PLASMA lähde
|
RF
|
||
Teho
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(vaihtoehto)
|
||
Soveltamisala
|
4~8 tuuma
|
||
Yksittäinen käsittelylevyjen määrä
|
1
|
||
Ulkomitat
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
Järjestelmän hallinta
|
PLC:n
|
||
Automaatiotaso
|
Käyttöohje
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved