Vakuumiplasma-isäntäyksikkö (60) |
||||
Laitekoko |
P 950×L 900×K 1650mm |
|||
paino |
350kg |
|||
Vaadittu virtalähde |
AC380V, 50/60Hz, 5 johtoa, 16A (kokonaisvaltainen avointyyppi yläosassa C) |
|||
Plasmageneraattorin määrittely |
||||
teho |
radiorajuota |
välirajuota |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
toimitusruota |
13,56 MHz |
40 K Hz |
||
Tyhjiöjärjestelmä |
||||
tyhjiöpumppu |
Kaksitasoinen pyörrekaappi (öljykäppi): 40m3/h |
|||
tyhjännessähköinen putki |
Koko rautalinja sekä korkean voiman tyhjännessä varsu |
|||
materiaalin laatu |
Alumiinilias (mukautettavissa rautaliesiksi) |
|||
paksuus |
25 mm |
|||
tiivisyyden |
Sotilaskuntoisen linkityksen sulku |
|||
Sikojen sisämittakaaviot |
375*375*430mm (leveys * korkeus * syvyys) |
|||
Sähköisen alusteen tehokas koko |
247*281mm (leveys* syvyys) |
|||
Saadava tila välilyönti |
22mm |
|||
Sähköpaitojärjestely |
Vaakasuuntainen asettelu, voi olla aktiivinen poisto |
|||
laudat |
Standardikokoonpano, materiaali valittavissa (alumiini, teräsverkkohilja) |
|||
työtila |
6 Kerrosta |
|||
prosessikaasu |
||||
Virtausalue |
0~300SCCM |
|||
Prosessikaasun kaasuputki |
Standardilla kaksi tietä, voidaan mukauttaa. Prosessekaasuputki on tehty ferrofllonista |
|||
navar |
||||
SC |
PLC:n |
|||
interaktiivinen tila |
7-tuuma kosketusnäyttö |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved