Vakuumiplasma-isäntäyksikkö (60)
|
||||
Laitekoko
|
P 950×L 900×K 1650mm
|
|||
Paino
|
350kg
|
|||
Vaadittu virtalähde
|
AC380V, 50/60Hz, 5 johtoa, 16A (kokonaisvaltainen avointyyppi yläosassa C)
|
|||
Plasmageneraattorin määrittely
|
||||
Teho
|
radiorajuota
|
välirajuota
|
||
0~600W
|
0-1000W
|
|||
toimitusruota
|
13,56 MHz
|
40 K Hz
|
||
Tyhjiöjärjestelmä
|
||||
tyhjiöpumppu
|
Kaksitasoinen pyörrekaappi (öljykäppi): 40m3/h
|
|||
tyhjännessähköinen putki
|
Koko rautalinja sekä korkean voiman tyhjännessä varsu
|
|||
Materiaalin laatu
|
Alumiinilias (mukautettavissa rautaliesiksi)
|
|||
Paksuus
|
25 mm
|
|||
tiivisyyden
|
Sotilaskuntoisen linkityksen sulku
|
|||
Sikojen sisämittakaaviot
|
375*375*430mm (leveys * korkeus * syvyys)
|
|||
Sähköisen alusteen tehokas koko
|
247*281mm (leveys* syvyys)
|
|||
Saadava tila välilyönti
|
22mm
|
|||
Sähköpaitojärjestely
|
Vaakasuuntainen asettelu, voi olla aktiivinen poisto
|
|||
Laudat
|
Standardikokoonpano, materiaali valittavissa (alumiini, teräsverkkohilja)
|
|||
työtila
|
6 Kerrosta
|
|||
Prosessikaasu
|
||||
Virtausalue
|
0~300SCCM
|
|||
Prosessikaasun kaasuputki
|
Standardilla kaksi tietä, voidaan mukauttaa. Prosessekaasuputki on tehty ferrofllonista
|
|||
navar
|
||||
SC
|
PLC:n
|
|||
interaktiivinen tila
|
7-tuuma kosketusnäyttö
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved