|
projekti
|
tekniset tiedot
|
huomautukset
|
||
|
1 |
Laitteiden yleiskuvaus |
Laitteen nimi: Täysin automaattinen yhtenäinen liimankehityskone
|
||
|
Laitemalli: MD-2C2D6
|
||||
|
Prosessointikiekkojen tekniset tiedot: yhteensopiva 4/6 tuuman vakiokiekkojen kanssa
|
||||
|
Tasaisen liiman prosessivirtaus: Kukkakorin viipalointi → keskitys → tasainen liima (tiputus → tasainen liima → reunan poisto, takaosa
pesu) → keittolevy → kylmälevy → korin asettaminen Kehitysprosessin kulku: Kukkakorin viipalointi → keskitys → kehitys (kehitysliuos → deionisoitu vesi, selän pesu → typpikuivaus) → keittolevy → kylmälevy → korin asettaminen |
||||
|
Kokonaiskoko (noin): 2100mm (L) * 1800mm (S) * 2100mm (K)
|
||||
|
Kemikaalikaapin koko (noin): 1700 (L) * 800 (S) * 1600 mm (K)
|
||||
|
Kokonaispaino (noin): 1000kg
|
||||
|
Työpöydän korkeus: 1020 ± 50 mm
|
||||
|
2 |
Kasettiyksikkö
|
Määrä: 2
|
||
|
Yhteensopiva koko: 4/6 tuumaa
|
||||
|
Kasetintunnistus: mikrokytkimien tunnistus
|
||||
|
Liukumisen tunnistus: Kyllä, heijastava anturi
|
||||
|
3 |
robotti |
Määrä: 1
|
||
|
Tyyppi: Kaksivartinen tyhjiöadsorptiorobotti
|
||||
|
Vapausaste: 4-akselinen (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Sormen materiaali: keraaminen
|
||||
|
Substraatin kiinnitysmenetelmä: tyhjiöadsorptiomenetelmä
|
||||
|
Kartoitustoiminto: Kyllä
|
||||
|
Paikannustarkkuus: ± 0.1 mm
|
||||
|
4 |
Keskitysyksikkö
|
Määrä: 1-sarja
|
Valinnainen optinen kohdistus
|
|
|
Kohdistusmenetelmä: mekaaninen kohdistus
|
||||
|
Keskitystarkkuus: ± 0.2 mm
|
||||
|
5 |
Tasainen liimayksikkö |
Määrä: 2 sarjaa (seuraavat kokoonpanot jokaiselle yksikölle)
|
||
|
Karan pyörimisnopeus: -5000 rpm ~ 5000 rpm
|
kantamassa tyhjäkäyntiä
|
|||
|
Karan pyörimistarkkuus: ± 1 rpm (50 rpm ~ 5000 rpm)
|
||||
|
Karan pyörimisnopeuden minimisäätö: 1 rpm
|
||||
|
Karan pyörimisen maksimikiihtyvyys: 20000 rpm/s
|
kantamassa tyhjäkäyntiä
|
|||
|
Tiputusvarsi: 1 sarja
|
||||
|
Fotoresist putken reitti: 2 reittiä
|
||||
|
Fotoresist-suuttimen halkaisija: 2.5 mm
|
||||
|
Fotoresistieristys: 23 ± 0.5 ℃
|
valinnainen
|
|||
|
Kosteuttava suutin: Kyllä
|
||||
|
RRC: Kyllä
|
||||
|
Puskuri: Kyllä, 200 ml
|
||||
|
Liiman pudotusmenetelmä: pudotus keskelle ja skannauspudotus ovat valinnaisia
|
||||
|
Reunanpoistovarsi: 1 sarja
|
||||
|
Reunanpoistosuuttimen halkaisija: 0.2 mm
|
||||
|
Reunojen poiston nestevirtauksen valvonta: float-virtausmittari
|
||||
|
Reunanpoistonesteen virtausalue: 5-50ml/min
|
||||
|
Takaisinhuuhteluputki: 2 tietä (4/6 tuumaa kummassakin 1 kanava)
|
||||
|
Vastahuuhteluvirtauksen valvonta: uimurivirtausmittari
|
||||
|
Vastahuuhtelunesteen virtausalue: 20-200 ml/min
|
||||
|
Lastujen kiinnitysmenetelmä: Pienen alueen tyhjiöadsorptio Chuck
|
||||
|
Tyhjiöpainehälytys: digitaalinen tyhjiöpaineanturi
|
||||
|
Istukan materiaali: PPS
|
||||
|
Kupin materiaali: PP
|
||||
|
Kupin pakokaasun valvonta: digitaalinen paineanturi
|
||||
|
6 |
Kehittyvä yksikkö |
Suljin: kyllä
|
||
|
Määrä: 2 sarjaa (seuraavat kokoonpanot jokaiselle yksikölle)
|
||||
|
Karan pyörimisnopeus: -5000 rpm ~ 5000 rpm
|
kantamassa tyhjäkäyntiä
|
|||
|
Karan pyörimistarkkuus: ± 1 rpm (50 rpm ~ 5000 rpm)
|
||||
|
Karan pyörimisnopeuden minimisäätö: 1 rpm
|
||||
|
Karan pyörimisen maksimikiihtyvyys: 20000 rpm/s
|
kantamassa tyhjäkäyntiä
|
|||
|
Kehitysvarsi: 1 sarja
|
||||
|
Kehitysputki: 2-tie (viuhkamainen/pylvässuutin)
|
||||
|
Kehittäjäsuodatus: 0.2 um
|
||||
|
Kehittäjän lämpötilan säätö: 23 ± 0.5 ℃
|
valinnainen
|
|||
|
Kehiteliuoksen virtausalue: 100-1000ml/min
|
||||
|
Kehittävän varren liiketila: kiinteä piste tai skannaus
|
||||
|
Kiinnitysvarsi: 1 sarja
|
||||
|
Deionisoitu vesiputki: 1 piiri
|
||||
|
Deionisoidun veden suuttimen halkaisija: 4 mm (sisähalkaisija)
|
||||
|
Deionisoidun veden virtausalue: 100-1000 ml/min
|
||||
|
Typen kuivausputki: 1 piiri
|
||||
|
Typpisuuttimen halkaisija: 4mm (sisähalkaisija)
|
||||
|
Typen virtausalue: 5-50L/min
|
||||
|
Kehite, deionisoitu vesi, typen virtauksen valvonta: float virtausmittari
|
||||
|
Takaisinhuuhteluputki: 2 tietä (4/6 tuumaa kummassakin 1 kanava)
|
||||
|
Vastahuuhteluvirtauksen valvonta: uimurivirtausmittari
|
||||
|
Vastahuuhtelunesteen virtausalue: 20-200 ml/min
|
||||
|
Lastujen kiinnitysmenetelmä: Pienen alueen tyhjiöadsorptio Chuck
|
||||
|
Tyhjiöpainehälytys: digitaalinen tyhjiöpaineanturi
|
||||
|
Istukan materiaali: PPS
|
||||
|
Istukan materiaali: PPS
|
||||
|
Kupin materiaali: PP
|
||||
|
Kupin pakokaasun valvonta: digitaalinen paineanturi
|
||||
|
7 |
Tarttuva yksikkö |
Määrä: 2
|
valinnainen
|
|
|
Lämpötila-alue: huoneen lämpötila ~ 180 ℃
|
||||
|
Lämpötilan tasaisuus: Huoneen lämpötila ~120 ℃± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ (Irrota 10 mm reunasta, paitsi ejektorin tapin reikää) |
||||
|
Vähimmäissäätömäärä: 0.1 °C
|
||||
|
Lämpötilan säätömenetelmä: PID-säätö
|
||||
|
PIN-korkeusalue: 0-20 mm
|
||||
|
PIN-materiaali: runko SUS304, PIN-nastan kansi PI
|
||||
|
Leivontarako: 0.2 mm
|
||||
|
Ylilämpötilahälytys: positiivinen ja negatiivinen poikkeamahälytys
|
||||
|
Annostelumenetelmä: kupliva, 10 ± 2 ml/min
|
||||
|
Kammion toimintatyhjiö: -5-20 KPa
|
||||
|
8 |
Keittolevyyksikkö |
Määrä: 10
|
||
|
Lämpötila-alue: huoneen lämpötila ~ 250 ℃
|
||||
|
Lämpötilan tasaisuus: Huoneen lämpötila ~120 ℃± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ 180.1 ℃ ~ 250 ℃ ± 2.0 ℃ (Irrota 10 mm reunasta, paitsi ejektorin tapin reikää) |
||||
|
Vähimmäissäätömäärä: 0.1 ℃
|
||||
|
Lämpötilan säätömenetelmä: PID-säätö
|
||||
|
PIN-korkeusalue: 0-20 mm
|
||||
|
PIN-materiaali: runko SUS304, PIN-nastan kansi PI
|
||||
|
Leivontarako: 0.2 mm
|
||||
|
Ylilämpötilahälytys: positiivinen ja negatiivinen poikkeamahälytys
|
||||
|
9 |
Kylmälevyyksikkö
|
Määrä: 2
|
||
|
Lämpötila-alue: 15-25 ℃
|
||||
|
Jäähdytysmenetelmä: vakiolämpötilainen kiertovesipumpun jäähdytys
|
||||
|
10 |
Kemikaalien tarjonta |
Fotoresist-varasto: pneumaattinen liimapumppu * 4 sarjaa (valinnainen säiliö tai sähköinen liimapumppu)
|
||
|
Liiman annostelumäärä: enintään 12 ml per istunto, tarkkuus ± 0.2 ml
|
||||
|
Reunojen poisto/selkäpesu/RRC-syöttö: 18L painesäiliö * 2 (automaattinen täyttö)
|
||||
|
Reunojen poisto/selkäpesu/RRC nestetason valvonta: valosähköinen anturi
|
||||
|
Fotoresist nestetason valvonta: valosähköinen anturi
|
||||
|
Tasaisen liiman jätenesteen poisto: 10 litran jätenestesäiliö
|
||||
|
Kehittäjän tarjonta: 18L painesäiliö * 4 (Säilytetty kemian kaapissa koneen ulkopuolella)
|
||||
|
Deionisoitu vesi: suora syöttö tehtaalta
|
||||
|
Kehittyvä nestetason valvonta: valosähköinen anturi
|
||||
|
Kehittäjän jätteiden poisto: tehdasjätteen poisto
|
||||
|
Tarttuvan aineen toimitus: 10 litran painesäiliö * 1, 2 litran painesäiliö * 1
|
||||
|
Tarttujan tason valvonta: valosähköinen anturi
|
||||
|
11 |
ohjausjärjestelmä |
Ohjausmenetelmä: PLC
|
||
|
Ihmisen koneen käyttöliittymä: 17 tuuman kosketusnäyttö
|
||||
|
UPS (Uninterruptible Power Supply): Kyllä
|
||||
|
Aseta salausoikeudet laitekäyttäjille, teknikoille ja järjestelmänvalvojille
|
||||
|
Signaalitornityyppi: punainen, keltainen, vihreä 3 väriä
|
||||
|
12 |
Järjestelmän luotettavuusindikaattorit
|
Käyttöaika: ≥ 95 %
|
||
|
MTBF: ≥ 500h
|
||||
|
MTTR: ≤ 4 tuntia
|
||||
|
MTBA: ≥24h
|
||||
|
Sirpaloitumisnopeus: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Muita toimintoja
|
Keltainen valo: 4 sarjaa (sijainti: liiman sekoitus- ja kehitysyksikön yläpuolella)
|
||
|
THC: Kyllä, 22.5 ℃ ± 0.5 ℃, 45 % ± 2 %
|
valinnainen
|
|||
|
FFU: Luokka 100, 5 sarjaa (prosessiyksikkö ja ROBOTTIalue)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
EI
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
