Puolijohdeteollisuuden laitteet MDLB-MC200 Photomask Cleaner , Kiina Puolijohdeteollisuuden laitteet MDLB-MC200 Photomaskin puhdistusaineet Valmistajat, toimittajat, tehdas

MDLB-MC200

Valokuvanaamion puhdistusaine

Puhdistusyksikkö:

Puhdistuskammio on käsitelty korroosionkestävillä materiaaleilla, joiden pinta on sileä ja jotka on helppo puhdistaa. Sisäontelon pohjassa on jätteenpoistoaukko, joka hyödyntää painovoimaa mahdollistaen jätenesteen purkamisen tehtaan jätteenpoistoputkeen. Ontelon sisällä on imuaukko, joka voi ajoissa poistaa ilmakehän ontelosta. Varustettu 3 automaattisella kääntövarrella, se voi saavuttaa automaattisen puhdistuksen.

Konfigurointiparametritaulukko:

Ei.	projekti	tekniset tiedot	Huomautuksia
1	Laitteiden yleiskuvaus	Laitteen nimi: Photomask Cleaner
		Laitemalli: MDLB-MC200
		Kokonaismitat (noin): 1300mm (L) * 1000mm (S) * 1950mm (K)
		Koko koneen paino (noin): 300KG
		Leikkauspöydän korkeus: 900 ± 50 mm
		Alustan kokotiedot: sopii 2/4/5/6/8 tuuman neliömäisille maskilevyille
		Prosessikulku: kiekkojen manuaalinen asettaminen → puhdistus (harja, puhdistusliuos → korkeapainevesi → megasonic vesi → deionisoitu vesi → typpikaasukuivaus) → kiekkojen manuaalinen poisto
		Laitetyyppi: puoliautomaattinen, manuaalinen lastaus ja purku
2	Laitteiden rakentaminen	Kuori: ruostumaton teräs, sileä, korroosionkestävä, helppo puhdistaa
		Puhdistuskammio: PP, sileä, korroosionkestävä, helppo puhdistaa
		Putkilinja: Käytetään PU/PFA-yhteensopivaa putkistoa
		Työvalaistus: korroosionesto keltainen valo
		Oven avaustyyli: Pariovi oven avaushälytystoiminnolla
		Kosketusnäyttö: 10 tuuman värillinen kosketusnäyttö * 1
		FFU: Luokka 100
		Vuototiivis pohjatuki: saatavilla
3	Erittäin tarkka servomoottori	Määrä: 1
		Nopeus: -3000-3000rpm	Tyhjä kuorma
		Karan pyörimisen maksimikiihtyvyys: 3000 rpm/S	Tyhjä kuorma
		Nopeuden tarkkuus: ± 1 rpm (50 rpm ~ 3000 rpm)
		Nopeuden resoluutio: 1 rpm
4	Automaattinen kääntövarsi	Määrä: 3
4	Automaattinen kääntövarsi	Kääntövarren nopeus: 1-30 °/S
5	puhdistusyksikkö	Puhdistuskääntövarsi: 1 kanava deionisoitua vettä, 1 kanava typpikaasua Megasonic-varsi: 1 Megasonic, 1 korkeapaineinen vesi Harjan varsi: 1 harja, 1 vesi, 1 puhdistusliuos
		Puhdistusmenetelmä: automaattinen puhdistus
		Deionisoidun veden imutoiminto: käytettävissä
		Vastahuuhtelu (deionisoitu vesi): 1 reitti
		Toimitusmenetelmä: Puhdistusliuos: Kalvopumppu Deionisoitu vesi: toimittaa suoraan tehtaalta
		Painesäiliö nestetason tunnistimella
6	Harja harja	Määrä: 1 (itsepuhdistustoiminnolla)
		Nopeus: jopa 1000 rpm, säädettävä nopeus
		Korkeus manuaalisesti säädettävissä
7	Lataa lokero	Määrä: 5
		Materiaali: PPS + ruostumaton teräs
		Koko: Sopii 2/4/5/6/8 tuuman neliömäisille maskilevyille
		Alustan kiinnitysmenetelmä: Kynsikiinnitysmenetelmä
8	Ohjausjärjestelmä	Ohjausjärjestelmä: PLC-ohjauksella
		Ohjelma: 100 ryhmää, jokaisessa ryhmässä 100 askelta, yhden askeleen enimmäisaika on 3000.0 sekuntia Resoluutio: 0.1S
		Ohjelma voidaan tallentaa, kutsua, muokata ja poistaa
		Aseta salausoikeudet: laitekäyttäjille, teknikoille, järjestelmänvalvojille ja valmistajille.
		Signaalitornityyppi: punainen, keltainen, vihreä 3 väriä