Tyhjiöplasma isäntä (200) | ||||
Laitteen koko | 1050×1700×1050mm (leveys, korkeus ja syvyys) | |||
paino | 800Kg | |||
vaatia tehoa | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Plasmageneraattorin tekniset tiedot | ||||
verkkovirta | radiotaajuus | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Tehon taajuus | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Tyhjiöjärjestelmä | ||||
Tyhjiöpumppu | Feiyue unipolaarinen pumppu VSV100+Both Roots pumppu BSJ70 | |||
tyhjiölinja | Kaikki ruostumattomasta teräksestä valmistetut putket ja lujat tyhjiöpalkeet | |||
materiaali | Alumiinilejeeringit | |||
paksuus | 25mm | |||
tiiviys | Sotilasluokan hitsattu tiiviste | |||
Ontelon sisämitat | 600 × 600 × 600 mm (L × K × S) | |||
Elektrodilevyn tehokas koko | 472 x 451 mm (L × S) | |||
vapaata tilaa | 35mm | |||
Elektrodilevyn asettelu | Vaakasuora elektrodilevy | |||
työtaso | Yksi sarja on vakiona ja materiaali on valinnainen (alumiini, teräsverkko) | |||
Työtila | 8 lattiat | |||
Prosessikaasu | ||||
Virtausalue | 0-300SCCM | |||
Prosessikaasupiiri | Varustettu O2, Ar, N2 kolmitiekaasulla | |||
Ohjausjärjestelmä | ||||
järjestelmän ohjaus | PC ohjaus | |||
vuorovaikutteinen tila | Windows-käyttöliittymä |
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään