1. Laitteiston tarvittava energia: Mainframe-virtalähde: 220V, 50HZ, virrankulutus ≤1.5KW;
2. Varustettu tyhjiöpumpulla, jonka virtalähde on 220 V;
3. Koko ja paino: Koko: 1200 (pituus) × 720 (leveys) × 1500 (korkea). Paino ≤170kg;
4.Aseta koneen runko sille varatulle työpöydälle;
5. Valotustyyppi: kosketintyyppi, levyn kohdistus, kaksipuolinen valotus;
6.Valotusalue:φ100mm;
7.Epätasainen altistus: ≤±3 %;
8.Altistuksen intensiteetti: ≥5mw/cm2;
9.Valotusresoluutio: 2μm;
10.Exposure mode: Kaksipuolinen samanaikainen valotus;
11. Kohdistusalue: X: ±5 mm Y: ±5 mm;
12. Kaiverrustarkkuus: 2μm;
13.Kiertoalue: Q-suunnan kiertosäätö≤±5°;
14. Mikroskooppinen järjestelmä: kahden näkökentän CCD-järjestelmä, objektiivilinssi 1.6X ~ 10X, tietokoneen kuvankäsittelyjärjestelmä, 19" LCD-näyttö;
15.Maskin koko: Pystyy alipaineadsorptioon