PLASMA lähde
|
RF+BIAS
|
||
Teho
|
1000W
|
1000W
|
|
600 W:n
|
600 W:n
|
||
Soveltamisala
|
4-8 tuumaa
|
||
Yksittäinen käsittelylevyjen määrä
|
yksi
|
||
Ulkomitat
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
Järjestelmän hallinta
|
Teollinen ohjausjärjestelmä
|
||
Automaatiotaso
|
Käyttöohje
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved