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Nettoyage automatique après CMP

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Description du produit

Équipement de nettoyage après le polissage chimique mécanique de la galette

Nettoyage après CMP

Caractéristiques de la machine

Compétence de processus forte
Brossage à double chambre, avec une large gamme d'applicabilité du processus
L'équipement occupe une petite surface, avec des dimensions de 2200 * 800 * 2200 (mm)

Domaines d'application

brossage après CMP de 6-8 pouces
Nettoyage après leusage SIC ou d'autres substrats

Paramètres techniques

Nettoyage après CMP de 4 pouces et 6 pouces
Conception à double chambre, fonctionnement indépendant des chambres Entrée humide et sortie sèche ou entrée sèche et sortie sèche
Séchage à haute vitesse SRD

Unité LoadPort, unité de chargement

LoadPort est l'unité de chargement de cet appareil
Alimentation en cassettes humides
Dispose d'une fonction d'humidification par pulvérisation

Unité de brosse, unité de nettoyage de wafer

Unité à double chambre, capable de supporter deux solutions de nettoyage différentes
La position de brossage peut être ajustée en fonction de la recette du convoyeur à bande

Unité SRD, unité de séchage des galettes

Séchage centrifugé des galettes, avec une vitesse maximale de 4000 tr/min
Peut effectuer un nettoyage AS sur la surface de la galette et pulvériser de l'EDI

Unité d'UNLOAD, unité de découpe

L'unité UnLoad dispose d'une FFU indépendante pour garantir la propreté de la sortie des galettes

Convoyeur

La zone humide est un convoyeur à bande
Zone sèche pour la téléportation du robot

Description de l'unité de brosse

Comme le montre la figure de gauche, l'unité de brosse de cet appareil se compose de deux unités de brossage, à savoir BU1 et BU2.
La pression du pinceau de chaque unité peut être ajustée séparément (comme spécifié dans la recette), et chaque unité de lame de brosse peut être lavée avec des solutions de nettoyage chimique différentes, séparément.
Le pinceau de la machine est en pinceau PVA, qui est un type couramment utilisé sur le marché.
La transmission entre les cavités est une convoyeur à bande. Il y a un RINCE DIW à l'intérieur de la cavité.

Unité SRD

L'unité SRD est équipée d'un CHUCK de serrage et d'un bras AS, qui peuvent nettoyer physiquement et sécher par centrifugation la surface de la wafer.
Spécification
Taille de l'équipement :
2200 * 800 * 2200 (mm)
Méthodes de chargement et déchargement
sec en/ humide en/ sec sortant
Nombre d'unités de brossage
2
Nombre d'unités SRD
1
Méthode de transport
Transport par convoyeur en zone humide, transport par robot en zone sèche
La taille de l'équipement avec une chambre de brossage de 1 est de 1850 * 800 * 2200
Emballage et livraison
Profil de l'entreprise
FAQ
1. À propos du prix :
Tous nos prix sont compétitifs et négociables. Le prix varie en fonction de la configuration et de la complexité de personnalisation de votre appareil.

2. À propos des échantillons :
Nous pouvons vous fournir des services de production d'échantillons, mais des frais peuvent être requis.

3. À propos du paiement :
Une fois le plan confirmé, vous devez d'abord nous verser un acompte, et l'usine commencera à préparer les marchandises. Une fois l'équipement prêt et après avoir payé le solde, nous l'expédierons.
l'équipement est prêt et après avoir payé le solde, nous l'expédierons.

4. À propos de la livraison :
Une fois la fabrication de l'équipement terminée, nous vous enverrons une vidéo de contrôle qualité et vous pourrez également venir sur place pour inspecter l'équipement.

5. Installation et mise au point :
Une fois que l'équipement est arrivé dans votre usine, nous pouvons envoyer des ingénieurs pour installer et mettre en service l'équipement. Nous vous fournirons un devis séparé pour ce coût de service.

6. À propos de la garantie :

Nos équipements bénéficient d'une période de garantie de 12 mois. Après la période de garantie, si des pièces sont endommagées et doivent être remplacées, nous ne facturerons que le prix des coûts.

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