Malli |
MDTS-WT2200 |
Määrä ohutusakseleita |
2 |
Työpenkkien lukumäärä |
3, Indeksointimenetelmä |
Jauhatuspyörän pyörivaakuna |
Ilmapyörrien määrä: 2 Pyörremoottori: 7,5kW muuttajamoottori Nopeus: 0~6000vpm, vaihtamaton säätö Hienosäädön pyörän spesifikaatio: Φ203mm Hienosäädön pyörän tyyppi: timanttihienosäädön pyörä |
Hienosäädön pyörän tuontijärjestelmä |
Määrä: 2 kappaletta Syöttöjärjestelmän hallintamenetelmä: LM-ohjausrata ja palloskruppi yhdistelmä Ajaminen moottori: servomoottori Pienin syöttönopeus: 0.1um/sec Suurin syöttönopeus: 50mm/sec |
Työpöytä |
Määrä: 3, indeksointitila Pyörremoottori: Servomoottori Nopeus: 0~300v/min, vakiomattomasti säätökelpoinen Hymyke menetelmä: Vakuumihymyke |
Työpöytä pyörretyöpöytä |
Ajaminen tila: servomoottori Kiertosäiliö: 0~240° Sijaintitunnus: aistintekijäinen sijainti |
Automaattinen paksuus Mittausjärjestelmä |
Mittausmenetelmä: IPG yhteystapa online real-aikainen mittaus Mittauspääteiden määrä: 2 Mittaussensori: 0,1 µm taso sensori |
Automaattinen lataus\/ latausjärjestelmä |
Laukku tyyppi: 6-8 tuumaa Cassette, 25 kerrosta Automaattinen lataus\/latausmenetelmä: wafer-manipulaattori varmistaa, että ohuet waferit kuljetetaan vahingoton Waferin paksuus: 150um-1000um |
Työpöydän puhdistusfunktio |
Puhdistusmenetelmä: Öljikiveen höyryttäminen & DI-vesi + ilma kahden aineen hirttely |
Automaattinen puhdistus/ Kuivustusjärjestelmä |
Puhdistus: DIV-suuttimen puhdistus Kuivatusmenetelmä: Puuttaminen + kuivatus Nopeus: maksimi 1000rpm värinöidettävästi säätämiskelpoinen |
Staattisen sähköisyyden poistojärjestelmä |
Ioni-palkki orion tuuletin |
Spindelin jäähdytin |
Lämpötila: 18-22°C Virtausnopeus: 4~8L/min |
Ohjausjärjestelmä |
Hallintajärjestelmä: PC-hallintajärjestelmä, kosketusnäyttö, 3-värinen varoitusvalo Kiina/Englanti ihmekone-liittymä |
Suurin keskipohjan koko |
Suurin yhteensopivuus 8 tuumaa kanssa |
Nopeusalue |
0~6000 RPM |
Z-akselin kulku |
160mm |
Z-akselin syöttönopeus |
0.1~100um/sec |
Z-akselin nopea takaisinvetonopeus |
50mm/sec |
Z-akselin resoluutio |
0.1um |
Verkon kautta tehtävä paksuusmittojen alue |
0~1800um |
Online-todistusmittausratkaisu |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved