MDAM-CMP100/150 tarkkuushioma- ja kiillotuskone, pääyksikkö ja kaikki varaosat on valmistettu erittäin korroosionkestävistä materiaaleista. Koko kone on korroosionkestävä, vakaa, kulutusta ja ruosteenkestävä, soveltuu erilaisten puolijohdemateriaalien kemialliseen mekaaniseen hiontaan ja kiillotukseen. Työtila on erotettu näytön ohjausalueesta ja sitä ohjataan digitaalisesti kosketusnäytön ohjausjärjestelmällä. Se on CNC-ohjattu, tallennettavissa ja palautettavissa.
Laitejärjestelmässä on ajastustoiminto, joka voi toimia yhtäjaksoisesti 10 tuntia ja ohjata kiillotuslaikan nopeutta. Ohjauspaneeli on sijoitettu työalueen ulkopuolelle, jotta hankaavaa liuosta ei roisku ohjauspaneeliin. Kaikki isännän parametrit voidaan säätää kosketusnäytöllä. Isäntäprosessiparametreilla on tallennus- ja hakutoiminnot prosessin johdonmukaisuuden ja toistettavuuden varmistamiseksi. Kiekkonäyte adsorboidaan kiinnittimen pohjapintaan tyhjiöpumpulla, varustettu öljyttömällä tyhjiöpumpulla, ja siinä on itsenäinen käänteisimutoiminto.
Kiinnityskokoonpanon näyte vaakasuuntaisessa pyörimisjärjestelmässä on kääntötoiminto, jonka kääntöalue on säädettävissä 0-100 %. Swing-amplitudi ja taajuusnopeus voidaan säätää tarkasti ohjauspaneelin kautta. Valaisin on varustettu itsenäisellä pyörimisjärjestelmällä, jonka nopeusalue on 0-120 rpm. Tämä toiminnallinen muotoilu varmistaa näytteen täyden kiillotuksen hionta- ja kiillotusprosessin aikana, mikä parantaa huomattavasti laitteiston kiillotuskapasiteettia ja tehokkuutta.
Valaisin on varustettu digitaalisella paksuudenvalvontapöydällä, jonka tarkkailutarkkuus on 1 μm. Kiinnikkeen paine kiekkonäytteessä on portaattomasti säädettävissä, painealueella 0-3.5 kg ja tarkkuudella 2g/cm ² ja varustettu paineenmittauslaitteella.
Hioma- ja kiillotuslaikan toimintaa ohjaa pääkäyttö, ja kiekon nopeutta voidaan säätää välillä 0 - 120 kierrosta minuutissa. Tämä nopeuden vaihtelualue varmistaa tehokkaasti eri kovuuden ja kokoisten materiaalien hionta- ja kiillotusnopeuden, jolloin saavutetaan korkeammat prosessiindikaattorit. Hiomalaikkojen ja kiillotuslaikkojen vaihto on yksinkertaista ja nopeaa, ja niissä on upotetut levyt, jotka mahdollistavat laitteiden nopean siirtymisen hiontaprosesseista kiillotusprosesseihin, mikä lyhentää huomattavasti prosessiaikaa. Ja hiomalaikka on varustettu levyn korjauslohkolla varmistaakseen, että hiomalaikalla on hyvä tasaisuus.