MCXJ-MLS8 Maskittomat litografiarajuste , China MCXJ-MLS8 Maskittomat litografiarajuste Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaus

Näyte:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Laitestruktuuri Diagrammi

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

MITTATIETOE

Esittelykoneen rakennekaavio

rakenne	havainnollistaa
Esittelypöytä	Esittelyalue: pöytä, substratti sijoitusalue
Optinen järjestelmä	Laserin säteilymuotoalue
Ympäristön hallintajärjestelmä	Hallitsee laitteen sisäistä lämpötilaa ja positiivista painetta
Alustajärjestelmä	Ohjaa altistustaulun liikettä suorittaakseen altistuspolun toiminnan
Ohjausjärjestelmä	Koko laitteen ohjausjärjestelmä

Huomautus: Koska koneen päivitys voi muuttaa todellista ulkonäköä, tarkkuuksien paino on todellisessa tuotteessa.

- Ei, ei, ei. - Mitä?	Ympäristö	Vaatia
1	Valonlähdeympäristö	Keltainen valo
2	Lämpötila	22℃±2℃
3	Kosteus	50%±10%
4	Siivetys	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, kuiva ja puhtaata iltaa
6	Virranlähtö	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Maaperän johto on maadettava.
7	Jäähdytysvesi	Lämpötila: 10℃~ 20℃ Paine: 0.3MPa ~ 0.5MPa Virtausnopeus: 20L/min Paineen ero: 0.3MPa yläpuolella Yhdisteen halkaisija: Rc3/8
8	Tapahtumapaikka	taso: ±3mm/3000mm värinä: VC-B Kantaja: 750kg/㎡
10	Internetin käyttö	Yksi verkkoliittymä
11	Koneen koko	130011002100mm
12	Laitepaino	1500 kg

- Ei, ei, ei. - Mitä?	Projekti	- Tarkemmin.	Huomautus
1	Resoluutio	0.6um/tai muu vaatimus	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Substraatti paksuus	0.2mm～4mm
4	Päivämääräruudun tarkkuus	60nm
5	Overlay	±500nm	130mmx130mm
6	Yhdistelmätarkkuus	±200nm	AZ703
7	Suurin kuvauskohta	190X190mm
8	Käsittelynopeus	≥300mm²/min	≤50mj/cm²;
9	valonlähde	LD 375nm
10	valoteho	6W
11	Energiasaannollisuus	≥ 95%
12	valon elinikä	10000h

Pakkaus & Toimitus

Yrityksen profiili

Meillä on 16 vuotta kokemusta laitteiden myynnistä. Voimme tarjota sinulle yhdenmukaisen ratkaisun semioperaattorien edustajan ja jälkeenpäin pakkauslinjan laitteista Kiinasta.