Automaattinen yksilevykiekkojen kemiallinen mekaaninen kiillotuskone CMP, Kiina Automaattinen yksilevykiekko kemiallinen mekaaninen kiillotuskone CMP Valmistajat, toimittajat, tehdas

Tuotteen Kuvaus

ATOM Single Platen CMP

Koneen ominaisuudet

Laite on joustava ja tukee useita päitä.
Laitteen prosessikapasiteetti on lähellä samankokoisten tuotteiden valtavirran mallitasoa.
Hyvä johdonmukaisuus laitteiden välisessä prosessissa.

Sovellus Fields

4-8 tuuman STI, ILD/IMD, TSV, TGV kiillotus ja pintakiillotus yhdisteille, kuten SiC, LT, LN, GaAs jne.

tekniset parametrit

4 tuuman, 6 tuuman ja 8 tuuman päät, monialueohjaus
Tyyppi Φ20 tuuman 508 mm levy
Pään paineen säätötarkkuus <0.05 PSI
Pään ja levyn pyörimisnopeuden säätötarkkuus <2 rpm

tuote automaattinen yhden levyn kiekko kemiallinen mekaaninen kiillotuskone cmp-53

1. LoadPort-yksikkö

Porttia voidaan kääntää upottaaksesi kasetin Qtankiin, jolloin vältetään lietekiteiden muodostuminen
Waferin kiillotettu pinta. Varustettu Cassette Mapping -toiminnolla.

tuote automaattinen yhden levyn kiekko kemiallinen mekaaninen kiillotuskone cmp-54

2. Robottimateriaalin hakuyksikkö

Varustettu 4-akselisella robotilla, se voi siirtää kiekot automaattisesti kasetista kiillotusyksikköön.

tuote automaattinen yhden levyn kiekko kemiallinen mekaaninen kiillotuskone cmp-55

3. Kiillotusyksikkö

Tämä laite on varustettu Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 ja EPD-päätepiste
havaitseminen. Se voi saavuttaa automaattisen kiekkojen lataamisen ja purkamisen, monivyöhykkeen pään ohjauksen, lietteen
laskeutumispisteen muuttaminen reseptiasetuksien, päätepisteen tunnistuksen ja muiden toimintojen avulla.

tuote automaattinen yhden levyn kiekko kemiallinen mekaaninen kiillotuskone cmp-56

CMP kiillotuspää

Tähän laitteeseen konfiguroidut kiillotuspäät ovat kaikki itsenäisesti yrityksemme kehittämiä, suunnittelemia ja valmistamia.
Niistä 4 tuuman 3-onteloinen Head on ainutlaatuinen yrityksemme luoma tuote, joka täyttää aukon, jossa ei ole monionteloisia 4 tuuman päätä Kiinassa. Yrityksemme voi nopeasti muokata tai mukauttaa Headiä asiakkaan tuotteen ominaisuuksien mukaan. TGV-ohutkalvotuotteita (200um) kehitettäessä pään sisäistä rakennetta muutettiin vastaamaan ohutkalvokiillotuksen vaatimuksia. LN-pinnan OX-kiillotusteknologian kehitysprosessin aikana yrityksemme päivitti 6 tuuman pään perusteellisesti ja täytti onnistuneesti asiakkaan tuotevaatimukset.

tuote automaattinen yhden levyn kiekko kemiallinen mekaaninen kiillotuskone cmp-57

Sovellukset

Perinteinen IC-tasoituskiillotusprosessi；

TGV/TSV-prosessi；

Smart Cut and Pre Bonding CMP；

SIC-substraatin kiillotus/galliumarsenidikiillotus.

tuote automaattinen yhden levyn kiekko kemiallinen mekaaninen kiillotuskone cmp-58

määrittely

portti	Määrä * 1, Q-säiliöllä
Robotti	Määrä * 1, kiekkojen siirtoa varten
HCLU	Määrä * 1, kiekkojen automaattiseen lataamiseen ja purkamiseen
Kiillotuspää	Määrä * 13 kaviteetin ohjaus, ohjaustarkkuus 0.1 PSI, voi tukea 400-1200 UM kiekkotoimintoja.
Kiillotuspään nopeus	5-150RPM
Kiillotuslevy	Määrä * 1 kiillotuslevy, koko 508 mm, kiillotuslevyn nopeus 10-150 rpm.
Trimmausvarsi	Määrä * 1 kiillotustyyny. Kiillotustyyny voidaan kiillottaa online-tilassa (samanaikaisesti) tai offline-tilassa (kiillotuksen jälkeen). Trimmaus varsi on varustettu trimmausakselilla, joka voi pyöriä ja liikkua ylös ja alas, ja nopeutta ja vetovoimaa voidaan ohjata. The trimmaustyökalu on asennettu trimmausakseliin ja se voidaan tehdä nopeasti poistettu. Erityyppisten kiillotustyynyjen mukaan konfiguroidaan erilaisia sidontatyökaluja, mukaan lukien sidonta harjat, timanttisormukset ja timanttilevyt.
UPA-kiillotuspään ilmanpaineen ohjausyksikkö	Määrä * 13Vyöhyke säädettävissä paremman pinnan tasoitusvaikutuksen saavuttamiseksi
Kiillotusnesteen syöttöpumppu	Määrä * 2. Peristalttisia pumppuja käytetään nesteen syöttöön, ja 2 peristalttista pumppua on määritetty toimittamaan erilaisia kiillotuksia nesteitä kiillotuslevylle. Jokaista pumppua voidaan käyttää missä tahansa prosessin vaiheessa.
Slurry Arm	Määrä * 1 voi ohjata lietteen laskeutumispistettä ja puhdistaa kiillotustyynyn.
Toiminnanohjausjärjestelmä voi saavuttaa käyttäjätason ohjauksen, kuten käyttäjätilan, huoltotilan ja teknisen tilan sekä var eri tiloja ohjataan salasanoilla. Järjestelmäohjelmisto voi muokata kunkin prosessivaiheen prosessiparametreja ja litistää ja kiillota ohut kalvo lastun pinnalle ohjelman mukaan. Se voi seurata laitteiden toimintatilaa, seurata prosessiparametrit reaaliajassa, ja ohjelmisto voi automaattisesti tallentaa erilaisia prosessitietoja. Varustettu hätäpysäytyksellä painike, jota käytetään välittömästi pysäyttämään laitteen toiminta ja katkaisemaan ohjausvirran.

Pakkaus ja toimitus

tuote automaattinen yhden levyn kiekko kemiallinen mekaaninen kiillotuskone cmp-59

tuote automaattinen yhden levyn kiekko kemiallinen mekaaninen kiillotuskone cmp-60

Yrityksen profiili

FAQ

1. Tietoja hinnasta:
Kaikki hinnat ovat kilpailukykyisiä ja neuvoteltavissa. Hinta vaihtelee laitteesi kokoonpanon ja mukauttamisen monimutkaisuuden mukaan.

2. Tietoja näytteestä:
Voimme tarjota sinulle näytetuotantopalveluita, mutta saatat periä joitain maksuja.

3. Tietoja maksusta:
Kun suunnitelma on vahvistettu, sinun on ensin maksettava meille talletus, ja tehdas alkaa valmistaa tavaroita. jälkeen
laite on valmis ja maksat loppusumman, lähetämme sen.

4. Tietoja toimituksesta:
Kun laitevalmistus on valmis, lähetämme sinulle hyväksymisvideon, ja voit myös tulla paikalle tarkastamaan laitteet.

5. Asennus ja virheenkorjaus:
Kun laitteet saapuvat tehtaallesi, voimme lähettää insinöörejä asentamaan ja korjaamaan laitteet. Teemme sinulle erillisen tarjouksen tästä palvelumaksusta.

6. Tietoja takuusta:
Laitteillamme on 12 kuukauden takuu. Takuuajan jälkeen, jos jotkin osat ovat vaurioituneet ja ne on vaihdettava, veloitamme vain omakustannushinnan.