MDICP-5000F Täysautomaattinen ICP-etsauskone / Puolijohdelaitteet Induktiivisesti kytketty plasma , Kiina MDICP-5000F Täysautomaattinen ICP-etsauskone / Puolijohdelaitteet Induktiivisesti kytketyt plasmanvalmistajat, toimittajat, tehdas

Tuotteen Kuvaus

MDICP-5000F Täysautomaattinen ICP-etsauskone

Tiivistelmä

Laite on kaksikammioinen tyhjiöjärjestelmä. Yksi kammio on injektionäytteenottokammio ja toinen on etsauskammio. Injektionäytteenottokammion ja etsauskammion väliin asennetaan tyhjiolukko, ja injektionäytteenotto kuljetetaan manipulaattorilla.
Laitteet koostuvat pääasiassa tyhjiöjärjestelmästä, kaasupiirijärjestelmästä, sähköjärjestelmästä, ohjausjärjestelmästä, jäähdytysjärjestelmästä, kalvon syöttö- ja ottomekanismista, hälytysjärjestelmästä jne.

Tyhjiöjärjestelmä

Järjestelmä koostuu molekyylipumpusta, jonka pumppausnopeus on 600 l / S + tuodusta tyhjiökuivapumpusta, jonka pumppausnopeus on L / s syövytyskammion pumppaamiseksi korkeaan tyhjiöön. Sähköinen dynaaminen paineensäätöventtiili on asennettu molekyylipumpun ja etsauskammion väliin. Tuotu kuivapumppu on etsauskammion esipumppauspumppu ja molekyylipumpun etuvaiheen pumppu. Käytä toista mekaanista pumppua, jonka pumppausnopeus on L/s, näytekammion tyhjiössä. Ruostumattomasta teräksestä valmistettuja palkeita käytetään mekaanisen pumpun ja tyhjiökammion sekä molekyylipumpun yhdistämiseen, ja sähkömagneettinen pneumaattinen lohkoventtiili asennetaan.

Jatkuva paineensäätöjärjestelmä

Laitteet on varustettu alavirtaan jatkuvalla paineensäätöjärjestelmällä ja ilmanpoistoputkeen on asennettu sähköisesti säädettävä venttiili. Kalvomittarin (tuodut osat) mittauksen avulla säädettävää venttiiliä ohjataan, jotta tyhjiökammio saavuttaa vakiopaineen prosessin vakauden parantamiseksi.

Jatkuva paineensäätöjärjestelmä

Kaasupiirijärjestelmä

Kaksi sarjaa RF-virtalähdettä automaattisella sovituksella.

Varashälytin

Laitteiden turvallisuusvaatimukset.

määrittely

Nimi	SPC	Brändi	Nro/Set	Huomautuksia
Etsauskammio, ilmanpoistoputki, tarkkailuikkuna, varattu käyttöliittymä jne	Standard	JSWN	1	ruosteenesto
Runko, sähkökaappi, tiivisteet, vakioosat jne	Standard	JSWN	1
Etsauskammion kannen nostojärjestelmä	Standard	JSWN	1	ruosteenesto
Etsauselektrodi ja jäähdytysjärjestelmä	Standard	JSWN	1	ruosteenesto
Molekyylipumppu (pumppunopeus 600 l/s)	Final Fantasy 620/150	KYKY	1	ruosteenesto
Tulokuivapumppu (pumppunopeus 9 l/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	ruosteenesto
Mekaaninen pumppu (pumppunopeus 9 l/s)	TRP-36	BWVAC	1
Sähkösäätöinen sulkuventtiili	DCQ-150	JSWN	1	ruosteenesto
Pneumaattinen paljesulkuventtiili	KF40	JSWN	3	ruosteenesto
Filmin mittari	KF16	INFICON	1	ruosteenesto
Massavirran säädin	D07	Seitsemän tähteä	4	ruosteenesto
Pneumaattinen kalvoventtiili	1/4″ videonauhuri	-	4	ruosteenesto
Ruostumaton teräsputki, putkiliitos jne	1/4″ videonauhuri	-	4	ruosteenesto
RF-virtalähde / automaattinen sovitin	-	Kiina (valinnainen CROWN1310)	1
RF-virtalähde / automaattinen sovitin	-	Kiina (valinnainen CROWN1310)	1
Komposiitti alipainemittari	ZDF	RB	1
IPC	2U	Kiina	1
LCD-kosketusnäyttö	17inch	Kiina	1
PLC-ohjausjärjestelmä	S7-200	Siemens	1
Sähkökäyttöinen ohjausjärjestelmä	Standard	JSWN	1
Jäähdytysveden tunnistus ja putkistojärjestelmä	Standard	JSWN	1
Paineilman tunnistus ja putkistojärjestelmä	Standard	JSWN	1
Jäähdyttävä kiertovesikone	HX	Kiina	1
Etsaus injektiokammio	Standard	JSWN	1
Tyhjiö lukko	SMC	SMC	1
Manipulaattorin ohjausjärjestelmä	SMC	SMC	1

Sähköpostin tekninen parametri

1. Raja tyhjiö: Etsauskammio 9.0 × 10-5 Pa (sisäkosteus ≤ 55 %)
Injektiokammio 6.0×10-1Pa
2. Etsausmateriaali: Ⅲ、Ⅴ Materiaali, Si, SiO2 jne
3. Syövytysnopeus: ~ 1μ/min
4. Syövytyksen tasaisuus: ≤±5％ (φ125mm alue)
6. Elektrodin koko: φ200mm

Pakkaus ja toimitus

Tavaroidesi turvallisuuden varmistamiseksi tarjotaan ammattitaitoisia, ympäristöystävällisiä, käteviä ja tehokkaita pakkauspalveluita.

Yrityksen profiili

Meillä on 16 vuoden kokemus laitemyynnistä. Voimme tarjota sinulle One-stop Semiconductor Front-end- ja Back end Package Line -laitteiden ammattimaisen ratkaisun Kiinasta.