MDAM-CMP100/150 tarkka maalari- ja polttokone, jossa pääyksikkö ja kaikki varasto-osat on valmistettu erittäin korrosiorkestoisista materiaaleista. Koko kone on korrosiorkestoinen, vakionen, kuljetuskykyinen ja rosteeton, mikä tekee sen sopivaksi erilaisten semikonduktorimateriaalien kemialliseen mekaaniseen maalaamiseen ja polttamiseen. Työtila on eristetty näyttö- ja ohjausalasta, ja se käyttää kosketusnäyttöjärjestelmää digitaalisen ohjauksen toteuttamiseksi. Se on CNC-ohjattu, tallennettavissa ja hakuvoimassa.
Laitejärjestelmällä on ajoitusfunktio, joka voi toimia jatkuvasti 10 tuntia ja hallita polttolevyn nopeutta. Ohjauspaneeli on asetettu työalueen ulkopuolelle estääkseen hiiviratkaisun patsaamisen ohjauspaneeliin. Kaikki isäntälaitteen parametrit voidaan säätää kosketusnäytöllä. Isäntälaitteen prosessiparametrit voivat tallentaa ja hakea tiedot varmistaakseen prosessin yhtenäisyyden ja toistettavuuden. Kiekko-otos adsorboituu vakiintimen alapintaan vakuumipumppujen avulla, varustettuna vetyttömällä vakuumipumppujen ja itsenäisellä antureverseeritysfunktiolla.
Näytteenkanturin konfiguraatiossa on vaakarotaation ajosysteemi, jossa on hiekkausfunktio, jonka hiekkausalue on säätökykyinen 0-100%. Hiekkausamplitudi ja taajuusnopeus voidaan asettaa tarkasti ohjauspaneelista. Näytteenkanturi on varustettu itsenäisellä pyörityksen ajosysteemillä, jonka nopeusrajoitus on säätökykyinen 0-120 vuorovaikutusminuutissa. Tämä toiminnallinen suunnittelu takaa täyden hiekkauspolttamisen näytteelle sulatus- ja polttamisprosessin aikana, mikä parantaa huomattavasti laitteen polttokapasiteettia ja tehokkuutta.
Näytteenkanturi on varustettu digitaaliseksi paksuusseurantataulukoksi, jonka seurantatarkkuus on 1 μm. Näytteenkanturin paine wafer-näytteelle on jatkuvasti säädettävissä, paineviivarojen ollessa 0-3,5kg ja tarkkuudella 2g/cm², ja se on varustettu painemittauslaitteella.
Kiveyttämisen ja polttamisen levyn toiminta ohjataan pääajurilla, ja levyn nopeutta voidaan säätää 0:sta 120 kaantoon minuutissa. Tämä nopeuden vaihteluväli varmistaa tehokkaasti eri kovuuden ja kokoinen materiaalien kiveyttämisen ja polttamisen nopeuden, mikä parantaa prosessin tuloksia. Kiveyttämislaukun ja polttamislaukun vaihto on yksinkertaista ja nopeaa, ja upotetut laudat mahdollistavat laitteen nopean siirtymisen kiveyttämisen ja polttamisen välillä, mikä vähentää merkittävästi prosessiaikaa. Lisäksi kiveyttämislauta on varustettu laudan korjauslohkolla, joka varmistaa kiveyttämislaudan hyvän tasaisuuden.