Vakuumiplasma-isäntäyksikkö (150) |
||
Laitekoko |
P 1100×L 940×K 1755mm |
|
Paino |
600 kg |
|
Vaadittu virtalähde |
AC380V, 50/60Hz, 5 johtoa, 25A (yhteensä avoimesti C:stä alkaen) |
|
Plasmageneraattorin määrittely |
||
Teho |
radiorajuota |
välirajuota |
0~1000W |
0-2000W |
|
toimitusruota |
13,56 MHz |
40 K Hz |
Tyhjiöjärjestelmä |
||
tyhjiöpumppu |
Leap monopole pommi VSV 65 + Bowse Lots pommi BSJ 70 |
|
tyhjännessähköinen putki |
Koko rautalinja sekä korkean voiman tyhjännessä varsu |
|
Materiaalin laatu |
alufer |
|
Paksuus |
25 mm |
|
tiivisyyden |
Sotilaskuntoisen linkityksen sulku |
|
Sikojen sisämittakaaviot |
500*500*600mm (leveys* korkeus * syvyys) |
|
Sähköisen alusteen tehokas koko |
372(W) X 451(D)mm |
|
Saadava tila välilyönti |
24mm |
|
Sähköpaitojärjestely |
Vaakasuuntainen sähködeittilauta |
|
Laudat |
Standardikokoonpano, materiaali valittavissa (alumiini, teräsverkkohilja) |
|
työtila |
8 kerrosta |
|
Prosessikaasu |
||
Virtausalue |
0~300SCCM |
|
Prosessikaasun kaasuputki |
Standardilla kaksi tietä, voidaan mukauttaa. Prosessekaasuputki on tehty ferrofllonista |
|
Ohjausjärjestelmä |
||
SC |
PC-hallinta |
|
interaktiivinen tila |
Windows-rajapinta |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved