Vakuumiplasma isäntäyksikkö (100) |
||||
Laitekoko |
P 1000×L 900×K 1750mm |
|||
paino |
500kg |
|||
Vaadittu virtalähde |
AC380V, 50/60Hz, 5 johtoa, 25A (yhteensä avoimesti C:stä alkaen) |
|||
Plasmageneraattorin määrittely |
||||
teho |
radiorajuota |
välirajuota |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
toimitusruota |
13,56 MHz |
40 K Hz |
||
Tyhjiöjärjestelmä |
||||
tyhjiöpumppu |
Yläkulma kierrospumpu (ölipumpu): 60 m3/h |
|||
tyhjännessähköinen putki |
Koko rautalinja sekä korkean voiman tyhjännessä varsu |
|||
materiaalin laatu |
alufer |
|||
paksuus |
25 mm |
|||
tiivisyyden |
Sotilaskuntoisen linkityksen sulku |
|||
Sikojen sisämittakaaviot |
450*450*500mm (leveys* korkeus * syvyys) |
|||
Sähköisen alusteen tehokas koko |
322*351mm (leveys *syvyys) |
|||
Saadava tila välilyönti |
20mm |
|||
Sähköpaitojärjestely |
Vaakasuuntainen sähködeittilauta |
|||
laudat |
Standardikokoonpano, materiaali valittavissa (alumiini, teräsverkkohilja) |
|||
työtila |
8 kerrosta |
|||
prosessikaasu |
||||
Virtausalue |
0~300SCCM |
|||
Prosessikaasun kaasuputki |
Standardilla kaksi tietä, voidaan mukauttaa. Prosessekaasuputki on tehty ferrofllonista |
|||
navar |
||||
SC |
PLC:n |
|||
interaktiivinen tila |
7-tuuma kosketusnäyttö |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved