1. Kuvatyypit: yhteyden kautta, levyjärjestely, kaksoiskuvaus yhdellä puolella
2. Kaltiosyöte: 110X110mm;
3. Kaltiosäännöllisyys: ≥ 97%;
4. Kaltiointensiteetti: 0-30mw/cm2 säätävä;
5. UV-säteen kulma: ≤ 3 °
6. Ultraviolettisäteen keskikappale: 365nm;
7. UV-valon lähteiden elinajan: ≥ 20000 tuntia;
8. Työpinnan lämpötila: ≤ 30 ℃
9. Sähköinen sulkulaitteisto käytössä;
10. Eksposuuriresoluutio: 1 μ M (eksposuuri syvyys on noin 10 kertaa viivan leveys)
11. Eksposuuritila: Kaksipuolinen yhtäaikainen eksposuuri
12. Tasausalue: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Levyn tasausnaukkuus: 2 μ m
14. Kiertotaso: Q-suuntaisen kierron säätö ≤ ± 5 °
15. Mikroskooppijärjestelmä: kaksikenttäinen CCD-järjestelmä, objektiivilinssi 1.6X~10X, tietokoneen kuva-kaeskelu-järjestelmä, 19 "LCD-näyttö; Kokonaiskasvatusaste 91-570x
16. Maskin koko: Kykenee suorittamaan 5 "neliön maskien vakuumitasauksen, ilman erityisiä vaatimuksia maskin paksuudesta (rakenteeltaan 1–3 mm).
17. Pohjan koko: Sopiva 4 "pohjille, pohjan paksuus vaihtelee välillä 0,1–2 mm.
18. Kun tilaat, ei ole erityisiä vaatimuksia, ja 5" X5 hylly on standardi; voit mukauttaa hyllyitä alle 5" X5: