Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

ETUSIVU
Tietoa meistä
MH laitteet
Ratkaisu
Ulkomaiset käyttäjät
Video
Ota yhteyttä
product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-42
Etusivu> Mask Aligner
  • MDHS-AL8 8
  • MDHS-AL8 8

MDHS-AL8 8" Täysautomaattinen yksipuolinen litografiakone Suomi

Tuotteen Kuvaus

MDHS-AL8 8" Täysautomaattinen yksipuolinen litografiakone

1. Työtila: Latausrobotti lataa kiekot automaattisesti AB (kierrätettävästä) kiekkolaatikosta esiasemointiin
työpenkki, ja kameran paikannuskiekon ja automaattisen kääntöjärjestelmän säädön avulla saavutetaan kiekon esiasemointi; Latausrobotti lataa sitten esiasetetut kiekot kohdistustyöpöydälle. Tietokoneen kuvantunnistuksen ja automaattisen kohdistusjärjestelmän säädön avulla voidaan saavuttaa maskin ja kiekkojen grafiikan automaattinen kohdistus. On myös mahdollista suorittaa yksi valotus kohdistamatta grafiikkaa. Ylivalotusjärjestelmän automaattisen valotuksen jälkeen purkurobotti asettaa kiekot automaattisesti CD (kierrätettävä) kiekkolaatikkoon.
2. Valotusalue: 160 × 160 mm;
3. Epätasainen altistuksen valaistus: ≤ 3 %;
4. Altistuksen intensiteetti: 0~≥ 40mw/cm2 säädettävissä (säteen kulma 2°);
5. UV-säteen kulma: ≤ 3 °;
6. Ultraviolettivalon keskiaallonpituus: 365 nm;
7. UV-valolähteen käyttöikä: ≥ 20000 tuntia;
8. Erotuskapasiteetti: 0 ~ ≥ 1000um säädettävissä;
9. Kohdistustarkkuus: ≤ ± 1.5 μM;
10. Altistuksen tarkkuus: Kosketusaltistus ± 1 μm. 20 μM:n sädekulman läheinen valotuserotus 2 ° ≤ ± 2 μM
11. Altistumismenetelmät: kova kosketus, pehmeä kosketus ja läheisyysaltistus;
12. Valotustila: Voit valita kertavalotuksen tai offset-valotuksen välillä
13. Esiasemointikuvan tunnistus ja automaattinen kääntöjärjestelmä (mukaan lukien esiasemointityöpöytä): kiertokulma Q ≥ ± 180 °, kiertotarkkuus Q ≤ 0.01 °;
14. Kuvantunnistus- ja automaattinen kohdistusjärjestelmä (mukaan lukien UVW-kohdistustyöpöytä): kohdistusalue XY ≥ ± 5 mm, kiertokulma Q ≥ ± 3 °, ja mikroskoopin kahta linssiä ohjataan kahdella sähköisellä XYZ-alustalla.
15. Maskin koko: 5" × 5"ja 7" × 7";
16. Kiekon koko: 4 "ja 6";
17. Ylempi ja alempi filmilaatikkotyöasemat: kaksoistyöasemat;
18. Jalkatyynyn turvatyyny
19. Kaksivartisen robottikäsivarren lastaus ja purkaminen: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Kiekkojen lukumäärä kiekkolaatikossa: määräytyy asiakkaan kiekkolaatikossa olevien kiekkojen lukumäärän perusteella;
21. Asemointipöydän nosto: Z ≥ ± 25mm;
22. Valotusaika: säädettävissä välillä 0 - 999.9 sekuntia;
23. Tuotantorytmi:>120 kappaletta tunnissa;
24. Virtalähde: yksivaiheinen AC220V 50Hz, virrankulutus ≤ 3KW;
25. Puhtaan ilman paine: ≥ 0.4 MPa;
26. Tyhjiöaste: -0.07 MPa ~ -0.09 MPa;
27. Koko: 1400 * 1000 * 2100 mm;
28. Paino: Noin 400 kg
MDHS-AL8 8
Tämä kone koostuu LED-ultraviolettivalotuspäästä, kuvantunnistus- ja automaattisesta kiertojärjestelmästä, valmiiksi sijoitetusta työpöydästä ja kuvan kaltaisista tunnistus- ja automaattisista kohdistusjärjestelmistä, kohdistustyöpenkeistä, lastausroboteista, purkuroboteista, telineistä ja sähköohjauksesta, joka koostuu laitteista , varaosat jne.
määrittely
1. Valotuspää: Yksi LED ultraviolettivalotuspää (365 nm);
2. Kuvantunnistus ja esikohdistustyöpöytä:
1) 1 kamera (1.3 miljoonaa pikseliä)
2) Keskiasemointikiinnike
3) 1 sarja pyörivää alustaa (servomoottorilla)
4) 1 sarja paikannusjärjestelmää
3. Kuvantunnistus- ja automaattinen kohdistusjärjestelmä:
1) 2 kameraa (5 miljoonan pikselin korkea kuvataajuus)
2) 2 objektiivia (4x teräväpiirtoobjektiivi)
3) Yksi teollisuustietokone
4) Yksi ohjain (ohjataan PLC:llä)
5) Yksi sarja kohdistusalustaa (käyttäen 5-vaiheista askelmoottoria)
6) Joukko urheilujärjestelmää
7) Ylälevylaite käyttää moottoria nostamiseen ja laskemiseen
7) Ohjelmisto ottaa käyttöön LabVIEW Professional Editionin uusimman version
4. Mekaanisen varren lastaus ja purkaminen:
1) X Y. Sarja Z automaattista liikkuvaa mekanismia
2) Kaksivartinen robottikäsi (lataus- ja purkuvarret)
5. Vohvelilaatikon kiinnitysmekanismi:
1) AB on syöttökalvolaatikon kiinteä sijainti
2) CD on leikkauskalvolaatikon kiinteä sijainti
3) G on NG-aseman kalvolaatikon kiinteä sijainti
6. Kameran kiinteä alusta:
7. Kaksi sarjaa YZ sähköisiä säätömekanismeja (ohjataan servomoottorilla)
8. Teline ja sähköinen ohjauskonsoli:
1) 1 teollisuustietokone
2) Yksi PLC-sarja;
3) Yksi sarja solenoidiventtiilejä ja ohjausjärjestelmä
4) Joukko digitaalisia pneumaattisia instrumentteja
5) Yksi ohjauskonsolisarja
8. Varaosat:
1) Henkitorvi: 15 metriä
2) 2 solenoidiventtiiliä
3) Tyhjiöpumppu: 1 yksikkö
9. Tekniset tiedot:
1) Yksi käyttöohje
2) Yksi vaatimustenmukaisuustodistus
10. Lisä
Laiteohjelmisto on varustettava SECS-kommunikaatioprotokollalla, ja ostaja tarjoaa dynaamisen kirjaston, jossa on ostajan MES-järjestelmän telakointitoiminto, joka tallentaa automaattisesti tuoteerän numeron, työnumeron ja toimintatilan ja lataa ne. Samalla se tunnistaa maskilevyn QR-koodin, vertaa sitä MES-järjestelmän maskilevyn QR-koodiin ja estää väärän maskilevyn ottamisen.
Pakkaus ja toimitus
MDHS-AL8 8
MDHS-AL8 8
Yrityksen profiili

tiedustelu

product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-53tiedustelu product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-54Sähköposti product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-55WhatsApp product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-56 WeChat
product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-57
product mdhs al8 8 fully automatic single sided lithography machine215-58ylin
×

Ota yhteyttä