راه حل میکروسکوپ اسکن اولتراسونیک برای صنعت نیمه هادی

زمان: 2025-02-27

اصل تست اولتراسونیک

مبدل اولتراسونیک پالس اولتراسونیک تولید می کند که از طریق محیط کوپلینگ (آب) به DUT می رسد.

با توجه به تفاوت امپدانس آکوستیک، امواج اولتراسونیک در سطح مشترک مواد مختلف منعکس می شود.

مبدل اولتراسونیک پژواک منعکس شده را دریافت کرده و آن را به سیگنال های الکتریکی تبدیل می کند.

کامپیوتر سیگنال الکتریکی و شکل موج یا تصویر را پردازش می کند.

فرم اسکن

اسکن: شکل موج در یک نقطه مشخص.

محور افقی زمانی را نشان می دهد که شکل موج ظاهر می شود.

محور عمودی دامنه شکل موج را نشان می دهد.

اسکن C: اسکن مقطع عرضی.

محورهای افقی و عمودی ابعاد فیزیکی را نشان می دهند.

رنگ نشان دهنده دامنه شکل موج است.

اسکن B: اسکن طولی مقطع;

محور افقی ابعاد فیزیکی را نشان می دهد.

محور عمودی زمانی را نشان می دهد که شکل موج ظاهر می شود.

رنگ نشان دهنده دامنه و فاز شکل موج است

اسکن چند لایه: اسکن چند لایه C در جهت عمق نمونه انجام می شود.

اسکن انتقال: گیرنده هایی به پایین نمونه اضافه می شوند تا امواج صوتی ارسال شده را برای تولید تصاویر جمع آوری کنند.

مزایا و محدودیت های تشخیص

مزایای:

1. تشخیص اولتراسونیک برای طیف گسترده ای از مواد، از جمله فلزات، غیر فلزات، و مواد کامپوزیت قابل استفاده است.

2. می تواند در اکثر مواد نفوذ کند.

3. به تغییرات رابط بسیار حساس است.

4. برای بدن انسان و محیط زیست بی ضرر است.

محدودیت ها:

1. انتخاب شکل موج نسبتا پیچیده است.

2. شکل نمونه بر اثر تشخیص تأثیر می گذارد.

3. موقعیت و شکل نقص تأثیر خاصی بر نتیجه تشخیص دارد.

4. مواد و اندازه دانه نمونه تاثیر زیادی در تشخیص دارد.

بازرسی کیفیت جوش در طی فرآیند بارگذاری ویفر

نظارت در طول راه‌اندازی دستگاه بارگیری ویفر و فرآیند اشکال‌زدایی برای کشف ناهنجاری‌ها در پارامترها و وضعیت‌های مختلف تجهیزات.

ارتفاع و زاویه سر مکش؛

اکسیداسیون و دمای لحیم کاری؛

مواد قاب سربی و مواد تراشه

بازرسی کیفیت جوش در هنگام بارگذاری تراشه

نظارت در هنگام راه اندازی و اشکال زدایی دستگاه بارگیری تراشه می تواند به طور مستقیم ناهنجاری ها را در پارامترها و وضعیت های مختلف تجهیزات پیدا کند.

ارتفاع و زاویه سر مکش؛

اکسیداسیون و دمای لحیم کاری؛

جنس قاب و تراشه سرب

حفره های موجود در فرآیند جوشکاری تراشه باعث اتلاف حرارت ناکافی در طول استفاده از دستگاه می شود که بر عمر مفید و قابلیت اطمینان آن تأثیر می گذارد. با استفاده از روش‌های تست اولتراسونیک می‌توان عیوب خالی جوشکاری را به سرعت و به طور موثر شناسایی کرد.