Tyhjiöplasma isäntäyksikkö (150) | ||||
Laitteen koko | P 1100×L 940×K 1755mm | |||
paino | 600Kg | |||
Kysy virtalähdettä | AC380V, 50 / 60Hz, 5 linjaa, 25A (yhteensä avoin tyyppi yli C) | |||
Plasmageneraattorin tekniset tiedot | ||||
teho | radiotaajuus | välitaajuus | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
syöttötaajuutta | 13.56MHz | 40 K Hz | ||
Tyhjiöjärjestelmä | ||||
Tyhjiöpumppu | Leap monopolipumppu VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 | |||
tyhjiöputki | Kaikki ruostumattomasta teräksestä valmistetut linjat sekä lujat tyhjiöpalkeet | |||
materiaalin laatu | alufer | |||
paksuus | 25mm | |||
tiiviys | Sotilasluokan hitsaustiiviste | |||
Ontelon sisämitat | 500*500*600mm (leveys* korkea * syvyys) | |||
Sähkölevyn tehokas koko | 372 (L) X 451 (S) mm | |||
Käytettävissä oleva tilaväli | 24mm | |||
Sähkölevyjärjestely | Vaakasuora elektrodilevy | |||
tarjottimet | Vakiosarja, materiaali valinnainen (alumiini, teräslankaverkko) | |||
työtila | 8 kerros | |||
Prosessikaasu | ||||
Virtausalue | 0-300SCCM | |||
Prosessikaasun kaasureitti | Vakio kahdella tavalla, voidaan mukauttaa. Prosessikaasuputki on valmistettu ferrofllonista | |||
Ohjausjärjestelmä | ||||
SC | PC ohjaus | |||
vuorovaikutteinen tila | Windows-käyttöliittymä |
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään