Tuote |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Tuotteen koko |
≤6 tuumaa |
≤8 tuumaa |
≤8 tuumaa |
||
RF virtalähde |
0-300W/500W/1000W Muokattavissa, automaattinen sovitteleminen |
||||
Molekyylikumpi |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Mukautettu |
Antiseptinen620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Mukautettu |
|||
Foreline-pumpu |
Mekaaninen pumpu\/kuiva pumpu |
Kuiva pumppu |
|||
Prosessipaine |
Hallittamaton paine\/0-1Torr hallittu paine |
||||
Kaasutyypi |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Mukautettu (Enintään 9 kanavaa, ei korrosiivista eikä myrkyllistä kaasua) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Enintään 9 kanavaa) |
|||
Kaasulaitteiden vaihtelualue |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/mukautettu |
||||
Latauslukko |
Kyllä/Ei |
Kyllä |
|||
Näyte lämpötilaohjaus |
10°C~Huoneen lämpötila/-30°C~100°C/Mukautettu |
-30°C~100°C /Mukautettu |
|||
Taustahelium jäähdytys |
Kyllä/Ei |
Kyllä |
|||
Prosessihoitokorin kattaus |
Kyllä/Ei |
Kyllä |
|||
Hoitokorin seinän lämpötilaohjaus |
Ei/Huoneenlämpötila~60/120°C |
Huoneen lämpötila-60/120°C |
|||
Ohjausjärjestelmä |
Auto/muokattu |
||||
Etusmateriaali |
Silikoni-perustainen: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magneettiset materiaalit/leikit materiaalit Metallimateriaali: Ni/Cr/Al/Au. Orgaaninen materiaali: PR/PMMA/HDMS/Orgaaninen kiilto. |
Silikoni-perustainen: Si/SiO2/SiNx. III-V (huom 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (huom 3): CdTe. Magneettiset materiaalit/leikit materiaalit Metallimateriaali: Ni/Cr/A1/Au. Orgaaninen materiaali: PR/PMMA/HDMS/orgaaninen elokuva. |
Sopii mikrotaalilaitteille, voimalaitteille jne.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) -kone on huipputekniikkaa, joka voi kuorraa ja analysoida erilaisia materiaaleja erittäin tarkasti. Tämä kone on suunniteltu käytettäväksi monissa teollisuudenaloissa, joissa mikrovalmistus tai kuoronta vaaditaan säännöllisesti. Se on tehty korkealaatuisista materiaaleista, jotka tekevät sen kestäväksi, luotettavaksi ja kykeneväksi tuottamaan erinomaisia tuloksia.
Varustettu RF-plasma generaattorilla, joka on tehokas. RIE-järjestelmä käyttää induktiivista yhdistämistä plasmaa varten polttoaineesta. Tämä menetelmä Luo korkean tiheyden plasman, joka nostaa tuotteen kuorovauhtia. RIE-koneen kuorontaprosessi on tehokas, tarkka ja erittäin hallittava, mikä mahdollistaa tietyn syvyyden saavuttamisen. Tämä ominaisuus tekee siitä erinomaisen valinnan tutkimukseen tai teollisuustyöhön.
Koneella on laaja käyttöalue, mukaan lukien mikroelektroniikka, MEMS-valmistus ja semikonduktorien valmistus. Tämä kone pelaa tärkeän roolin semikonduktorimateriaalien, kuten silikonin, galliumarseniidin ja germannotteen kuoppaamisessa ja mikromekanikoissa semikonduktoriteollisuudessa. Minder-High-tech RIE-laite on lisäksi perustettu MEMS-teollisuuteen pehmeiden ja kovien materiaalien, kuten polyimidin, siliciaattipitoisen hiilidioksidin ja siliciaattipitoisen typpihiilien valmistamiseen. Lisäksi se on saatavilla epäonnistumusanalyysissä teollisuudenaloilla, jotka liittyvät siihen elektronisiin tuotteisiin ja palveluihin.
Sisältää ominaisuuksia, jotka ovat monipuolisia ja helpottavat käyttöä. Ohjelmisto on käyttäjäystävällinen ja antaa käyttäjälle täydellisen valvonnan kaikkiin etusparametreihin, jotka käytetään laitteessa. Laiteasetukset tallennetaan sisäiseen muistiinsa, joka voi säilyttää yli 100 asetusjoukkoa. Sen kosketusnäyttö mahdollistaa käyttäjän asettaa parametreja, kuten kaasunvirtaus, teho tiheys ja paine. Minder-High-tech RIE -laitteella on myös lämpötilavalvontaominaisuus, joka varmistaa, että materiaalit etusovitaan oikealla lämpötilalla ja estää niiden vahingon.
Ideaalia yrityksille, jotka tarvitsevat luotettavan ja tehokkaan koneen, joka voi antaa tarkkoja ja tarkasti määriteltyjä tuloksia. Tämä laite on suunniteltu huipputekniikalla ja se on erittäin korkeatasoinen. Sen monipuolisuus ja käyttäjäystävälliset ominaisuudet tekevät siitä hyvin hyvän valinnan tutkimus- ja teollisuussovelluksiin eri aloilla.
Se sisältää myös tehokkaan vianalyysijärjestelmän, joka mahdollistaa koneen havaitsemisen ja korjataksen kaikki mekaaniset ongelmat mahdollisimman pian. Tämä järjestelmä varmistaa, että RIE-kone säilyttää korkean laadun ja luotettavuuden koko elinkaarakseen. Kaikille aloille, jotka vaativat tarkkaa ja tehokasta kuorintaa tai mikrosaattelua, Minder-High-tech RIE-kone on täydellinen ratkaisu.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved