Puolijohdeteollisuus RIE PLASMA PR -poistokone Photoresist Residual Removal , Kiina Puolijohdeteollisuus RIE PLASMA PR -poistokone Fotoresistin jäännöspoistokone Valmistajat, toimittajat, tehdas

Tuotteen Kuvaus

RIE PLASMA Photoresist Remover

Piikarbidin etsaus
Pinnan puhdistus etsauksen jälkeen
DESCUM
Kova maskikerros, kuivapoisto
Piioksidi- tai piinitridietsaus
Optisen vastuksen poistaminen välineiden välillä
Pintajäämien poisto

Puolijohdeteollisuuden RIE PLASMA PR -poistokone Photoresist Residual Removal -yksityiskohdat

Käsitellä asiaa

Puolijohdeteollisuus RIE PLASMA PR -poistokone Photoresist Residual Removal -tehdas

Puolijohdeteollisuus RIE PLASMA PR -poistokone Photoresist Residual Removal -valmistus

Advantage:

Ydin etu

Suuri liimanpoistonopeus: Suuritiheyksinen plasma, nopea liimanpoistonopeus
Stabiilisuus: Plasmakäsittelyn jälkeen hyvä toistettavuus
Etäplasma: Etäplasma, vähän ioneja vahingoittava kiekko
Suositellut ohjelmistot: ohjelmistojen itsenäinen tutkimus ja kehitys, intuitiivinen prosessianimaatio, yksityiskohtaiset tiedot ja tietueet
Tasaisuus: Plasma voi ohjata painetta ja lämpötilaa läppäventtiilin kautta
Turvallisuustekijä: Matala plasma vähentää tuotteen purkautumisvaurioita.
Myynnin jälkeinen palvelu: Nopea vastaus ja riittävä varasto
Pölyntorjunta: Täytä asiakkaiden vaatimukset.
Ydinteknologia: Lähes 40 % T&K-tiimin jäsenistä

Kasettialusta (MD-ST 6100/620)

1. 4 kiekkotelinettä
2. Korkea yhteensopivuus: kiekon koon valinnan joustavuus tuo korkeat kustannukset ja ratkaisun tehokkuuden
3. Erittäin vakaa tyhjiön siirtokammio:
Kypsää ja vakaata tyhjiövoimansiirtorakennetta on sovellettu kypsästi markkinoilla useiden vuosien ajan, ja asiakkaat ovat tunnustaneet sen.
Levysoittimen muotoilu, kompakti tila, mikä vähentää merkittävästi PARTICALin riskiä
4. Humanisoitu ohjelmiston käyttöliittymä:
Intuitiivinen humanisoitu ohjelmiston käyttöliittymä, koneen käynnissä olevan tilan reaaliaikainen seuranta;
Kattavat hälytys- ja idioottivarmat toiminnot väärinkäytösten välttämiseksi.
Tehokas tiedonvientitoiminto, erilaisten prosessiparametrien tallenteet ja tuotteiden tuotantotietueiden vienti.

Robotti

1. Kerran kaksoiskiekon poiminta- ja paikkasuunnittelu tuo korkean tuottavuuden
2. Paranna tilan tehokkuutta.

Lämmityslevy

1. Erittäin tarkka lämpötilansäätökiekkolevy
Kiekkolämmityslevy huoneenlämmöstä 250°C:een, lämpötilan säätötarkkuus ±1°C
Kiekkolämmityslevy on kalibroitu ammattimaisilla instrumenteilla ja tasaisuus. Varmista ±3°C:n sisällä liiman tasainen poisto
2. Yksikammioinen kaksikiekkokäsittely
Yksikammioinen kahden kiekon suunnittelu;
Riippumaton tehopurkaussuunnittelu jokaiselle kiekolle, joka varmistaa, että jokainen kiekko. Pyöreä PR-poistovaikutus;
Alenna tuotteen kustannuksia sillä edellytyksellä, että varmistetaan UPH-tehokkuus. Vahva yhteensopivuus
3. Tuotantokapasiteetti: kaksiosainen suunnittelureaktiokammio, korkea tuotannon tehokkuus.

määrittely

PLASMA lähde			RF
teho	ICP	_
teho		BIAS	1000W (lisävaruste)
Sovellettava soveltamisala			4 ~ 8 tuuma
Yhden käsittelyn viipaleiden määrä			1
Ulkonäkö mitat			850mmx900mmx1850mm
Järjestelmän ohjaus			PLC
Automaation taso			manuaalinen

Laitteiston ominaisuudet
Käytettävyys / Vapautusaika	≧ 95%
Keskimääräinen puhdistusaika (MTTC)	≦ 6 tuntia
Keskimääräinen korjausaika (MTTR)	≦ 4 tuntia
Keskimääräinen aika vikojen välillä (MTBF)	≧ 350 tuntia
Keskimääräinen aika avustajan välillä (MTBA)	≧ 24 tuntia
Keskimääräinen kiekko rikki (MWBB) välillä	≦ 1/10,000 XNUMX kiekkoa
Lämmityslevyn ohjaus	50-250 °

Testiraportti

Puolijohdeteollisuuden RIE PLASMA PR -poistokone Photoresist Residual Removal -toimittaja

Factory View

Pakkaus ja toimitus

Yrityksen profiili

Meillä on 16 vuoden kokemus laitemyynnistä. Voimme tarjota sinulle yhden luukun Semiconductor frontend ja back end Package Line Equipments -ratkaisun Kiinasta!