ICP-kuivavaloplasman poistokone puolijohdekiekkoja varten / Plasmavaloresistin poistokone (PR) , Kiina ICP-kuivavaloplasmanpoistokone puolijohdekiekkoja varten Valmistajat, toimittajat, tehdas

Tuotteen Kuvaus

ICP PLASMA Poista valonkestävyyslaite

Tuhkaus
Polymeerin poisto
Kovan maskikerroksen kuivapoisto
Fotoresistenssin poisto ioni-istutuksen jälkeen
Valonkestävyyden poisto BAW/SAW-prosessissa
Heijastamattoman graafisen kalvokerroksen kuivapesu
Pintajäämien poisto
Pinnan puhdistus etsauksen jälkeen
DESCUM

ICP kuivaplasmafotoresistin poistokone soveltuu DESCUM:iin (esikäsittely, fotoresistijäämien poisto) Polymeerin poisto (PI, BCB, PBO) Ioni-istutuksen, fotoresistin poiston jne. jälkeen ontelo sopii 8 tuuman näytteille (4 -6 tuuman yhteensopiva)

ICP kuiva plasman poisto fotoresisti / plasma fotoresisti poisto (PR) kone puolijohdekiekon yksityiskohtia

ICP kuiva plasman poisto fotoresisti / plasma fotoresisti poisto (PR) kone puolijohdekiekkojen toimittaja

ICP kuiva plasman poisto fotoresist / plasma fotoresisti poisto (PR) kone puolijohdekiekkojen valmistus

ICP kuiva plasman poisto fotoresisti / plasma fotoresisti poisto (PR) kone puolijohdekiekkojen tehtaalla

määrittely

PLASMA			RF	RF
teho	ICP	1000w	1000w
teho		BIAS	600w (lisävaruste)	600w (lisävaruste)
Sovellettava soveltamisala			4 ~ 8 tuuma	4 ~ 8 tuuma
Yhden käsittelyn viipaleiden määrä			1	2
Ulkonäkö mitat			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Järjestelmän ohjaus			Teollinen ohjausjärjestelmä	Teollinen ohjausjärjestelmä
Automaation taso			automaattinen	automaattinen