Puoliasennettu RTP Nopeat termiset prosessit wafer-semikonduktorille SlC LED MEMS , China Puoliasennettu RTP Nopeat termiset prosessit wafer-semikonduktorille SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Tuotekuvaus

Pikakuuman käsitteily

Tarjoa luotettavaa RTP-laitteistoa yhdistelmäsemikonduktoreille, SlC:lle, LED:lle ja MEMS:lle

Ominaisuus

* Infrapunaisen haleeni-säiliölämmitys, jäähdytys käyttämällä ilmakehän jäähdyttämistä;
* PlD-lämpötilaohjaus haleenin voimalle, mikä voi tarkasti kontrolloida lämpötilan nousua, varmistamalla hyvän toistoehdon ja lämpötilan tasapainon;
* Aineen syöte asetetaan WAFER-pinnalle välttääkseen kylmän pisteen muodostumisen anealoinnin prosessissa ja varmistaakseen hyvän tuotteen lämpötilan tasapainon;
* Molemmat ilmakehän ja tyhjiömenetelmät voidaan valita, ja niissä on esikäsittely ja puhdistus kokonaisuudessaan;
* Kaksi prosessikaasujen joukkoa on standardina ja ne voidaan laajentaa enintään kuuteen prosessikaasujen joukkoon;
* Mittauksessa olevan yksinkertaisen kristallisia silicia-näytteen suurin kokoluokka on 12tuumaa (300x300MM);
* Kolme turvatoimia: turvallinen lämpötila-avaus suoja, lämpötilaohjaimen avaustoimien suoja ja laitteen hätäpysäytys turvallisuussuoja ovat täysin toteutettuja varmistaakseen laitteen turvallisuuden;

Testiraportti

20 asteen käyröiden yhtenevyys

850 ℃ lämpötilan 20 lämpötilakontrollikäyrää

20 keskiarvolämpötilakäyrän yhtenevyys

1250 ℃ lämpötilakontrolli

RTP-lämpötilakontrolli 1000 ℃ -prosessille

960 ℃ -prosessi, jota ohjaa infrapuna-termostaattori

LED-prosessidatan

RTD-keppi on lämpötilaanturi, joka käyttää erityisiä käsittelytekniikoita RTD-lämpötilaanturien upottamiseen tiettyyn sijaintiin keven pinnalla, mikä mahdollistaa keven pinnan lämpötilan reaaliaikaisen mittauksen.

Todelliset lämpötilamittaukset keven tietyillä paikoilla ja keven kokonaislämpöjakauma voidaan saada RTD-kepiden avulla; niitä voidaan myös käyttää jatkuvassa seurannassa välikaupallisten lämpömuutosten keveillä lämpimän käsittelyprosessin aikana.

MITTATIETOE

Pakkaus & Toimitus

Yrityksen profiili

Meillä on 16 vuotta kokemusta laitteistojen myynnissä. Voimme tarjota sinulle yhdenmukaisen ratkaisun semioperaattorien edustajan ja takapuolen pakkauslinjan laitteille Kiinasta!