MDXN-25X Korkean Tarkkuuden Yksipuolinen Lithografiakone , China MDXN-25X Korkean Tarkkuuden Yksipuolinen Lithografiakone Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaus

Tämä laite on tarkkuuslithografiakone, jonka kehittivät yrityksemme erityisesti erilaisten korkeakoulujen ja tutkimuslaitosten lithografiakoneiden käyttöpiirteitä varten. Se käytetään pääasiassa small and medium-sized integrointiyksiköiden, semikonduktorikomponenttien, optoelektronisten laitteiden ja pinnan akustisen aallolaisen laitteen kehittämiseen ja tuotantoon.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

MITTATIETOE

Tärkeimmät tekniset parametrit

1. Laite voi vedellä hampurilaisesti kiinnittää 5 "X5" neliön peite, ilman erityisiä vaatimuksia pöydän paksuudesta (välillä 1-3 mm).
2. Laite voidaan käyttää ф 100 mm suureen pyöreän alusteen kanssa;
3. Alusten paksuus ≤ 5 mm;
4. Valaistus:
Valoaineisto: Käytetään GCQ350Z ultra-korkean paineen merkuryyleikkien suoraa virtaa sisältävää merkuryylamppua.
Valaistusalue: ≤ ф 117 mm Kaltioalue: ф 100 mm
tila ф Sisällä 100 mm, kaltion epäsäännöllisyys on ≤ ± 3 %, ja kaltion intensiteetti on > 6 mw/cm² (tämä mittari mitataan käyttämällä UV-valon lähde I-riviä 365 nm).
5. Tämä laite käyttää tuonti aikarelayta ohjatakseen pneumaattista suljettua ikkunaa, varmistaakseen tarkat ja luotettavat toiminnot.
6. Tämä kone on kontaktikaltio kone, joka voi saavuttaa:
7. Kiinteä kontaktikaltio: Käytä putkien vedestä saadaksesi korkean vedestä, vedestä ≤ -0.05 MPa
8. Peukaloiden lieveä altistus: Joskus peukalojen paine voi nostaa tyhjiössä arvon -0,02MPa ja -0,05MPa välille.
9. Mikroaltistuksen lieveä: Lievempi kuin peukaloiden lieveä altistus, tyhjiö ≥ -0,02MPa.
10. Altistuksen resoluutio: Tämän laitteen kovien peukkojen altistuksen resoluutio voi saavuttaa 1 μm:n yläpuolella (käyttäjän "levy" ja "kuti" täytyy noudattaa kansallisia sääntöjä, ja ympäristö, lämpötila, ilmankosteus ja hienopartikkelit voidaan tiukasti kontrolloida. Tuotetulla positiivisella valokuviolla, ja valokuvioiden paksuuden tasaisyyden voidaan tiukasti kontrolloida. Lisäksi edelliset ja myötävaikuttavat prosessit ovat edistyksellisiä).
11. Keskitys: Havaintojärjestelmä koostuu kahdesta CCD-kamerasta, jotka on asennettu kahden yksittäisen putken mikroskoopin päälle ja joita on kytketty näytölle videokabelilla.

Pakkaus & Toimitus

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Yrityksen profiili

Meillä on 16 vuotta kokemusta laitteiden myynnistä. Voimme tarjota sinulle yhdenmukaisen ratkaisun semioperaattorien edustajan ja jälkeenpäin pakkauslinjan laitteista Kiinasta.