erä | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Tuotteen koko | ≤6 tuumaa | ≤8 tuumaa | ≤8 tuumaa | ||
RF-virtalähde | 0-300W/500W/1000W Säädettävä, automaattinen sovitus | ||||
Molekyylipumppu | -/620(l/s)/1300(l/s)/muokattu | Antiseptinen 620(l/s)/1300(l/s)/muokattu | |||
Etulinjan pumppu | Mekaaninen pumppu/kuivapumppu | Kuiva pumppu | |||
Prosessipaine | Hallitsematon paine/0-1Torr kontrolloitu paine | ||||
Kaasutyyppi | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Mukautettu (Jopa 9 kanavaa, ei syövyttävää ja myrkyllistä kaasua) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Kaasuliesi | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Kyllä ei | Kyllä | |||
Mallilämpötilan ohjaus | 10°C~Huonelämpötila/-30°C~100°C/Räätälöity | -30°C ~ 100°C /Räätälöity | |||
Takaosan heliumjäähdytys | Kyllä ei | Kyllä | |||
Prosessiontelon vuoraus | Kyllä ei | Kyllä | |||
Ontelon seinämän lämpötilan säätö | Ei/Huonelämpötila ~60/120°C | Huoneen lämpötila -60/120°C | |||
Ohjausjärjestelmä | Automaattinen/muokattu | ||||
Etsausmateriaali | Piipohjainen: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magneettiset materiaalit/seosmateriaalit Metallimateriaali: Ni/Cr/Al/Au. Orgaaninen materiaali: PR/PMMA/HDMS/Organic film. | Piipohjainen: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Magneettiset materiaalit/seosmateriaalit Metallimateriaali: Ni/Cr/A1/Au. Orgaaninen materiaali: PR/PMMA/HDMS/orgaaninen kalvo. |
Sopii mikroaaltouuniin, teholaitteisiin jne.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) -kone on uusinta tekniikkaa, joka pystyy syövyttämään ja analysoimaan erityyppisiä materiaaleja uskomattoman tarkasti. Tämä kone on suunniteltu käytettäväksi useilla aloilla, joilla tarvitaan säännöllisesti mikrovalmistusta tai syövytystä. Se on valmistettu korkealaatuisista materiaaleista, jotka tekevät siitä kestävän, luotettavan ja pystyvät tuottamaan erinomaisia tuloksia.
Varustettu RF-plasmageneraattorilla on tehokas. RIE-järjestelmä käyttää induktiivista kytkentää plasman saamiseksi syöttöbensiinistä. Tämä tekniikka luo suuren tiheyden plasman, joka lisää tuotteeseen liittyvää etsausnopeutta. RIE-koneen etsausprosessi on tehokas, tarkka ja erittäin hallittavissa, mikä mahdollistaa tietyn syvyyden saavuttamisen. Tämä ominaisuus on ainutlaatuinen, ja se on loistava valinta tutkimus- tai teollisuustöihin.
Koneessa on laaja valikoima, mukaan lukien mikroelektroniikka, MEMS-valmistus ja puolijohdevalmistus. Tällä koneella on tärkeä rooli puolijohdemateriaalien, kuten piin, galliumarsenidin ja germaniumin, etsauksessa ja mikrotyöstössä puolijohdeteollisuudessa. Minder-High-tech RIE-laite on lisäksi perustettu MEMS-teollisuudelle pehmeiden ja kovien materiaalien, kuten polyimidin, piidioksidin ja piinitridin, valmistukseen. Lisäksi se on käytettävissä elektronisiin palveluihin ja tuotteisiin liittyvien toimialojen vikaanalyyseihin.
Sisältää erilaisia ominaisuuksia, jotka helpottavat käyttöä. Se on käyttäjäystävällinen ohjelmisto, joka antaa käyttäjälle täydellisen hallinnan laitteessa käytettäviin syövytysparametreihin. Koneen asetukset tallennetaan sen sisäiseen muistiin, johon voi tallentaa yli 100 asetussarjaa. Näytössä on kosketusnäyttö, jonka avulla käyttäjä voi asettaa parametreja, kuten kaasun liike, tehon paksuus ja paine. Minder-High-tech RIE-koneessa on myös lämpötilansäätöominaisuus, joka varmistaa materiaalien etsauksen oikeaan lämpötilaan ja estää niiden vahingoittumisen.
Täydellinen yrityksille, jotka vaativat luotettavaa ja tehokasta konetta, voivat tarjota tarkkoja ja tarkkoja tuloksia. Tämä laite on suunniteltu huipputeknologialla ja taso on paljon. Sen monipuolisuus ja käyttäjäystävälliset ominaisuudet tekevät siitä valinnan erittäin hyvään tutkimus- ja teollisuuden sovelluksiin eri aloilla.
Siinä on myös tehokas vikojen analysointijärjestelmä, jonka avulla kone havaitsee ja korjaa mekaaniset ongelmat mahdollisimman pian. Tämä järjestelmä varmistaa, että RIE-kone säilyttää korkean laadun ja luotettavuuden koko elinkaarensa ajan. Minder-High-tech RIE-kone on täydellinen ratkaisu mille tahansa teollisuudelle, joka vaatii tarkkaa ja tehokasta etsausta tai mikrovalmistusta.
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään