1. Esitystyyppi: yhdenpuolinen.
2. Esitysalue: 110×110mm.
3. Epäsäännöllinen esitysvalaistus: ≤±3%.
4. Esitysintensiiteetti: 0-30mw/cm2 muutettavissa.
5. UV-säteen kulma: ≤3°.
6. Ultraviolettisäteen keskusaalto: 365nm.
7. UV-valosuomennimen elinajan: ≥500 tuntia.
8. Sähköisen suljetuksen käyttöönotto.
9. Esityspuraus: 1 μm;
10.Mikroskoopin skannausalue:X:±15mm Y:±15mm;
11.Suunnittelujärjestelmän alue:X,Y säätö ±4mm;Q-suuntaiset säädökset ±3°;
12.Merkitsemisen tarkkuus: 1 μ. Käyttäjän "versio" ja "kansi" täytyy noudattaa kansallisia säännöksiä,
ja ympäristö, lämpötila, ilmankosteus ja pyräjät voidaan tiukasti valvoa. Tuodaan positiivinen fotosensitiivinen aine, ja fotosensitiivisen aineen tasaisuuden paksuus voidaan tiukasti valvoa. Lisäksi edelliset ja myöhemmät prosessit ovat edistyksellisiä;
13.Jaon määrä; 0~50 μm säätömahdollisuus;
14.Astuksen menetelmä: lähiasetuksen avulla voidaan saavuttaa kova kontakti, pehmeä kontakti ja mikrovoimakontakti; 15.Neliön löytämismenetelmä: ilma