MDXN-25X korkean tarkkuuden yksipuolinen litografiakone, Kiina MDXN-25X korkean tarkkuuden yksipuolinen litografiakoneen valmistajat, toimittajat, tehdas

Tuotteen Kuvaus

Tämä laite on tarkkuuslitografiakone, jonka yrityksemme on kehittänyt erityisesti eri korkeakoulujen ja tutkimuslaitosten litografiakoneiden käyttöominaisuuksia varten. Sitä käytetään pääasiassa pienten ja keskisuurten integroitujen piirien, puolijohdekomponenttien, optoelektronisten laitteiden ja pinta-akustisten aaltolaitteiden kehittämiseen ja tuotantoon.

MDXN-25X korkean tarkkuuden yksipuolisen litografiakoneen tehdas

määrittely

Tärkeimmät tekniset parametrit

1. Laite voi imuroida 5 "X5" neliömäisen maskin ilman erityisiä vaatimuksia levyn paksuudelle (vaihtelee 1-3 mm).
2. Laitetta voidaan levittää ф 100 mm pyöreälle alustalle;
3. Alustan paksuus ≤ 5 mm;
4. Valaistus:
Valonlähde: GCQ350Z ultrakorkeapaineinen elohopea tasavirtaelohopealamppu käytetään.
Valaistusalue: ≤ ф 117mm Valotusalue: ф 100mm
stay ф 100 mm:n alueella valotuksen epätasaisuus on ≤ ± 3 % ja valotuksen intensiteetti > 6mw/cm2 (tämä indikaattori mitataan UV-valonlähteellä I-line 365nm).
5. Tämä laite ottaa käyttöön tuodun aikareleen pneumaattisen sulkimen ohjaamiseksi, mikä varmistaa tarkan ja luotettavan toiminnan.
6. Tämä kone on kosketusaltistuskone, joka voi saavuttaa:
7. Altistuminen kovalle kosketukselle: Käytä putkityhjiötä korkean alipainekontaktin saamiseksi, tyhjiö ≤ -0.05 MPa
8. Pehmeä kosketusaltistus: Kosketuspaine voi nostaa tyhjiön välille -0.02 MPa ja -0.05 MPa.
9. Mikrokontaktialtistus: vähemmän kuin pehmeä kosketus, tyhjiö ≥ -0.02 MPa.
10. Altistumisresoluutio: Tämän laitteen kovalle kosketukselle altistumisen tarkkuus voi olla 1 μ yli m (käyttäjän "levyn" ja "sirun" tarkkuuden on oltava kansallisten määräysten mukainen, ja ympäristö, lämpötila, kosteus ja pöly voivat Tuotua positiivista fotoresistiä käytetään tiukasti, ja yhtenäisen fotoresistin paksuutta voidaan valvoa tarkasti.
11. Kohdistus: Havaintojärjestelmä koostuu kahdesta CCD-kamerasta, jotka on asennettu kahteen yksiputkimikroskooppiin ja yhdistetty näyttöruutuun videokaapelilla.

Pakkaus ja toimitus

MDXN-25X korkean tarkkuuden yksipuolisen litografiakoneen toimittaja

MDXN-25X korkean tarkkuuden yksipuolinen litografiakoneen yksityiskohdat

Yrityksen profiili

Meillä on 16 vuoden kokemus laitemyynnistä. Voimme tarjota sinulle One-stop Semiconductor Front-end- ja Back end Package Line -laitteiden ammattimaisen ratkaisun Kiinasta.