Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Etusivu
Tietoa meistä
MH Equipment
Ratkaisu
Merkkivaltioiden käyttäjät
Video
Ota yhteyttä
Etusivu> MH Equipment> Hienottiminkone ja polttokone
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus
  • Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus

Automaattinen CMP-jälkeinen puhdistus

Tuotekuvaus

Puhdistuslaitteisto halvikevyksen kemiallisten mekaanisten poliisien jälkeen

CMP -jälkeen puhdistus

Koneen ominaisuudet

Vahva prosessikyky
Kaksikamerainen harjaus, laaja prosessipuolustus
Laitteisto vie vähän tilaa, mittojen suhteen 2200 * 800 * 2200 (mm)

Sovelluskentät

6-8 tuuman CMP -harjaus jälkeen
Puhdistus jälkeen siiliöiminen SIC:llä tai muilla pohjine

Tekniset parametrit

Puhdistus jälkeen 4-tuumaisella ja 6-tuumaisella CMP:llä
Kaksikameramuoto, itsenäinen kamerojen toiminta. Kosteassa sisään ja kuivassa ulos tai kuivassa sisään ja kuivassa ulos
Korkean nopeuden pyöräyttävä kuivatus (SRD)

LoadPort-yksikkö, latausyksikkö

LoadPort on tämän laitteen latausyksikkö
Kosteiden kassettien syöttö
Sisältää patukointitoiminnon

Sarvayksikkö, Wafer-puhdistusyksikkö

Kaksikamerayksikkö, kykenee tukeemaan kahta erilaista puhdistusliuosta
Kuivattimen asento voidaan säätää reseptin mukaan Belt Conveyor

SRD-yksikkö, Waferin kuivatusyksikkö

Waferin kiinnitystyypin pyöräyttävä kuivatus, maksiminopeus 4000 RPM
Voi suorittaa AS-kuivattimen pinnalla ja hajottaa DIW:ää

UNLOAD-yksikkö, leikkausyksikkö

UnLoad-yksikköllä on oma FFU varmistaakseen waferin siellävyyden tulostettaessa

Konveija

Kosteusalue on viipalekonveija
Kuiva alue robottien teleporttausta varten

Kuvaus kuivattimesta

Kuten vasemmassa kuvassa näkyy, tämän laitteen kuivattimiyksikkö koostuu kahdesta kuivattimistayksiköstä, nimittäin BU1 ja BU2.
Jokaisen yksikön harjan paineen voi säätää erillisesti (kuten reseptissä määritetään), ja jokainen harjasuojelu-yksikkö voidaan pesoa erillisesti eri kemiallisten puhdistusliuoksien kanssa.
Koneen harja on PVA-harja, joka on yleinen tyyppi markkinoilla.
Huoneiden välillä on vallotukku. Huoneen sisällä on DIW SIIVAS.

SRD-yksikkö

SRD-yksikössä on kiinnitys CHUCK ja AS ARM, jotka voivat puhdistaa ja pyörrittää levyä fyysisesti kuivaamaan.
MITTATIETOE
Laitteen koko:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Lataus- ja purkumenetelmät
kuiva lataus / kostea lataus / kuiva tulostus
Harjasuojeluyksiköiden määrä
2
SRD-yksiköiden määrä
1
Kuljetusmenetelmä
Kypsyttyvyysalueen kuljetus viipaleella, kuiva-alueen kuljetus robottia käyttäen
Työkalun koko harja-kaapin kanssa 1 on 1850 * 800 * 2200
Pakkaus & Toimitus
Yrityksen profiili
FAQ
1. Hintaan liittyen:
Kaikki hinnat ovat kilpailukykyisiä ja neuvottelukelpoisia. Hinta vaihtelee riippuen laitteesi konfiguraatiosta ja mukauttamisen monimutkaisuudesta.

2. Näyteistä:
Voimme tarjota näytevalmistuspalveluita, mutta sinun täytyy maksaa joitakin maksuja.

3. Tietoja Maksusta:
Kun suunnitelma on hyväksytty, sinun täytyy ensin maksaa varausmaksu, ja tehdas aloittaa varastojen valmistelun. Kun
laitteisto on valmis ja olet maksanut jäljellä olevan summan, se lähetetään.

4. Toimituksesta:
Kun laitteen valmistus on valmis, lähettämme sinulle hyväksymisvideon, ja voit myös tulla paikalle tarkistamaan laitetta.

5. Asennus ja Viritys:
Kun laite on saapunut tehtaatasi, voimme lähettää insinöörejä asentamaan ja sopeuttamaan laitetta. Tarjoamme erillisen tarjouksen tästä palvelumaksusta.

6. Tietoja Takuuosta:

Laittemme sisältävät 12 kuukautta kestävän takuua. Takuuajan päätyttyä, jos mikään osa vahingoittuu ja sen on korvattava, laskutamme vain kustannushinnan.

Kysely

Kysely Email Whatsapp Top
×

Ota yhteyttä