Korkean tarkkuuden kemiallinen mekaaninen tasapainotusprosessi CMP , China Korkean tarkkuuden kemiallinen mekaaninen tasapainotusprosessi CMP Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaus

Korkea tarkkuus Kemiallinen mekaaninen tasauslaitteisto (CMP)

Tarkka CMP-laitteisto saavuttaa tehokkaasti ylimääräisten aineiden poistamisen kiekon pinnalta ja globaalin nanoskalaisen tasauksen kemiallisen korroosion ja mekaanisen maalauksen yhteisvaikutuksen avulla.

Monitoivuinen kemiallinen polttokone, joka on suunniteltu CMP- ja peitepolttokuvauksia varten, jotka edellyttävät tiukkoja geometrisia tarkkuusvaatimuksia ja pintalaatua, voi saavuttaa alananometrin tason Ra.

Tämä laite voi suorittaa tarkkaa nanometri tasoisia höyrytyksiä yksittäisille muotoiluille sekä höyryttää ohut lehdet, joiden halkaisija voi olla enintään 8 tuumaa. Lisäksi sitä voidaan käyttää epätavallisiin höyrytyssovelluksiin, kuten kovien alusten höyrytykseen, Epi-pinnan valmisteluun ja kehon kierrättämisen parantamiseen.

Jotta CDP-sarjan koneet sopeutuisivat eri materiaaleihin ja prosessivaatimuksiin, teknikot mukauttavat ja suunnittelevat vastaavia höyrytysmallipohjia käyttäjän teknisten vaatimusten mukaan täsmällisesti täyttääkseen CMP-prosessin vaatimukset. Vasemman puoleisen kuvan esimerkki näyttää yhden 8 tuuman halkaisijan waferin toimintaluennon.

Tarkoituksena on varmistaa tarkka mittaus ja hallinta wafeereista tai laitteista, jotka höyrytetään CDP-koneilla, ja olemme kehittäneet EPD-järjestelmän, jonka mukautettu CDP-skannauskuvaohjelma voi toimia notebookilla. Tämä ohjelma seuraa ja kuvailee graafisesti höyrytysprosessia ja pysäyttää sen automaattisesti, kun päätepiste saavutetaan.

Estä liiallinen polttaminen. CDP-skannaus voi myös toimia turvallisuusominaisuutena. Jos mitattavissa prosessiparametreissa havaitaan muutoksia, CDP Scan käynnistää äänihuutoa estääkseen liiallisen polttamisen. Esimerkkejä tältä osin ovat muutokset kantajan nopeudessa ennustetusta arvosta. EPD-järjestelmä huomaa tämän tilanteen, koska kitkataso polttokkeen ja poltettavan materiaalin välillä muuttuu mukauttamisen nopeuden muutosten vuoksi, mikä voi vaarantaa waferin/C onnistuneen tasauskäsittelyn. Tällöin EPD-järjestelmä käynnistää äänihuutoa ennen kuin laite poistetaan polttokkeen pinnalta, tai sitä voidaan asettaa automaattiseen sammutukseen.

ACP-järjestelmää voidaan käyttää paremmin laajemmassa sovellusalueella, ja kaaviokuva osoittaa CMP-prosessin testitulokset siliksenoksidille, kuparille, siliksinilloydille, alumiinikuparille, siliksingermaanille ja tungsteenille.
Kaaviokuva osoittaa, että CMP-prosessin jälkeen WTWNU voi saavuttaa 2,82%.

SOVELLUS

Siliksesiivien tasaus
II-V-yhdisteen tasaus
Oksidi tasaus
Infrapunomateriaalin alustan tasoittaminen
Sapphiiri-, gallium nitriidi- ja silittiinkarbidi-alusten tasoittaminen, EPI-alusten tasoittaminen
SOS- ja SOI-kierraskerrosten ohutus alle 20 mikroniin
Hierarkkinen käänteinen tekniikka tai FA-sovellukset

MITTATIETOE

Virranlähtö	220v 10A
Waferekoko	4”/100mm 6”/150mm 8”/200mm 12”/300mm
Työskivaan halkaisija	520mm, 780mm
Työskivaan nopeus	0-120rpm
Kiinnityksen nopeus	0-120rpm
Kiinnityksen sway taajuus	0-30spm
Waferin takapaine	0-150psi
Paine waferin keskipisteessä	0-50psi
Ajastettu aika	0-10 h
Syöttökannel	≥2
Syöttönopeus	0-150ml/min

Pakkaus & Toimitus

Yrityksen profiili

Minder-Hightech on myynti- ja huoltotoimisto semikonduktoriteollisuuden ja elektronikkatuotteiden alalla. Vuodesta 2014 lähtien yritys on sitoutunut tarjoamaan asiakkailleen parempia, luotettavia ja yhdestä kädestä toimitettuja ratkaisuja koneistoyksiköille.

FAQ

1. Hintaan liittyen:
Kaikki hinnat ovat kilpailukykyisiä ja neuvottelukelpoisia. Hinta vaihtelee riippuen laitteesi konfiguraatiosta ja mukauttamisen monimutkaisuudesta.

2. Näyteistä:
Voimme tarjota näytevalmistuspalveluita, mutta sinun täytyy maksaa joitakin maksuja.

3. Tietoja Maksusta:
Kun suunnitelma on hyväksytty, sinun täytyy ensin maksaa varausmaksu, ja tehdas aloittaa varastojen valmistelun. Kun
laitteisto on valmis ja olet maksanut jäljellä olevan summan, se lähetetään.

4. Toimituksesta:
Kun laitteen valmistus on valmis, lähettämme sinulle hyväksymisvideon, ja voit myös tulla paikalle tarkistamaan laitetta.

5. Asennus ja Viritys:
Kun laite on saapunut tehtaatasi, voimme lähettää insinöörejä asentamaan ja sopeuttamaan laitetta. Tarjoamme erillisen tarjouksen tästä palvelumaksusta.

6. Tietoja Takuuosta:
Laittemme sisältävät 12 kuukautta kestävän takuua. Takuuajan päätyttyä, jos mikään osa vahingoittuu ja sen on korvattava, laskutamme vain kustannushinnan.