کاربرد گسترده دستگاه های تمیز کننده پلاسما در صنعت نیمه هادی

کاربرد ماشین های تمیز کننده پلاسما در صنعت نیمه هادی بسیار گسترده است که عمدتاً در جنبه های زیر منعکس می شود:

▘تمیز کردن فعال‌سازی سطح: برای تمیز کردن فعال‌سازی سطح ویفرها، تراشه‌های آی سی، ویفرهای سیلیکونی نیمه هادی و غیره، فناوری تمیز کردن پلاسما عملکرد حذف لایه‌های اکسید، مواد آلی، ماسک‌ها و غیره را از سطح ویفر، تصفیه تصفیه و فعال‌سازی سطح دارد. و اجتناب از پدیده لحیم کاری مجازی.

▘فرآوری پس از بسته بندی: پس از تکمیل بسته بندی تراشه، مواد بسته بندی تمیز می شود تا بقایای جوشکاری و آلاینده های تولید شده در طول فرآیند بسته بندی حذف شود و از کیفیت محصول اطمینان حاصل شود. ماشین‌های تمیزکننده پلاسما می‌توانند به درمان بدون آلودگی دست یابند و در عین حال از استفاده از حلال‌های مضری که می‌توانند به سلامت انسان آسیب بزنند اجتناب کنند.

▘حذف باقیمانده مقاوم در برابر نور: در فرآیند فوتولیتوگرافی تولید نیمه هادی برای تعیین الگوی تجهیزات استفاده می شود. پس از اتمام لیتوگرافی، دستگاه تمیز کننده پلاسما می تواند به سرعت و به طور کامل باقی مانده های مقاوم در برابر نور را حذف کند تا از دقت الگو و قابلیت اطمینان تجهیزات اطمینان حاصل شود.

▘پیش درمان رسوب فیلم: در طول فرآیند رسوب فیلم، سطح باید بسیار تمیز نگه داشته شود تا از چسبندگی و یکنواختی فیلم اطمینان حاصل شود. تمیز کردن پلاسما می تواند به طور موثر آلاینده ها و باقی مانده ها را قبل از رسوب حذف کند و در نتیجه کیفیت لایه های نازک را بهبود بخشد.

▘اصلاح سطح: درمان پلاسما نه تنها برای تمیز کردن استفاده می شود، بلکه می تواند به اصلاح سطح نیز دست یابد. با تنظیم ترکیب گاز و پارامترهای پردازش، فناوری پلاسما می تواند آب دوستی یا آبگریزی مواد را بهبود بخشد، عملکرد و پایداری دستگاه ها را افزایش دهد.

▘ بهبود چسبندگی: ماشین های تمیز کننده پلاسما را می توان برای تمیز کردن مواد بسته بندی مانند پلاستیک، سرامیک و غیره برای افزایش چسبندگی و قابلیت اطمینان مواد بسته بندی استفاده کرد. بهبود عملکرد چسبندگی بین چسب رسانای دانه و پد، عملکرد نفوذ خمیر لحیم کاری، افزایش کشش اتصال سربها و بهبود قابلیت اطمینان دستگاه های بسته بندی شده.