1. Kaltiotyyppi: yksipuolinen kaltio
2. Kaltiosyöte: 110X110mm;
3. Kaltiosäännöllisyys: ≥ 97%;
4. Kaltiointensiteetti: 0-30mw/cm2 säätävä;
5. UV-säteen kulma: ≤ 3 °
6. Ultraviolettisäteen keskikappale: 365nm;
7. UV-valonlähdeelämän kesto: ≥ 20000 tuntia;(2 vuoden takuu)
8. Sähköisen suljetimen käyttö;
9. Kaltioresoluutio: 1 μ M
10. Kameran näkemisalue: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Tasausalue: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Tasausnaukkuus: 1um (hyvissä ympäristöolosuhteissa).
13. Erotusvälimatka-alue: 0-50um muokattavissa.
14. Kalttiusmenetelmä: kontaktikalttius.(kova/pehmeä/mikrokosketus)
15. Tasapainomenetelmä: Ilmakehäpilkku.
16. Mikroskooppijärjestelmä: kaksikenttäinen CCD-järjestelmä, objektiivilinssi 1.6X~10X, tietokonekuvankäsittelyjärjestelmä, 19" LCD-näyttö; Kokonaislähentyvyys 91-570x. Objektiivin etäisyys: 50-120mm.
17. Maskin koko: 127*127mm;102*102mm
18. Pohjan koko: Φ102mm;Φ76mm
19. Pohjan paksuus: ≤1mm
20. Kalttiaika: 0-999.9 sekuntia muokattavissa.
21.Teho: 220V 50Hz 1,5kw.
22.Ilmankieli? 0,4Mpa
23.vakuumiaste: -0.07MPa~-0.09Mpa