Automaattinen yhden alustan kiekon kemiallinen mekaaninen polttaja tasaus CMP , China Automaattinen yhden alustan kiekon kemiallinen mekaaninen polttaja tasaus CMP Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaus

ATOM Single Platen CMP

Koneen ominaisuudet

Laite on joustava ja se voi tukea useita pääteitä.
Laitevarusteen prosessikyky on lähellä samankokoisten tuotteiden päämallitasoa.
Hyvä laitteiden välisen prosessin yhtenäisyys.

Sovelluskentät

4-8 tuumaa STI, ILD/IMD, TSV, TGV höyryttäminen ja yhdisteiden pinta höyryttäminen, kuten SiC, LT, LN, GaAs jne.

Tekniset parametrit

4-tuumaiset, 6-tuumaiset, 8-tuumaiset päät, monialueinen hallinta
Tyyppi Φ20 tuuma 508MM Platen
Pään painehallintatarkkuus <0.05PSI
Pään ja Platen pyörityssuuntauskontrollin tarkkuus <2RPM

1. LoadPort-yksikkö

Portti voidaan kääntää Qtank:iin uppoamaan Cassette, välttämään Slurry-kristallien muodostumisen
höyrytetyn pinnan Waferissä. Varustettu Cassette Mapping -funktiolla.

2. Robottiaineiden haku-yksikkö

Varustettu 4-akselisella robottilla, se voi siirtää wafeereita automaattisesti Cassettista höyrytysyksikköön.

3. Polttokoneen yksikkö

Tämä yksikkö on varustettu Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, ja EPD loppupiste
havaitsemisella. Se voi saavuttaa automaattisen kiekon lataamisen ja purkamisen, monialueisen pään ohjauksen, Slurry
kiertopisteen muuttamisen Resepti-asetusten mukaan, loppupistehavaintoja ja muita toimintoja.

CMP-polttokoneen pää

Tämän laitteen käyttöön otetut polttokoneen pääset ovat kaikki itsenäisesti kehitettyjä, suunniteltuja ja tuotettuja yrityksessämme.
Niiden joukossa 4-tuumainen 3-huoneinen Pää on ainutlaatuinen tuote, jonka meidän yrityksemme on luonut, täyttämällä tyhjiön monihuoneisesta 4-tuumaisesta Päästä Kiinassa. Meidän yrityksemme voi nopeasti muokata tai mukauttaa Päätä asiakkaan tuotteen ominaisuuksiin perustuen. TGV-ohjuisten (200um) tuotteiden kehittämisprosessissa Pään sisäinen rakenne muutettiin ohjuisten polttamisen vaatimuksien täyttämiseksi. LN-pinnan OX-polttamisteknologian kehittämisen aikana yrityksemme syvästi päivitti 6-tuumaisen Päätä ja menestyi asiakkaan tuotteen vaatimusten täyttämisessä.

SOVELLUKSET

Perinteinen IC-tasauspolttoprosessi;

TGV/TSV-prosessi;

Smart Cut ja Pre bonding CMP;

SIC-alustan poltto/gallium arsenidipoltto.

MITTATIETOE

Satama	Määrä * 1, Q-tankin kanssa
Robotti	Määrä * 1, waferin siirtämiseen
HCLU	Määrä * 1, waferien automaattiseen lataukseen ja purkoon
Polttopääte	Määrä * 13 kaaviokontrolli, kontrollitarkkuus 0.1PSI, tukee 400-1200 UM -wafeerien toimintaa.
Polttoketjun nopeus	5-150RPM
Polttosakki	Määrä * 1 Polttosakki, koko 508mm, polttopaden nopeus 10-150rpm.
Korjauskyynel	Määrä * 1 polttopade. Polttopade voidaan käyttää online (yhtä aikaa) tai offline (polttamisen jälkeen). Korjauskyynel on varustettu korjaukselle tarkoitetulla pyörällä, joka voi kiertää ja liikkua ylös ja alas, ja nopeutta sekä alaspaineesta voidaan hallita. korjaustyökalu on asennettu korjauspyörälle ja sitä voidaan poistaa nopeasti poistaa. Erilaisille polttopadoille on määritetty erilaisia korjaustyökaluja, mukaan lukien korjaussuovat, timanttirengas ja timanttitiekirjoittimet. suovat, timanttirengas ja timanttipleetti.
UPA-hienosäätöpään ilmanpainekontrollohjus	Määrä * 13Alueellinen säätö parantaa pintatason tasausvaikutusta
Hienosäätölaitteen tuontipumpu	Määrä * 2. Peristaltiset pompit käytetään vedestuotteen toimittamiseen, ja 2 peristalittaiset pompit ovat asetettuina toimittamaan erilaisia hienosäätöaineita hienosäätölevyyn. Jokainen pumpu voidaan käyttää prosessin minkä tahansa vaiheessa.
Sulatuskauri	Määrä * 1 voi hallita sulatusaineen osituksen pistettä ja pystyy puhdistamaan hienosäätöpadin.
Toimintokontrollijärjestelmä saavuttaa käyttäjätason kontrollin, kuten operaattorin tilan, huoltotilan ja teknisen tilan, ja eri tilat ohjataan salasanilla. Järjestelmän ohjelmisto voi muokata jokaisen prosessivaiheen prosessiparametreja ja tasaa sekä hienosäätää kuoren pinnalla olevaa ohutkerrosta ohjelman mukaisesti. Se voi seurata laitteen toimintatilaa ja valvoa toimintaa. prosessiparametrit real-aikaisessa, ja ohjelmisto voi automaattisesti tallentaa erilaisia prosessidatkoja. Varustettu hätäpysäyttöpainikkeella, jota käytetään laitteiston toiminnan välitöntä pysäyttämistä varten ja ohjausvoiman katkaisemiseksi.

Pakkaus & Toimitus

Yrityksen profiili

FAQ

1. Hintaan liittyen:
Kaikki hinnat ovat kilpailukykyisiä ja neuvottelukelpoisia. Hinta vaihtelee riippuen laitteesi konfiguraatiosta ja mukauttamisen monimutkaisuudesta.

2. Näyteistä:
Voimme tarjota näytevalmistuspalveluita, mutta sinun täytyy maksaa joitakin maksuja.

3. Tietoja Maksusta:
Kun suunnitelma on hyväksytty, sinun täytyy ensin maksaa varausmaksu, ja tehdas aloittaa varastojen valmistelun. Kun
laitteisto on valmis ja olet maksanut jäljellä olevan summan, se lähetetään.

4. Toimituksesta:
Kun laitteen valmistus on valmis, lähettämme sinulle hyväksymisvideon, ja voit myös tulla paikalle tarkistamaan laitetta.

5. Asennus ja Viritys:
Kun laite on saapunut tehtaatasi, voimme lähettää insinöörejä asentamaan ja sopeuttamaan laitetta. Tarjoamme erillisen tarjouksen tästä palvelumaksusta.

6. Tietoja Takuuosta:
Laittemme sisältävät 12 kuukautta kestävän takuua. Takuuajan päätyttyä, jos mikään osa vahingoittuu ja sen on korvattava, laskutamme vain kustannushinnan.

Etusivu

Tietoa meistä

MH Equipment

Ratkaisu

Merkkivaltioiden käyttäjät

Video

Ota yhteyttä

Automaattinen yhden alustan kiekon kemiallinen mekaaninen polttaja tasaus CMP

Koneen ominaisuudet

Sovelluskentät

Tekniset parametrit

1. LoadPort-yksikkö

2. Robottiaineiden haku-yksikkö

3. Polttokoneen yksikkö

Lisää tuotteita

MD-FS Sarja Kondensaattorin kierroskone

MD-FDS Sarja Automatisoitu kondensaattorin kierroskone

MD-EFS sarja Kapasitorin Kierroskone

MD-EDFS Sarja elokuvakapasitorin kierroskone

Kysely

Articles

Products

Get In Touch