Semikonduktoriteollisuuden laitteet MDLB-MC200 Photomask -puhdistin , China Semikonduktoriteollisuuden laitteet MDLB-MC200 Photomask -puhdistin Manufacturers, Suppliers, Factory

MDLB-MC200

Valokuvaukset maskipesuja

Puhdistusyksikkö:

Puhdistuskehys käsitellään korrosioestelevillä materiaaleilla, jotka ovat pehmeät ja helppokäyttöiset. Kehyn sisällä on jätteen vähennysportti, joka hyödyntää gravitaatiota jätetekemien vähennykseen tehtaan jätteiden vähennysputkeeseen. Kehyn sisällä on hajottimen portti, joka voi ajankohtaisesti poistaa kehyn ilmakehän. Varustettu 3 automaattisella heilutusalalla, se voi saavuttaa automaattisen puhdistuksen.

Määrittelyparametrinen taulukko:

- Ei, ei, ei. - Mitä?	Projekti	Mitat	Huomautukset
1	Laitteen yleiskatsaus	Laite nimi: Valokuvamaskin puhdistin
		Laitteen malli: MDLB-MC200
		Yleismitat (noin): 1300mm (L) * 1000mm (S) * 1950mm (K)
		Kokonaispaino (noin): 300KG
		Toimintopöydän korkeus: 900 ± 50mm
		Alustan koko määritykset: sopii 2/4/5/6/8 tuuman neliömaksilevyille
		Prosessivirta: käsin waferin asettaminen → puhdistus (kuista, puhdistussika → korkean paineen vesi → megasoninen vesi → deioniisoitu vesi → typpi-ilma kuivaus) → käsin waferin poisto
		Laite tyyppi: puoli-automatinen, käsin lataus ja purkaus
2	Laitekonstruktion	Korpus: rostiton teräs, sileä, korrosiorkestinen, helposti puhdistettava
		Puhdistuskehys: PP, sileä, korrosiorkestinen, helposti puhdistettava
		Putki: PU/PFA-putkien käyttö
		Työvalaistus: korrosiorkestinen keltainen valaistus
		Oven avaustyylit: Kaksioviomainen järjestelmä ovensulahdussuuntaisena
		kosketusnäyttö: 10 tuumainen värikkäätouchscreen * 1
		FFU: Luokka 100
		Vedenpitoisen pohjan tuki: saatavilla
3	Korkean tarkkuuden servomoottori	Määrä: 1
		Nopeus: -3000~3000rpm	Tyhjä kuorma
		Suurin pyörän kiihtyvyys: 3000rpm/S	Tyhjä kuorma
		Nopeuden tarkkuus: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Nopeuden resoluutio: 1rpm
4	Automaattinen käyräkynsä	Määrä: 3
4	Automaattinen käyräkynsä	Käyräkynsän nopeus: 1~30 °/S
5	Puhdistusyksikkö	Puhdistus käyräkynsä: 1 kanava deionisoitua vettä, 1 kanava typpigasaa Megasonic-karvi: 1 Megasonic, 1 korkean paineen vesi Suhkakarvi: 1 suhka, 1 vesi, 1 puhdistussika
		Puhdistusmenetelmä: automaattinen puhdistus
		Deioniisoitunut veden imijärjestelmä: käytettävissä
		Käänteispesu (deioniisoitu vesi): 1 reitti
		Toimitustapa: Puhdistussika: Diivampumppu Deioniisoitu vesi: tehdas toimittaa suoraan
		Painevarasto nestetaso-tunnistuksella
6	Suhkasuhka	Määrä: 1 (omavaraisoinnilla)
		Nopeus: enintään 1000vpm, säätömahdollisuus
		Korkeus manuaalisesti säätökykyinen
7	Latauskala	Määrä: 5
		Materiaali: PPS+nerokova
		Koko: sopii 2/4/5/6/8 tuumaisille neliömaksuille
		Substraatin kiinnitystapa: kynsinkiinnitystapa
8	Ohjausjärjestelmä	Ohjausjärjestelmä: käyttää PLC-ohjausta
		Ohjelma: 100 ryhmää, jokainen koostuu 100 vaiheesta, maksimiaikaa yhdestä vaiheesta 3000.0 sekuntia Resoluutio: 0.1S
		Ohjelmaa voidaan tallentaa, kutsua, muokata ja poistaa
		Aseta salauksen käyttöoikeudet: laitteiden operaattoreille, teknikkoille, ylläpitäjille ja valmistajille erikseen
		Signaalitornin tyyppi: punainen, keltainen, vihreä 3 väriä