Tämä laite on tarkkuuslitografiakone, jonka yrityksemme on kehittänyt erityisesti eri korkeakoulujen ja tutkimuslaitosten litografiakoneiden käyttöominaisuuksia varten. Sitä käytetään pääasiassa pienten ja keskisuurten integroitujen piirien, puolijohdekomponenttien, optoelektronisten laitteiden, ja akustiset pinta-aaltolaitteet. Laitteen alkuperäisten pääteknisten tunnuslukujen säilyttämisen edellytyksenä on, että olemme optimoineet osan laitteiden rakenteista ja komponenteista, vähentäneet tarpeettomia mekaanisia toimenpiteitä ja varmistaneet, että laitteiden vikakohdat minimoidaan mahdollisimman paljon ja toiminta Laitteisto on myös erittäin vakaa ja luotettava.
määrittely
Tärkeimmät tekniset parametrit
1.Valotustyyppi: yksipuolinen. 2. Valotusalue: 110 × 110 mm. 3.Epätasainen valotus: ≤±3%. 4.Altistuksen intensiteetti: 0-30mw/cm2 säädettävissä. 5.UV-säteen kulma: ≤3°. 6. Ultraviolettivalon keskusaallonpituus: 365 nm. 7.UV-valolähteen käyttöikä: ≥500 tuntia. 8. Elektronisen sulkimen ottaminen käyttöön. 9. Valotusresoluutio: 1 μm; 10. Mikroskooppinen skannausalue: X: ± 15 mm Y: ± 15 mm; 11. Kohdistusalue:X,Y-säätö±4mm;Q-suunnan säätö±3°; 12. Kaiverrustarkkuus: 1 μ Käyttäjän "version" ja "sirun" tarkkuuden on oltava kansallisten määräysten mukainen, ja ympäristöä, lämpötilaa, kosteutta ja pölyä voidaan valvoa tiukasti. Tuotua positiivista fotoresistiä käytetään, ja yhtenäisen fotoresistin paksuus voi ollae tiukasti valvottu. Lisäksi etu- ja takaprosessit ovat kehittyneitä; 13. Erotusmäärä; 0 ~ 50 μm säädettävissä; 14. Altistusmenetelmä: läheinen altistuminen, joka voi saavuttaa kovan kosketuksen, pehmeän kosketuksen ja mikrovoimakosketusaltistuksen; 15. Neliön etsintäkaava: ilma
Pakkaus ja toimitus
Yrityksen profiili
Meillä on 16 vuoden kokemus laitemyynnistä. Voimme tarjota sinulle One-stop Semiconductor Front-end- ja Back end Package Line -laitteiden ammattimaisen ratkaisun Kiinasta.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
EI
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
