Tasauskone / Tasauskone fotoliitotekniikkaan , China Tasauskone / Tasauskone fotoliitotekniikkaan Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaukset

Maski Tasauslaitteisto Liitännäyskone

Maski tasauslaitteisto käytetään pääasiassa pienempien ja keskisuurten integrointiyksiköiden, semikonduktorikomponenttien, optoelektroniikkalaitteiden, pinta-akustisten aaltojen komponenttien, ohut filmipolut ja voimaliitännäyskomponenttien kehityksessä ja tuotannossa
Mask Aligner tunnetaan myös nimellä: maskin suorituskykyinen kuvaukone, esitysjärjestelmä, litografiajärjestelmä jne., se on ytimenä oleva laite puolijohdekuivien valmistuksessa. Se käyttää teknologiaa, joka muistuttaa valokuvien tulostamista, jotta se voi painaa hienot kaaviot maskilta siliconipohjaan valokuvauksen avulla.
Pääasiassa koostuu seuraavista osista: tarkka suorituskykyinen työpöytä, kahden silmän erillinen näköalue vertikaalimikroskooppi, kahden silmän erillinen näköalue vaakasuuntainen mikroskooppi, digitaalikamera, tietokoneen kuvausmuisti-järjestelmä, monipisteinen valoiskulähde (fly eye) kuvauksen päätin, PLC-hallintajärjestelmä, ilmapainejärjestelmä, vakuumijärjestelmä, suoraan kytketty vakuumipyörremoottori, toissijainen värähtelyestojärjestelmä ja liitännäinen laatikko.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Ominaisuus

1. Korkea tasaisyyden fly-eye-kuvauksen päätin / ilmaputokevyt tasausmekanismi / luotettava vakuumisidonta kuvaukseen. korkea resoluutio.
2. Maskin suorituskyvyn menetelmä säilyttää vakion ja substraatin syöttämisen, mikä varmistaa ohjausgraviaation ja voiman yhtenäisyyden.
3. Käyttää kuormattomia suorituskykyisiä ohjaussuuntia, korkea tarkkuus, nopea nopeus.
4. Kaikki mallit sopivat työskentelemään kaikken standardin fotoresisteerien kanssa, kuten AZ, Shipley, SU 8.
5. Kaikkien mallien järjestelmän siirtämä kuvaus pinnalle viiden peiteprosessin yhteydessä tulisi olla sama kuin ensimmäisen peiteprosessin jälkeen saatu kuvauslaatu.
6. Kalttiaika on säätökykyinen välillä 1 sekunti ja 1 tunti. Tasausnaukkuus 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

MITTATIETOE

Malli	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Kalttityyppi	yksi sivu			Kaksiosainen tasaus ja kaksiosainen kaltto
Kuvauskuormitus	Kovakaltto, pehmeäkaltto ja epäkosketusläheiskaltto
Lampipään määrä	1 Lampipää			2 Lampipää
Valonlähde	GCQ350 palloformainen merkuryylamppu						LED UV-lampipää
Jäähdytysmenetelmä	ilmanladunnainen
Lamppualue	Φ100mm	110×110mm	Φ100mm		150mm×150mm
Kuvauskuormitus	Yhteensopiva kontakti-kovalla, pehmeällä
Kohtuuton esittely	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Esittelyresoluutio	2μm	1 μm
Säteen intensiteetti (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Säteen epäsäännöllisyys	≤±4%	≤ ± 3%
UV-säteen suurin poikkeuskulma	4°	3°
Valaistusalue	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Edestä ja takana ≥ Φ115mm
Kolmiovirheen kompensaatiotila	Pallonmuotoinen automaattikompensointi			Automaattinen poisto		3 pistettä automaattinen kompensaatio
X- ja Y-akselien matka	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
θ:n matka	±3°	≤5°	≤±5º		≤0,5°
XYZ-alusten siirtymäresoluutio	0,5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Mikroskooppijärjestelmä	Kaksi yksittäistynkijärjestelmää / Kaksi CCD-kameraa
Näytön koko	15 tuumaa
Kuvantamisjärjestelmän resoluutio	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Peitteen ja pohjan mitausväli	0.5 µm	0.3 µm
CCD-kohdepinnan vinoviisto	1/3, (6mm)						40mm～110mm
Asetustaulun koko	≤ Neliö 5*5 tuuma (Mukautettavat speksit)
Substraattien koko	Φ 100mm tai 100*100mm neliö	60*49.5mm neliö	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Substraatti paksuus	1-3 mm	≤5 mm	1-3 mm		≤5 mm
tyhjiöpumppu	Öljytön hiljaisuus (-0.07～-0.08MPα)
Puhdas kompressori-ilma	≥0.4MPα
Virranlähtö	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Puhtasen huoneen luokka	Luokka 100
Puhtaan huoneen lämpötila	25℃±2℃
Suhteellinen ilmankosteus puhdas huoneessa	≤60%
Puhdas huoneen vibratiopinta-arvo	≤4μm
Laitekoko	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
Laitteen paino	200KG				280 kg

Tarkkuuden korkean tason kohdistussysteemin valmistus vaatii melko läheltä täydellistä tarkkuutta mekaanisessa prosessissa. Kohdistussysteemin toinen tekninen ongelma on kohdistusmikroskoopi. Mikroskoopin näkökentän laajentamiseksi monet korkean tarkkuuden litografiakoneet käyttävät LED-valaistusta. Kohdistussysteemi koostuu kahdesta fokusfunktiolla varustetusta järjestelmästä, jotka sisältävät kaksi silmää ja kaksi näkökenttää mikroskoopin rungon suhteen, sekä yhden pari silmänpohjia ja yhden pari objektiiveja (litografiakone tarjoaa usein eri suurennuksella varustettuja silmänpohjia ja objektiiveja käyttäjille). CCD-kohdistussysteemin tehtävä on suurentaa maskin ja näytteen kohdistusmerkit ja kuvata ne valvolla.

Työpalan vaihe on avainosa litografiakoneessa, joka koostuu peilin näytekokonaisuuden liikevaiheesta (XY), peilin näyteen suhteellisesta liikevaiheesta (XY), pyöritysvaiheesta, näytteen tasausmekanismista, näytteen keskittymismekanismista, wafer-vaiheesta, peilin kiinnitysmekanismista ja vetokarttaa varten tarkoitetusta vaiheesta. Näytteen tasausmekanismi koostuu pallopaikasta ja puolihihtomurusta. Tasauksen aikana ilmakehä ensin käytetään pallopaikan ja puolihihtomurun painamiseen, ja sitten pallopaikka, puolihihtomurusi ja näytepalset liikkuvat ylöspäin keskittymiskierroksen kautta, jotta näytepalset voidaan tasata peiliin nähden, ja sen jälkeen kolme-asennon kolmioventtiili vaihtaa pallopaikan ja puolihihtomurun tilavuuteen sulavapaineelle lukitsemiseksi tasausaseman säilyttämiseksi.

Minder-Hightech tarjoaa sinulle edistynyttä teknologiaa valosidonnassa kautta Aligner/Alignment-koneen.

Onko sinulla vaikeuksia tulostaa piirteitä liian vähän tarkasti elektroniikkatuotteellesi? Minder-Hightechin Aligner/Alignment Machine -koneella voit olla varma siitä, että saavutat korkean tarkkuuden tulostettujen piirteiden tuotannossa.

Tämän vallankumoullisen laitteen avulla voit helposti siirtää korkean resoluution kuvan tuotteelle käyttämällä valokuvausmenetelmää. Tämä kone takaa tarkkuuden operaatiolla, joka tasaa materiaalin kuvan kanssa.

Kun kuvat on tulostettu ja ladattu, kone laskee kuinka paljon esitystä tarvitaan ja miten materiaali on tasattava näiden kuva-aineistojen mukaan. Laskenta tehdään käyttämällä uusinta tietokoneohjelmistoa, jota voidaan päivittää seuraamaan tuotantotalouden teknologista kehitystä.

Se mahdollistaa laajan valikoiman tuottamisen, mukaan lukien mikrosirkuiitit, radionäyttö (RF) -sirkuiitit ja integroitujen sirkuiittien. Yksikkö voi saavuttaa parhaan puolustuksen syvyyden, jalan leveyden ja kerroksen kohdalleen sovitteen erilaisten täydentävien menetelmien lisäämisen kautta, kuten kemiallisen puolustuksen ja elektroplaatinnan.

Tuottemme vahvuus on sen kyvyssä tuottaa korkea sovitus, mikä takaa, että kaaviot sijoitetaan suuren tarkkuuden avulla materiaaliin. Voit helposti tulostaa monia monimutkaisia suunnitelmaa ilman muodollisia vääristymiä.

Se on käyttäjäystäväinen, kompakti ja tehokas, mikä tekee siitä sopivan monille valmistusyksiköille tai yrityksen kokoon. Lisäksi laitemme sisältää käsikirjan huoltotarpeista ja paikallisen koulutuksen tiimiemme teknisen tuen henkilökunnan kanssa.

Minder-Hightech’n Aligner\/Alignment Machine käyttää valokuvallistamistechnologiaa auttaaksesi saavuttamaan parhaat tulokset ympyröiden tulostuksessa. Kokeile uutta teknologiatasoa, joka tarjoaa sinulle korkeampaa tarkkuutta ja tarkkuutta kuin perinteiset tulostusmenetelmät. Minder-Hightech’n Aligner\/Alignment Machine on se, mitä valmistusyhtiösi tarvitsee pysyäkseen kilpailijoiden edessä. Ota meihin yhteyttä tänään ja nauti parhaan Aligner\/Alignment Machine -tekniikan edustamista markkinoilla.