MDICP-5000F Täysin automaattinen ICP-etsintäkone / Semiconductor-laitteisto Induktioyhteydellinen plasma , China MDICP-5000F Täysin automaattinen ICP-etsintäkone / Semiconductor-laitteisto Induktioyhteydellinen plasma Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaus

MDICP-5000F Täysin automaattinen ICP etching kone

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Yhteenveto

Laite on kahden huoneen ilmakehölaitesysteemi. Yksi huone on otantahuone ja toinen on kehityshuone. Ilmakehölukko on asennettu otantahuoneen ja kehityshuoneen välille, ja otannan kuljetus tapahtuu manipulaattorilla.
Laite koostuu pääasiassa vakuumijärjestelmästä, kaasukuljetusjärjestelmästä, sähköjärjestelmästä, ohjausjärjestelmästä, jäähdytysjärjestelmästä, kalvotuonti- ja -poistomekanismista, hälytysjärjestelmästä jne.

Tyhjiöjärjestelmä

Järjestelmä koostuu molekyyripumasta, jonka vetonopeus on 600 L/s + tuonnemmainen vakuumikuivauspumpu, jonka vetonopeus on L/s, joilla vedetään korrosiohuone korkeaan vakuumiin. Molekyyripuman ja korrosiohuoneen välillä on asennettu sähköinen painepäätöksilippu. Tuonnemmainen kuivauspumpu on korrosiohuoneen esipumpu ja molekyyripuman edellisena pumpuna. Toiseen mekaaniseen pumpuun, jonka vetonopeus on L/s, käytetään ottaakseen näytehuone vakuumiin. Jäähdyttämättömät rautaliekkojen käytetään mekaanisen pumpun ja vakuumihuoneen sekä molekyyripuman yhteydessä, ja niissä on asennettu elektromagneettinen ilmapuhallusohjausalus.

Vakioinnostusohjausjärjestelmä

Laite on varustettu alla olevalla vakion paineohjauksella, ja sähköinen säätöventtiili on asennettu ilmanpoistojohtimessa. Kuvio mittarilla (tuotantomaan osat) säädetylle venttiilille varmistetaan, että tyhjiöhuone saavuttaa vakion paineen, mikä parantaa prosessin vakautta.

Vakioinnostusohjausjärjestelmä

Kaasun sähköjärjestelmä

Kaksi joukkoon kuuluvaa RF-turvallisuuslaitetta automaattisesti sovitettuna.

hälytysjärjestelmä

Turvallisuusvaatimukset laitteelle.

MITTATIETOE

Name	Spc	Brändi	Nro/Set	Huomautus
Ulvotteluksi, ilmanpoistojohditteet, havaintoikkuna, varausliittymät jne.	Standardi	JSWN	1	Antikorrosiivinen
Runko, sähkökaapeli, takiot, standardiosat jne.	Standardi	JSWN	1
Kuvauksen kammerin peittimen nostosysteemi	Standardi	JSWN	1	Antikorrosiivinen
Kuvauksen sähköde ja jäähdytysjärjestelmä	Standardi	JSWN	1	Antikorrosiivinen
Molekyyripumppu (pumpaussyvyys 600 L/s)	FF620/150	KYKY	1	Antikorrosiivinen
Syöttökuivauspumppu (pumpaussyvyys 9 L/s)	XDS-35I	Edwards	1	Antikorrosiivinen
Mekaaninen pumpu (pumpaussyvyys 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Sähköinen säätöportti	DCQ-150	JSWN	1	Antikorrosiivinen
Pneumaattinen kimpusvene	KF40	JSWN	3	Antikorrosiivinen
Levyn mittari	KF16	INFICON	1	Antikorrosiivinen
Massavirtaohjain	D07	Sevenstar	4	Antikorrosiivinen
Pneumaattinen diagrampilve	1/4" VCR	-	4	Antikorrosiivinen
Rautainen putki, putkisolitus jne	1/4" VCR	-	4	Antikorrosiivinen
RF-voimatoimitus / automaattinen vastustussoitin	-	Kiina (Valinnainen CROWN1310)	1
RF-voimatoimitus / automaattinen vastustussoitin	-	Kiina (Valinnainen CROWN1310)	1
Yhdistetty tyhjänmittari	ZDF	RB	1
IPC	2U	Kiina	1
LCD-täytön näyttö	17 tuumaa	Kiina	1
PLC-ohjausjärjestelmä	S7-200	Siemens	1
Sähköinen ajojärjestelmä	Standardi	JSWN	1
Jäähdytysveden havaitseminen ja putkistusjärjestelmä	Standardi	JSWN	1
Purkautuvan ilman havaitseminen ja putkistusjärjestelmä	Standardi	JSWN	1
Jäähdytyskiertovesi-kone	HX	Kiina	1
Etsoinnin injektiohuone	Standardi	JSWN	1
Vakuumilukko	SMC	SMC	1
Manipulaattorin ohjausjärjestelmä	SMC	SMC	1

Sähköposti tekninen parametri

1. Raja-arvo vakuumille: Etsoinhuone 9.0×10-5Pa (Huoneen kosteus≤55%)
Injektion otantahuone 6.0×10-1Pa
2. Etsoaika aine: Ⅲ, Ⅴ-materiaali, Si, SiO2 jne
3. Kuivoluontokuvauksen nopeus: ~ 1μ/min
4. Kuivoluontokuvauksen tasaisuus: ≤±5％(φ125mm alueella)
6. Elektroden koko: φ200mm

Pakkaus & Toimitus

Parantaaksemme tavaroidesi turvallisuutta, tarjoamme ammattimaisia, ympäristöystävällisiä, käteviä ja tehokkaita pakkauspalveluja.

Yrityksen profiili

Meillä on 16 vuotta kokemusta laitteiden myynnistä. Voimme tarjota sinulle yhdenmukaisen ratkaisun semioperaattorien edustajan ja jälkeenpäin pakkauslinjan laitteista Kiinasta.