Tyhjiöplasma-isäntäyksikkö(150) |
||
Laitteen koko |
P 1100×L 940×K 1755mm |
|
paino |
600Kg |
|
Kysy virtalähdettä |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 linjaa, 25A (yhteensä avoin tyyppi yli C) |
|
Plasmageneraattorin tekniset tiedot |
||
teho |
radiotaajuus |
välitaajuus |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
syöttötaajuutta |
13.56MHz |
40 K Hz |
Tyhjiöjärjestelmä |
||
Tyhjiöpumppu |
Leap monopolipumppu VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|
tyhjiöputki |
Kaikki ruostumattomasta teräksestä valmistetut linjat sekä lujat tyhjiöpalkeet |
|
materiaalin laatu |
alufer |
|
paksuus |
25mm |
|
tiiviys |
Sotilasluokan hitsaustiiviste |
|
Ontelon sisämitat |
500*500*600mm (leveys* korkea * syvyys) |
|
Sähkölevyn tehokas koko |
372 (L) X 451 (S) mm |
|
Käytettävissä oleva tilaväli |
24mm |
|
Sähkölevyjärjestely |
Vaakasuora elektrodilevy |
|
tarjottimet |
Vakiosarja, materiaali valinnainen (alumiini, teräslankaverkko) |
|
työtila |
8 kerros |
|
Prosessikaasu |
||
Virtausalue |
0-300SCCM |
|
Prosessikaasun kaasureitti |
Vakio kahdella tavalla, voidaan mukauttaa. Prosessikaasuputki on valmistettu ferrofllonista |
|
Ohjausjärjestelmä |
||
SC |
PC ohjaus |
|
vuorovaikutteinen tila |
Windows-käyttöliittymä |
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään