MCXJ-MLS8 maskiton litografiajärjestelmä, Kiina MCXJ-MLS8 maskiton litografiajärjestelmä Valmistajat, toimittajat, tehdas

Tuotteen Kuvaus

Näyte:

MCXJ-MLS8 Maskiton litografia Järjestelmän valmistus

Laitteen rakennekaavio

MCXJ-MLS8 Maskiton litografiajärjestelmän toimittaja

määrittely

Altistuksen isäntärakennekaavio

rakenne	valaista
Työtason paljastaminen	Altistusalue: työtaso, alustan sijoitusalue
Optinen järjestelmä	Laserpäästömuovausalue
Ympäristövalvontajärjestelmä	Säädä laitteen sisälämpötilaa ja positiivista painetta
Alustajärjestelmä	Ohjaa valotustaulukon liikettä valotuspolun suorittamiseksi loppuun
Ohjausjärjestelmä	Koko laitteiston ohjausjärjestelmä

Huomautus: Koska koneen päivitys voi muuttaa todellista ulkonäköä, tuotteen erityiskohdetta.

Ei.	ympäristö	Edellyttää
1	Valonlähdeympäristö	Keltainen valo
2	Lämpötila	22 ℃ ± 2 ℃
3	Kosteus	50% ± 10%
4	Siisteys	1000
5	CDA	0.6±0.1 Mpa, 200 LPM, kuiva, puhdas ilma
6	Virtalähde	220 ~ 240 V, 50/60 Hz, 2.5 kW ；Maadoitusjohdon tulee olla maadoitettu，
7	jäähdytysveden	Lämpötila: 10℃ ~ 20℃ Paine: 0.3 MPa ~ 0.5 MPa Virtausnopeus: 20L/min Paine-ero: 0.3 MPa以上 Ota kaliiperi: Rc3/8
8	tapahtumapaikka	taso: ±3mm/3000mm tärinä: VC-B-laakeri: 750kg/㎡
10	Internet	Yksi verkkoportti
11	koneen koko	1300 * 1100 * 2100mm
12	Laitteen paino	1500kg

Ei.	projekti	Spec.	Huomautus
1	päätöslauselma	0.6um/tai muu vaatimus	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10 %@1um
3	Alustan paksuus	0.2mm - 4mm
4	Päivämääräruudukon tarkkuus	60nm
5	Päällys	± 500nm	130mmx130mm
6	Ompeleen tarkkuus	± 200nm	AZ703
7	MAX valotuskoko	190X190mm
8	suoritusteho	≥300mm2/min	≤50mj/cm2；
9	valonlähde	LD 375 nm
10	valovoima	6W
11	Energian tasaisuus	≥ 95%
12	kevyt elämä	10000hr

Pakkaus ja toimitus

Yrityksen profiili

Meillä on 16 vuoden kokemus laitemyynnistä. Voimme tarjota sinulle One-stop Semiconductor Front-end- ja Back end Package Line -laitteiden ammattimaisen ratkaisun Kiinasta.