MDHS-AL8 8" täysin automaattinen yhden puolen litografiakone , China MDHS-AL8 8" täysin automaattinen yhden puolen litografiakone Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaus

MDHS-AL8 8" täysin automaattinen yhden puolen litografiakone

1. Toimintatapa: Latausrobotti lataa pohjia automaattisesti A-B (kierrätettävistä) pohjalaatikoista esiasennukseen

työpöytä, ja kameran asennuksen waferin sekä automaattisen kiertojärjestelmän säätämisen kautta saavutetaan waferin esiasennus; Latausrobotti lataa sitten esiasennetut waferit sovittamiselle tarkoitettuun työpöytään. Tietokoneen kuva-ja automaattisen sovittamisjärjestelmän säätämisen avulla voidaan saavuttaa maskin ja waferien graafisten elementtien automaattinen sovitus. On myös mahdollista suorittaa yksi altistus ilman graafisten elementtien sovittamista. Altistuksen jälkeen ylipitojärjestelmän automaattisen altistuksen jälkeen purkurobotti asettaa waferit automaattisesti C-D (kierrätettävä) waferilaatikkoon.
2. Altistusalues: 160 × 160mm;
3. Epäsäännöllinen altistusvaloisuus: ≤ 3%;
4. Altistusintensiiteetti: 0~≥ 40mw/cm2 säädettävissä (säteen kulma 2 °);
5. UV-säteen kulma: ≤ 3 °;
6. Ultraviolettisäteen keskisyöttä: 365nm;
7. UV-valaisijan elinajan: ≥ 20000 tuntia;
8. Erottokyky: 0~≥ 1000um säädettävissä;
9. Sovitusnaukkuus: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Esitystarkkuus: Yhteydessä esitys ± 1 μ m. Lähiesityksen erottelu 20 μ M, keskijanan kulma 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Esitysmenetelmät: kova yhteys, pehmeä yhteys ja lähiesitys;
12. Esitystila: Voit valita välillisestä esityksestä tai siirtymisestä
13. Ennakoiva kuvan tunnistus- ja automaattikierrosjärjestelmä (mukaan lukien ennakoivan työpöytän): kierroskulma Q ≥ ± 180 °, kierrosnauha Q ≤ 0.01 °;
14. Kuvan tunnistus- ja automaattinen tasausjärjestelmä (mukaan lukien UVW-tasauspöytä): tasausalue X Y ≥ ± 5mm, kierroskulma Q ≥ ± 3 °, ja mikroskopin kaksi linssia ohjataan kahdella XYZ-sähköpohjalla.
15. Maskin koko: 5 "× 5" ja 7" × 7 ";
16. Waferin koko: 4 "ja 6";
17. Ylä- ja alapuoleiset elokuvakatoluettelon työasemat: kaksiasiallinen työasema;
18. Jalankorkeuskorjaus ilmapuhelin
19. Lataus- ja purkukaksikäsiruokan käyttöönotto: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Waarien määrä waarilaudassa: määrä määritetään asiakkaan waarilaudan waarien perusteella;
21. Sijaintipöydän nosto: Z ≥ ± 25mm;
22. Kaltion aika: muokattavissa 0–999,9 sekunnin välillä;
23. Tuotantoritmi: >120 kappaletta tunnissa;
24. Energiantoimitus: yksisuuntainen AC220V 50Hz, energiankulutus ≤ 3KW;
25. Puhdas ilma paine: ≥ 0,4MPa;
26. Tyhjännyksen astearvo: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Koko: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Paino: Noin 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Tämä kone koostuu LED-uv-kaltio-päästä, kuvatunnistus- ja automaattikierrosjärjestelmästä, ennakkosijoitus työpöydästä sekä kuva- tunnistus- ja automaattinen tasausjärjestelmistä, tasauspöydät, latausrobotit, purkurobitit, rastit ja sähköiset ohjaussuunnitelmat, varasto-varusteista jne.

MITTATIETOE

1. Esityspää: Yksi LED-uvetyöpää (365nm);
2. Kuvan tunnistus ja esiasettelu työpöytä:
1) 1 kamera (1,3 miljoonaa pikseliä)
2) Keskuskohdinta-asema
3) 1 pyörivä alusta (servomoottorilla)
4) 1 asetinjärjestelmä
3. Kuvan tunnistus ja automaattinen asettelujärjestelmä:
1) 2 kamerat (5 miljoonaa pikseliä korkealla kehysteholla)
2) 2 linssiä (4x korkea määrittelykyky)
3) Yksi teollinen tietokone
4) Yksi ohjain (PLC:n hallitsema)
5) Yksi tasausalustan joukko (käyttää 5-vaiheista askelmotoria)
6) Liikuntajärjestelmän joukko
7) Yläplaatelaite käyttää moottoria nousemisen ja laskemisen toiminnolle
7) Ohjelmisto käyttää uusinta LabVIEW Professional Edition -versiota
4. Lataus- ja purku-mekaaninen käsiluu:
1) X Y. Z-akselin automaattinen liikkumismekanismi
2) Kaksiohoinen robottikäsiluu (lataus- ja purkukäsillät)
5. Wafer-laukun kiinteysmekanismi:
1) AB on syötteen elokuvalaukun kiinteä paikannus
2) CD on leikkausfilmilaatikon kiinteä paikointi
3) G on NG-sijainnin filmilaatikon kiinteä paikointi
6. Kamera kiinteä alusta:
7. Kaksi joukkoa Y.Z sähköisiä säätömekanismeja (servomoottoreilla hallittuja)
8. Rakeetti ja sähköinen ohjauskonsoli:
1) 1 teollinen tietokone
2) Yksi joukko PLC;
3) Yksi joukko elektromagneettisia venttiilejä ja ohjaussysteemi
4) Joukko digitaalisia pneumaattisia laitteita
5) Yksi joukko ohjauskonsolia
8. Varasatut:
1) Kaksisäiliöinen: 15 metriä
2) 2 elektromagneettiset venttiilit
3) Vakuumipumppu: 1 yksikkö
9. Tekninen data:
1) Yksi käyttöohje
2) Yksi sovittuneisuussertifikaatti
10. Lisätiedot
Laiteohjelmistoa on varustettava SECS-viestikommunikaatioprotokollalla, ja myyjä tarjoaa dynaamisen kirjaston, joka mahdollistaa kytkentän myyjän MES-järjestelmään, tallentaa tuotteen sarjanumeron, työn numeron ja toimintatilanteen automaattisesti sekä lataa ne. Samalla sillä on ominaisuus tunnistaa peiliplaatteen QR-koodi, verrata sitä MES-järjestelmän peiliplaatteen QR-koodiin ja estää väärän peiliplaatteen ottamisen.

Pakkaus & Toimitus