1.MDAM-CMPA200 est un système idéal d'affûtage et de polissage pour un fort volume d'affûtage et de polissage de diverses galettes de matériaux (SiC, Saphir, GaN, AlN...), telles que les matériaux de filtre, les matériaux en coin, les panneaux LCD, etc.
2.Quatre moteurs et quatre têtes de polissage extra-larges permettent de polir simultanément jusqu'à 48 galettes de 2". Par conséquent, la machine de la série MP est idéale pour être utilisée dans un environnement de production à pleine charge.
3.Le panneau de commande automatique de la machine utilise un écran tactile portable, et les paramètres du processus peuvent être entrés et modifiés librement.
4.Le contrôle automatique et les systèmes de chargement/déchargement intelligents peuvent rapidement polir les galettes jusqu'à des surfaces prêtes pour l'épitaxie. Ce système est particulièrement utile pour le traitement de matériaux de substrats durs, et il peut également traiter des galettes jusqu'à 8" ø.
La machine d'affûtage et de polissage de précision MDAM-CMPA200 comprend une unité principale, un système de commande à distance, un dispositif de maintien, un système de vide, un système de remplissage, des disques d'affûtage et de polissage, etc.
Dans la machine d'affûtage et de polissage de précision MDAM-CMPA200, l'unité principale et toutes les pièces de rechange sont fabriquées en matériaux hautement résistants à la corrosion, l'ensemble de la machine est résistant à la corrosion et convient à l'affûtage et au polissage chimico-mécaniques de divers matériaux semi-conducteurs.
Grâce à un système de commande à distance indépendant, il est également possible de contrôler conjointement plusieurs machines. À partir d'une unité de contrôle, plusieurs machines d'affûtage et de polissage peuvent être contrôlées, ce qui facilite le changement des paramètres de processus pendant l'opération. Elle permet également un contrôle numérique précis simultané de plusieurs processus, améliorant considérablement l'efficacité et la précision du processus.
8.Le système de remplissage automatique peut ajuster la vitesse de goutte à goutte en fonction des différents besoins du processus, et s'arrête automatiquement lorsque l'abrasif est épuisé pour éviter les dommages sur l'échantillon en l'absence d'abrasif.
9.Le système de contrôle de l'équipement dispose d'une fonction de minuterie. Une fois le temps prédéfini atteint, le système s'éteint automatiquement.