projekti |
Sisältö |
Tuotetyyppi |
6", 8", 12" kiekko, 2.5D/3D pakkaus |
2D tarkastus kohdetta |
Vieraat esineet, jäännösliima, hiukkaset, naarmut, halkeamat, kontaminaatio, CP-poikkeama, liialliset neulanjäljet jne. |
2D metrologia |
Kolun halkaisija, neulan merkkikoordinaatit, RDL- ja TSV-metrologia jne. |
3D-tarkastusprojekti |
Kolarin korkeus, kohouma samantasoinen |
Kasetti & lähetysmenetelmä |
8"SMIF, 12" FOUP tai yhdistelmä |
Objektiivi ja resoluutio |
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um) |
Tarkkuus |
0.55um/pikseli |
Valinnainen ja räätälöity |
Kaksipuolinen OCR, 3D-moduuli, tukee E84 |
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään