین تولیدکننده مایکروویو نیمه هادی فتوریزست داخلی است، دارای رف چرخشی جریان مغناطیسی برای خروجی کارآمدتر و یکنواخت پلاسمای مایکروویو است. فرودگاه‌های سیلیکون و دستگاه‌های فلزی دیگر فناوری توان دوگانه "مایکروویو+ RF انحراف" را ارائه می‌دهند تا نیازهای مشتریان مختلف را برآورده کند.

پلاسما مایکروویو ماشین حذف فتوorest

① پلاسما مولکول‌های رادیکال آزاد اریبی ندارد و آسیب الکتریکی نمی‌زند؛

② محصول می‌تواند روی پالت، در جایک ها یا در مجله بسته شود، با کارایی پردازش بالا;

③ مجله می‌تواند با یک چارچوب چرخان قابل تنظیم باشد و از طریق طراحی ECR منطقی و تنظیم خوب جریان گاز، می‌توان به تجانس نسبتاً بالایی دست یافت;

④ طراحی سیستم کنترل یکپارچه، نرم‌افزار کنترل حاصل از اختراع، عملکرد راحت‌تر;