Automaattinen CMP Post Clean, Kiina Automaattinen CMP Post Clean valmistajat, toimittajat, tehdas

Tuotteen Kuvaus

Puhdistusvälineet kiekkojen kemiallisen mekaanisen kiillotuksen jälkeen

CMP Post Chean

Koneen ominaisuudet

Vahva prosessikyky
Kaksikammioharjaus, laaja valikoima prosessisovelluksia
Laite vie pienen alueen, jonka mitat ovat 2200 * 800 * 2200 (mm)

Sovellus Fields

6-8 tuuman CMP harjauksen jälkeen
Puhdistus SIC- tai muiden alustojen hionnan jälkeen

tekniset parametrit

Puhdistus 4 tuuman ja 6 tuuman CMP:n jälkeen
Kaksikammiorakenne, itsenäinen kammiotoiminta Kastele sisään ja kuivaa tai kuivaa sisään ja kuivaa
Nopea linkouskuiva SRD

LoadPort-yksikkö, latausyksikkö

LoadPort on tämän laitteen latausyksikkö

Märkäkasetin syöttö
Siinä on spray-kosteutustoiminto

Harjayksikkö, kiekkojen puhdistusyksikkö

Kaksikammioyksikkö, joka pystyy tukemaan kahta erilaista puhdistusratkaisua
Harjausasentoa voidaan säätää reseptin mukaan Hihnakuljetin

SRD-yksikkö, kiekkojen kuivausyksikkö

Kiekkopuristintyyppinen linkouskuivaus, maksiminopeus 4000 rpm
Voi suorittaa AS-puhdistuksen kiekon pinnalle ja ruiskuttaa DIW:tä

UNLOAD-yksikkö, leikkuuyksikkö

Unload-yksikössä on itsenäinen FFU, joka varmistaa kiekkojen lähdön puhtauden

Kuljetin

Märkä alue on hihnakuljetin

Kuiva alue robotin teleportaatiolle

Harjayksikön kuvaus

Kuten vasemmassa kuvassa näkyy, tämän laitteen harjayksikkö koostuu kahdesta harjausyksiköstä, nimittäin BU1 BU2.

Kunkin yksikön harjan painetta voidaan säätää erikseen (ohjeen mukaan), ja jokainen harjan teräyksikkö voidaan pestä eri kemiallisilla puhdistusaineilla erikseen.

Koneen harja käyttää PVA-harjaa, joka on yleisesti käytetty tyyppi markkinoilla.
Onteloiden välinen voimansiirto on hihnakuljetin. Ontelon sisällä on DIW RINSE

SRD yksikkö

SRD-yksikkö on varustettu kiinnitysistuksella ja AS ARM:lla, jotka voivat edelleen puhdistaa ja linkouttaa kiekon pinnan fyysisesti.

määrittely

Laitteen koko:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Lastaus- ja purkumenetelmät	kuivaa sisään / märkää sisään / kuivaa
Harjausyksiköiden lukumäärä	2
SRD-yksiköiden lukumäärä	1
Kuljetusmenetelmä	Märkäalueen hihnakuljetus, kuivavyöhykkeen robottikuljetus
Laitteen koko 1:n harjauskammiolla on 1850 * 800 * 2200

Pakkaus ja toimitus

Yrityksen profiili

FAQ

1. Tietoja hinnasta:
Kaikki hinnat ovat kilpailukykyisiä ja neuvoteltavissa. Hinta vaihtelee laitteesi kokoonpanon ja mukauttamisen monimutkaisuuden mukaan.

2. Tietoja näytteestä:
Voimme tarjota sinulle näytetuotantopalveluita, mutta saatat periä joitain maksuja.

3. Tietoja maksusta:
Kun suunnitelma on vahvistettu, sinun on ensin maksettava meille talletus, ja tehdas alkaa valmistaa tavaroita. jälkeen
laite on valmis ja maksat loppusumman, lähetämme sen.

4. Tietoja toimituksesta:
Kun laitevalmistus on valmis, lähetämme sinulle hyväksymisvideon, ja voit myös tulla paikalle tarkastamaan laitteet.

5. Asennus ja virheenkorjaus:
Kun laitteet saapuvat tehtaallesi, voimme lähettää insinöörejä asentamaan ja korjaamaan laitteet. Teemme sinulle erillisen tarjouksen tästä palvelumaksusta.

6. Tietoja takuusta:

Laitteillamme on 12 kuukauden takuu. Takuuajan jälkeen, jos jotkin osat ovat vaurioituneet ja ne on vaihdettava, veloitamme vain omakustannushinnan.