Taille du galet
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galette de 4”~ 8”
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Épaisseur de la galette
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100~750 microns
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Type de galette
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Si, SiC, GaN, ou autres matériaux
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Type de film
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Film bleu, film UV
Largeur : 230 ~ 300 mm Longueur : 100 m Épaisseur : 0,05 ~ 0,2 mm |
Anneau porte-galettes
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6”, 8” DISCO
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Méthode de chargement et de déchargement
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Placement et retrait manuels de la galette/anneau
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Précision de positionnement du film
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± 0,5 mm
Plaques standards pour galettes de 6” et 8” |
Pompe à vide
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Minder-Hightech
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Contrôle antistatique
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Ventilateur de déionisation
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Unité de commande
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Basé sur le contrôle PLC, avec écran tactile de 10"
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Protection de sécurité
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Equipé d'une protection par rideau lumineux et d'un bouton d'arrêt d'urgence
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Tension d'alimentation
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Monophasé AC 220V, 16A
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Air comprimé
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0,45~0,6 MPa, débit 70 L/min
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Caisson de la machine
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Caisson métallique peint en plastique blanc
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Volume
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850 mm (largeur) * 1750 mm (profondeur) * 1970 mm (hauteur)
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Poids net
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480kg
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