|
projekti
|
Mitat
|
huomautukset
|
||
|
1 |
Laitteen yleiskatsaus |
Laitteen nimi: Täysin automaattinen tasainen liima-kehitysmakone
|
||
|
Laitteen malli: MD-2C2D6
|
||||
|
Prosessoitavien waferien määräys: yhteensopiva 4/6-tuumaisen standardiwaferin kanssa
|
||||
|
Tasainen liimamenetelmän prosessivirta: Koripalat → keskittäminen → tasainen liima (pudotus → tasainen liima → reunan poisto, takapuoli
pesu) → lämpöplaatit → kylmät plaatit → korin asettelu Kehitysprosessivirta: Koripalat → keskittäminen → kehitys (kehitysratkaisu → deioniisoitu vesi, takapesu → nitrogeenikuu) → lämpöplaatit → kylmät plaatit → korin asettelu |
||||
|
Yleinen koko (noin): 2100mm (L) * 1800mm (S) * 2100mm (K)
|
||||
|
Kemikaalilastin koko (noin): 1700(L) * 800(S) * 1600mm (K)
|
||||
|
Kokonaispaino (noin): 1000kg
|
||||
|
Työpöytäkorkeus: 1020 ± 50mm
|
||||
|
2 |
Kassettiyksikkö
|
Määrä: 2
|
||
|
Yhteensopiva koko: 4/6 tuumaa
|
||||
|
Kassettitunnistus: mikrokytkentä tunnistus
|
||||
|
Vedostunnistus: Kyllä, heijastusanturi
|
||||
|
3 |
robotti |
Määrä: 1
|
||
|
Tyyppi: Kaksikarvinen vakuumihiushissirobotti
|
||||
|
Vapausaste: 4-akselinen (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Sormusten materiaali: keramiikka
|
||||
|
Substraatti kiinnitysmenetelmä: vakuumiadsorptio-menetelmä
|
||||
|
Karttausfunktio: Kyllä
|
||||
|
Sijoitusnaukkuus: ± 0,1mm
|
||||
|
4 |
Keskitysyksikkö
|
Määrä: 1 setti
|
Valinnainen optinen tasaus
|
|
|
Tasausmenetelmä: mekaaninen tasaus
|
||||
|
Keskitystarkkuus: ± 0,2mm
|
||||
|
5 |
Tasainen liimausyksikkö |
Määrä: 2 kappaletta (alla olevat ovat jokaisen yksikön konfiguraatiot)
|
||
|
Moottorin pyörähtämisnopeus: -5000rpm~5000rpm
|
kantajaaukko
|
|||
|
Pyörähtämistarkkuus: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Pienin pyörähtävän akselin nopeuden säätö: 1rpm
|
||||
|
Suurin pyörähtävän akselin kiihtyvyys: 20000rpm/s
|
kantajaaukko
|
|||
|
Pisaratynkä: 1 joukko
|
||||
|
Valokuvausputken reitti: 2 reittiä
|
||||
|
Valokuvausputken suuntauhiste: 2.5mm
|
||||
|
Valokuvauspuolen eristys: 23 ± 0.5 ℃
|
valinnainen
|
|||
|
Kasteputki: Kyllä
|
||||
|
RRC: Kyllä
|
||||
|
Virtausmuisti: Kyllä, 200ml
|
||||
|
Liimantuontimenetelmä: keskusten ja skannauksen pohjautuva pudotus ovat valinnaisia
|
||||
|
Reunanpoistohermo: 1 joukko
|
||||
|
Reunanpoiston suuntauhisteen halkaisija: 0,2mm
|
||||
|
Reunanpoistovirtaumien seuranta: liukulippu-virtamittari
|
||||
|
Reunanpoistovirtaumien virtausalue: 5-50ml/min
|
||||
|
Takavirtaputki: 2 tapaa (4/6 tuumaa jokaisella yhdellä kanavalla)
|
||||
|
Takavirtavirtaumien seuranta: liukulippu-virtamittari
|
||||
|
Takavirta-aineen virtausalue: 20-200ml/min
|
||||
|
Pisara kiinteämetodi: pieni aluevirtavesijärjestelmä
|
||||
|
Tyhjän painevaroitus: digitaalinen tyhjän paineanturi
|
||||
|
Pistokkeen materiaali: PPS
|
||||
|
Kupin materiaali: PP
|
||||
|
Kupin purkauksen valvonta: digitaalinen paineanturi
|
||||
|
6 |
Keittäväyksikkö |
Sulku:kyllä
|
||
|
Määrä: 2 kappaletta (alla olevat ovat jokaisen yksikön konfiguraatiot)
|
||||
|
Moottorin pyörähtämisnopeus: -5000rpm~5000rpm
|
kantajaaukko
|
|||
|
Pyörähtämistarkkuus: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Pienin pyörähtävän akselin nopeuden säätö: 1rpm
|
||||
|
Suurin pyörähtävän akselin kiihtyvyys: 20000rpm/s
|
kantajaaukko
|
|||
|
Keittäväkynsi: 1 joukko
|
||||
|
Keittäväputki: 2-tiheinen (venttiilimainen/sarakkainos)
|
||||
|
Keittäjän suodatus: 0,2um
|
||||
|
Keittäjän lämpötilaohjaus: 23 ± 0,5 ℃
|
valinnainen
|
|||
|
Kehittämislaitteen virtausalue: 100~1000ml/min
|
||||
|
Kehittämisarmeijan liiketoimi: kiinteä piste tai skannaus
|
||||
|
Kuumennusarmeija: 1 joukko
|
||||
|
Desioitunut vesi putki: 1 piiri
|
||||
|
Desioitunut vesi suihkodiameteri: 4mm (sisädiameteri)
|
||||
|
Desioitunut vesi virtausalue: 100~1000ml/min
|
||||
|
Happi kuivattavaputki: 1 piiri
|
||||
|
Happi suihkodiameteri: 4mm (sisädiameteri)
|
||||
|
Happi virtausalue: 5-50L/min
|
||||
|
Kehittäjä, desioitunut vesi, happi virtausten valvonta: liukuvirtamittari
|
||||
|
Takavirtaputki: 2 tapaa (4/6 tuumaa jokaisella yhdellä kanavalla)
|
||||
|
Takavirtavirtaumien seuranta: liukulippu-virtamittari
|
||||
|
Takavirta-aineen virtausalue: 20-200ml/min
|
||||
|
Pisara kiinteämetodi: pieni aluevirtavesijärjestelmä
|
||||
|
Tyhjän painevaroitus: digitaalinen tyhjän paineanturi
|
||||
|
Pistokkeen materiaali: PPS
|
||||
|
Pistokkeen materiaali: PPS
|
||||
|
Kupin materiaali: PP
|
||||
|
Kupin purkauksen valvonta: digitaalinen paineanturi
|
||||
|
7 |
Liimittelyyksikkö |
Määrä: 2
|
valinnainen
|
|
|
Lämpötilaväli: huoneen lämpötila~180 ℃
|
||||
|
Lämpötilan tasaisuus: Huoneen lämpötila~120 ℃± 0,75 ℃
120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (Poista 10mm reunasta, poislukien ajopinon reikä) |
||||
|
Pienin säätöarvo: 0,1 ° C
|
||||
|
Lämpötilan ohjaustapa: PID-säätö
|
||||
|
PIN korkeusväli: 0-20mm
|
||||
|
PIN materiaali: runko SUS304, PIN pin kypärä PI
|
||||
|
Paistiväli: 0,2mm
|
||||
|
Liian korkea lämpötila-alaritmi: positiivinen ja negatiivinen poikkeusvaroitus
|
||||
|
Toimitustapa: Kuiskailu, 10 ± 2ml/min
|
||||
|
Huoneen toiminta tyhjennys: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
Lämpöpulttiosuus |
Määrä: 10
|
||
|
Lämpötilavälillä: huonetemperaturen~250 ℃
|
||||
|
Lämpötilan tasaisuus: Huoneen lämpötila~120 ℃± 0,75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Poista 10mm reunasta, poislukien ajopinon reikä) |
||||
|
Pienin säätöarvo: 0.1 ℃
|
||||
|
Lämpötilan ohjaustapa: PID-säätö
|
||||
|
PIN korkeusväli: 0-20mm
|
||||
|
PIN materiaali: runko SUS304, PIN pin kypärä PI
|
||||
|
Paistiväli: 0,2mm
|
||||
|
Liian korkea lämpötila-alaritmi: positiivinen ja negatiivinen poikkeusvaroitus
|
||||
|
9 |
Kylmäpulttiosuus
|
Määrä: 2
|
||
|
Lämpötilaväli: 15-25 ℃
|
||||
|
Jäähdytysmetodi: vakion lämpötilan kierrösuoja jäähdytys
|
||||
|
10 |
Kemikaalitilanne |
Photoresistin varasto: pneumaattinen liimauspumpu * 4 kappaletta (Valinnainen tankki tai sähköinen liimauspumpu)
|
||
|
Liimankäyttö: enintään 12ml kerralla, tarkkuus ± 0.2ml
|
||||
|
Reunoiden poisto / takajohdanto / RRC tarjoilu: 18L painetankki * 2 (automaattinen täydennys)
|
||||
|
Reunoiden poiston / takajohdannon / RRC vedenpinnan valvonta: fotoelektrinen aines
|
||||
|
Photoresistin vedenpinnan valvonta: fotoelektrinen aines
|
||||
|
Yhtenäisen liiman jätteen vetesulatus: 10L jätteetankki
|
||||
|
Kehittäjän tarjoilu: 18L painetankki * 4 (Säilytetään koneen ulkopuolella olevassa kemikaalilaatikossa)
|
||||
|
Deioniisoitu vesitarjoilu: tehdas suoraan tarjoilee
|
||||
|
Vedenvuorovaikutuksen kehittäminen: fotoelektrinen aistin
|
||||
|
Kehittäjän jätteen hävittäminen: tehtaan jätteen hävittäminen
|
||||
|
Liimattajien toimitus: 10L painepullo * 1, 2L painepullo * 1
|
||||
|
Liimattajien taso-ohjaus: fotoelektrinen aistin
|
||||
|
11 |
ohjausjärjestelmä |
Ohjaustapa: PLC
|
||
|
Henkilökone-toimintaliittymä: 17 tuumainen kosketusnäyttö
|
||||
|
Jatkuvuuspito (UPS): Kyllä
|
||||
|
Aseta salaussallit laitteiston käyttäjille, teknikkoille, ylläpitäjille
|
||||
|
Signaalitornin tyyppi: punainen, keltainen, vihreä 3 väriä
|
||||
|
12 |
Järjestelmän luotettavuusindeksit
|
Käyttöaika: ≥95%
|
||
|
Keskimääräinen toimintavälivuorokausi (MTBF): ≥ 500h
|
||||
|
Keskimääräinen korjauseka (MTTR): ≤ 4h
|
||||
|
MTBA: ≥24h
|
||||
|
Fragmentaatioluokka: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Muita toimintoja
|
Keltainen valo: 4 kappaletta (paikka: liima-sekoittimen ja kehitysmenetelmän yläpuolella)
|
||
|
THC: Kyllä, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
valinnainen
|
|||
|
FFU: Luokka 100, 5 kappaletta (prosessiyksikkö ja ROBOT-alue)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
