Malli |
MDTS-WT2200 |
Harvennusakselien lukumäärä |
2 |
Työpenkkien lukumäärä |
3, Indeksimenetelmä |
Hiomalaikan kara |
Ilmakarojen lukumäärä: 2 Karamoottori: 7.5 kW:n vaihtuvataajuinen moottori Nopeus: 0-6000 rpm, portaattomasti säädettävä Hiomalaikan tiedot: Φ203mm Hiomalaikan tyyppi: timanttihiomalaikka |
Hiomalaikan syöttöjärjestelmä |
Määrä: 2-sarjaa Syöttöjärjestelmän ohjausmenetelmä: LM-ohjainkisko ja kuularuuvi yhdistelmä Käyttömoottori: servomoottori Pienin syöttönopeus: 0.1um/s Suurin syöttönopeus: 50 mm/s |
Työpöytä |
Määrä: 3, indeksitila Karamoottori: Servomoottori Nopeus: 0-300 rpm, portaattomasti säädettävä Adsorptiomenetelmä: Tyhjiöadsorptio |
Työpöytä levysoitin |
Ajotapa: servomoottori Kääntöalue: 0-240° Paikannusmuoto: anturiavusteinen paikannus |
Automaattinen paksuus mittausjärjestelmä |
Mittausmenetelmä: IPG-yhteys online-reaaliaikainen mittaus Mittauspäiden lukumäärä: 2 Mittausanturi: 0.1um tasoanturi |
Automaattinen lataus/ purkujärjestelmä |
Laatikon tyyppi: 6-8 tuuman kasetti, 25 kerrosta Automaattinen lastaus/purkumenetelmä: kiekkojen manipulaattoria käytetään varmistamaan ohuiden kiekkojen kuljetus vahingoittumatta Kiekon paksuus: 150um-1000um |
Työpöydän puhdistustoiminto |
Puhdistusmenetelmä: Öljykivikiillotus & DI vesi+ilma kaksinestehuuhtelu |
Automaattinen puhdistus/ kuivausjärjestelmä |
Puhdistus: DIW-suuttimen puhdistus Kuivausmenetelmä: puhallus + kuivaus Nopeus: max 1000 rpm portaattomasti säädettävissä |
Staattinen poistojärjestelmä |
Ionbar orion tuuletin |
Karan jäähdytin |
Lämpötila: 18 - 22 ° C Virtausnopeus: 4-8 l/min |
Ohjausjärjestelmä |
Ohjausjärjestelmä: PC-ohjausjärjestelmä, kosketusnäyttö 3-värihälytysvalo Kiinan/englannin ihmisen ja koneen käyttöliittymä |
Maksimi kiekkokoko |
Maksimi yhteensopiva 8 tuuman kanssa |
Nopeusalue |
0 ~ 6000 RPM |
Z-akselin liike |
160mm |
Z-akselin syöttönopeus |
0.1-100 um/s |
Z-akselin nopea sisäänvetonopeus |
50mm / s |
Z-akselin resoluutio |
0.1um |
Online paksuuden mittausalue |
0 ~ 1800um |
Online paksuuden mittausresoluutio |
0.1um |
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään