Tyhjiöplasma-isäntä(200) |
||
Laitteen koko |
1050× 1700 × 1050 mm (leveys, korkeus ja syvyys) |
|
paino |
800Kg |
|
vaatia tehoa |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Plasmageneraattorin tekniset tiedot |
||
verkkovirta |
radiotaajuus |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Tehon taajuus |
13.56MHz |
40 KHz |
Tyhjiöjärjestelmä |
||
Tyhjiöpumppu |
Feiyue unipolaarinen pumppu VSV100+Both Roots pumppu BSJ70 |
|
tyhjiölinja |
Kaikki ruostumattomasta teräksestä valmistetut putket ja lujat tyhjiöpalkeet |
|
materiaali |
Alumiinilejeeringit |
|
paksuus |
25mm |
|
tiiviys |
Sotilasluokan hitsattu tiiviste |
|
Ontelon sisämitat |
600 × 600 × 600 mm (L × K × S) |
|
Elektrodilevyn tehokas koko |
472 x 451 mm (L × S) |
|
vapaata tilaa |
35mm |
|
Elektrodilevyn asettelu |
Vaakasuora elektrodilevy |
|
työtaso |
Yksi sarja on vakiona ja materiaali on valinnainen (alumiini, teräsverkko) |
|
Työtila |
8 lattiat |
|
Prosessikaasu |
||
Virtausalue |
0-300SCCM |
|
Prosessikaasupiiri |
Varustettu O2, Ar, N2 kolmitiekaasulla |
|
Ohjausjärjestelmä |
||
järjestelmän ohjaus |
PC ohjaus |
|
vuorovaikutteinen tila |
Windows-käyttöliittymä |
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään