1. Tarvittava energia laitteelle: Pääasemaan liittyvä virtalähde: 220V, 50HZ, energiankulutus ≤1.5KW;
2. Varustettu vakuumipumppuilla, joilla on virtalähde 220V;
3. Koko ja paino: Koko: 1200 (pituus) × 720 (leveys) × 1500 (korkeus). Paino ≤170kg;
4. Aseta koneen keho erilliselle työpöydälle;
5. Syöttötapa: kontaktityyppinen, levyjärjestely, kaksiosainen syöttö;
6. Syöttöalue: φ100mm;
7. Epäsäännöllinen syöttö: ≤±3%;
8. Syöttöintensiiteetti: ≥5mw/cm2;
9. Esityskokonaisuus: 2μm;
10. Esitystila: Kaksipuolinen yhtäaikainen esitys;
11. Tasausalue: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Kaivousnaukkuus: 2μm;
13. Kiertoalue: Q-suuntaisen kiertotarkennuksen säätö ≤±5°;
14. Mikroskooppijärjestelmä: kaksinkertainen näköalueen CCD-järjestelmä, objektiivi 1.6X~10X, tietokoneen kuva-kuvaesikäsittelyjärjestelmä, 19"LCD-näyttö;
15. Peilien koko: Kykenee vakuumaadsorpitioon