Näitä laitteita käytetään pääasiassa pienten ja keskikokoisten integroitujen piirien, puolijohdekomponenttien ja pinta-akustisten aaltolaitteiden kehittämiseen ja tuotantoon. Edistyneen tasoitusmekanismin ja alhaisen tasoitusvoiman ansiosta tämä kone ei sovellu vain erityyppisten alustojen valotukseen, vaan myös helposti pirstoutuvien alustojen, kuten kaliumarsenidin ja fosfaattiteräksen, valotukseen sekä ei- pyöreät ja pienet alustat.
määrittely
Tärkeimmät tekniset parametrit
1. Valotustyyppi: kosketintyyppi, levyn kohdistus, kaksipuolinen yksivalotus 2. Altistusalue: 110X110mm; 3. Altistuksen tasaisuus: ≥ 97 %; 4. Altistuksen intensiteetti: 0-30mw/cm2 säädettävissä; 5. UV-säteen kulma: ≤ 3 ° 6. Ultraviolettivalon keskusaallonpituus: 365 nm; 7. UV-valolähteen käyttöikä: ≥ 20000 tuntia;; 8. Työpinnan lämpötila: ≤ 30 ℃ 9. Elektronisen sulkimen ottaminen käyttöön; 10. Valotusresoluutio: 1 μM (valotussyvyys on noin 10 kertaa viivan leveys) 11. Valotustila: Kaksipuolinen samanaikainen valotus 12. Kohdistusalue: x: ± 5 mm Y: ± 5 mm 13. Levyn kohdistustarkkuus: 2 μm 14. Pyörimisalue: Q-suunnan kiertosäätö ≤ ± 5 ° 15. Mikroskooppinen järjestelmä: kahden näkökentän CCD-järjestelmä, objektiivi 1.6X ~ 10X, tietokoneen kuvankäsittelyjärjestelmä, 19" LCD-näyttö; kokonaissuurennus 91-570x 16. Maskin koko: Pystyy imemään tyhjiössä 5" neliömäisiä naamioita ilman erityisiä vaatimuksia maskin paksuudelle (vaihtelee 1-3 mm). 17. Alustan koko: Soveltuu 4" substraateille, joiden alustan paksuus on 0.1-2 mm. 18. Tilauksen yhteydessä ei ole erityisvaatimuksia, ja 5 "X5 hylly on vakiona; voit muokata alle 5" X5 hyllyjä:
Pakkaus ja toimitus
Yrityksen profiili
Meillä on 16 vuoden kokemus laitemyynnistä. Voimme tarjota sinulle One-stop Semiconductor Front-end- ja Back end Package Line -laitteiden ammattimaisen ratkaisun Kiinasta.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
EI
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
