Tyhjiöplasma isäntäyksikkö (100) |
||||
Laitteen koko |
P 1000×L 900×K 1750mm |
|||
paino |
500Kg |
|||
Kysy virtalähdettä |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 linjaa, 25A (yhteensä avoin tyyppi yli C) |
|||
Plasmageneraattorin tekniset tiedot |
||||
teho |
radiotaajuus |
välitaajuus |
||
0 ~ 600W |
0-1000W |
|||
syöttötaajuutta |
13.56MHz |
40 K Hz |
||
Tyhjiöjärjestelmä |
||||
Tyhjiöpumppu |
Ylilennon pyörivä pumppu (öljypumppu): 60 m3/h |
|||
tyhjiöputki |
Kaikki ruostumattomasta teräksestä valmistetut linjat sekä lujat tyhjiöpalkeet |
|||
materiaalin laatu |
alufer |
|||
paksuus |
25mm |
|||
tiiviys |
Sotilasluokan hitsaustiiviste |
|||
Ontelon sisämitat |
450*450*500mm (leveys* korkea * syvyys) |
|||
Sähkölevyn tehokas koko |
322 * 351 mm (leveä * syvyys) |
|||
Käytettävissä oleva tilaväli |
20mm |
|||
Sähkölevyjärjestely |
Vaakasuora elektrodilevy |
|||
tarjottimet |
Vakiosarja, materiaali valinnainen (alumiini, teräslankaverkko) |
|||
työtila |
8 kerros |
|||
prosessikaasu |
||||
Virtausalue |
0-300SCCM |
|||
Prosessikaasun kaasureitti |
Vakio kahdella tavalla, voidaan mukauttaa. Prosessikaasuputki on valmistettu ferrofllonista |
|||
navigoida |
||||
SC |
PLC |
|||
vuorovaikutteinen tila |
7 tuuman kosketusnäyttö |
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään