Tyhjiöplasma-isäntäyksikkö (150) |
||||
Laitekoko |
P 1100×L 940×K 1755mm |
|||
paino |
600 kg |
|||
Vaadittu virtalähde |
AC380V, 50/60Hz, 5 johtoa, 25A (yhteensä avoimesti C:stä alkaen) |
|||
Plasmageneraattorin määrittely |
||||
teho |
radiorajuota |
välirajuota |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
toimitusruota |
13,56 MHz |
40 K Hz |
||
Tyhjiöjärjestelmä |
||||
tyhjiöpumppu |
Leap monopole pommi VSV 65 + Bowse Lots pommi BSJ 70 |
|||
tyhjännessähköinen putki |
Koko rautalinja sekä korkean voiman tyhjännessä varsu |
|||
materiaalin laatu |
alufer |
|||
paksuus |
25 mm |
|||
tiivisyyden |
Sotilaskuntoisen linkityksen sulku |
|||
Sikojen sisämittakaaviot |
500*500*600mm (leveys* korkeus * syvyys) |
|||
Sähköisen alusteen tehokas koko |
372(W) X 451(D)mm |
|||
Saadava tila välilyönti |
24mm |
|||
Sähköpaitojärjestely |
Vaakasuuntainen sähködeittilauta |
|||
laudat |
Standardikokoonpano, materiaali valittavissa (alumiini, teräsverkkohilja) |
|||
työtila |
8 kerrosta |
|||
Prosessikaasu |
||||
Virtausalue |
0~300SCCM |
|||
Prosessikaasun kaasuputki |
Standardilla kaksi tietä, voidaan mukauttaa. Prosessekaasuputki on tehty ferrofllonista |
|||
Ohjausjärjestelmä |
||||
SC |
PC-hallinta |
|||
interaktiivinen tila |
Windows-rajapinta |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved