MDPS-560 Pyriform-kaksoiskameralisputterijärjestelmä / Semanttisten teollisuuslaitteisto , China MDPS-560 Pyriform-kaksoiskameralisputterijärjestelmä / Semanttisten teollisuuslaitteisto Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaus

MDPS-560 Pyriform Kaksikameralinen Sputtering Järjestelmä

Käytetään valmistamaan yksiluokaisia/talviuloisia toimintananoskeita, mukaan lukien erilaiset kovat, metalliset, semikonduktoriset ja dielektriset elokuvat yliopistojen ja tieteellisten instituutioiden käyttöön.

Sputterointi-ilmakehä, magnetron-sputterointikohde, vesi-kylmäytetty substratti-kuumaaminen pyörättyneessä pöydällä, näyte-injektioilmakehä, näyte-ilmakehä, annealoija, takavirtakohde, magneettinen näyte-lähetyksen mekanismi, kaasu-rata, pompausjärjestelmä, ilmakehän mittaussysteemi, sähköinen ohjausjärjestelmä ja kiinnityspankki.

MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Semiconductor industry equipment manufacture

MITTATIETOE

TYYPPİ			MDPS-560 II
Pää-Sputterointi-ilmakehä			pyörremuotoinen ilmakehä, koko:Φ560×350mm
Näyte-Injektio-ilmakehä			sylinterimainen ja vaakasuuntainen tyyppi, koko: Φ250mm×420mm
Pumppausjärjestelmä			riippumaton yhdistetty molekyylipumpujoukko ja mekaaninen pumpujoukko pää-sputterointi-ilmakehälle ja näyte-injektio-ilmakehälle.
Loppu-ilmanpainetta	Pää-Sputterointi-ilmakehä	≤6,67×10-6Pa (bakteerimisen ja kaasujen vapauttamisen jälkeen)
Loppu-ilmanpainetta		Näyte-Injektio-ilmakehä	≤6,67×10-4Pa (bakteerimisen ja kaasujen vapauttamisen jälkeen)
Havaintojen palauttaminen tyhjiössä	Pää-Sputterointi-ilmakehä	6,6×10-4Pa 40 min jälkeen (pumppausta lyhyen ilmavuoron jälkeen ja kuivalla nitrogenilla täytetty)
Havaintojen palauttaminen tyhjiössä		Näyte-Injektio-ilmakehä	6,6×10-3Pa 40 min jälkeen (pumppausta lyhyen ilmavuorton jälkeen ja kuivalla nitrogenilla täytetty)
Magnetron-kohde-moduli			5 pysyvää magneettikohdetta; koonΦ60mm (yksi kohteista voi siipittää ferromagneettista aineetta). Kaikki kohteet voivat RF-siipittää. ja DC-siipittäminen yhteensopiva; sekä etäisyys kohteesta näyteeseen on säätökykyinen 40mm:sta 80mm:een.
Vesi-hymytyksen perustekstiili	Peruslaudan rakenteisto	Kuusi asetusta, lämpötilapatsas asennettu yhteen asetukseen, ja muut ovat vesihymytyksen perusasentoja.
		Koko	Φ30mm, kuusi kappaletta.
		Liikuntatapa	0-360°, vaihteleva.
		Lämpötila	Maksimi lämpötila 600℃±1℃
		Substraatti negatiivinen vire	-200V
Kaasun sähköjärjestelmä			Kahden suuntaisen massa virtaohjain (MFC)
Näyte-Injektio-ilmakehä	Näytehuone	Kuusi yksinkertaista kertaa
		Annealer	Maksimi lämmityslämpötila 800℃±1℃
		Uudelleenpistokohde-moduuli	Uudelleenpistokorjaus
Magneettinäyte Lähetyssysteemi			Käytetään näytteiden siirtämiseen pistotoimitila ja näyteinjectiotoimitila välillä.
Tietokonehallintajärjestelmä			Näytekierto, savuputken avaaminen ja sulkeminen sekä kohdeasennon hallinta
Lattia-ala	Pääjoukko	2600×900mm2
Lattia-ala		Sähkökotelo	700×700mm2 (kaksi joukkoa)

Pakkaus & Toimitus

MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Semiconductor industry equipment factory

Yrityksen profiili

Meillä on 16 vuotta kokemusta laitteiden myynnistä. Voimme tarjota sinulle yhdenmukaisen ratkaisun semioperaattorien edustajan ja jälkeenpäin pakkauslinjan laitteista Kiinasta.